本發(fā)明涉及一種高純氣體的進(jìn)樣方法，尤其涉及一種利用進(jìn)樣裝置實(shí)現(xiàn)高純六氟化硫氣體的進(jìn)樣方法，屬于儀器分析領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體行業(yè)、集成電路等各行各業(yè)對(duì)高純氣體的質(zhì)量要求越來越高，對(duì)其雜質(zhì)含量的質(zhì)量控制越來越嚴(yán)，例如：高純氮中雜質(zhì)氧(O2)的含量≤3×10-6(v/v)，對(duì)此國家標(biāo)準(zhǔn)提出了相應(yīng)的檢測(cè)方法，但在實(shí)際操作過程中仍出現(xiàn)了不少問題，例如：①儀器因經(jīng)受不住樣品氣體的高壓而損壞；②檢測(cè)分析過程時(shí)間過長；③因取樣的樣品量過少，無法把儀器吹干凈而導(dǎo)致檢測(cè)數(shù)據(jù)的不準(zhǔn)確等。
為了解決氣體樣品檢測(cè)分析中遇到諸如氣體樣品量少、儀器因高壓而損壞等問題，該文介紹一種新型的氣路切換裝置及其工作原理，結(jié)果表明采用適當(dāng)?shù)牟牧?、合理的設(shè)計(jì)、謹(jǐn)慎的操作，可以有效避免外界氣體雜質(zhì)污染。裝置實(shí)現(xiàn)了快速分析、少量進(jìn)樣，大大提高工作效率，同時(shí)可避免不必要的財(cái)產(chǎn)損失。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明為了解決現(xiàn)有氣體分析技術(shù)在氣體進(jìn)樣過程中存在的技術(shù)問題，提供了一種利用進(jìn)樣裝置實(shí)現(xiàn)高純六氟化硫氣體的進(jìn)樣方法，在有效避免外界氣體雜質(zhì)污染的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)快速分析，少量進(jìn)樣，大大的提高了工作效率。
本發(fā)明提供了一種利用進(jìn)樣裝置實(shí)現(xiàn)高純六氟化硫氣體的進(jìn)樣方法，所述進(jìn)樣裝置包括：
儲(chǔ)存高純六氟化硫氣體的鋼瓶，具有用于打開和關(guān)閉鋼瓶出氣口的鋼瓶閥門；
經(jīng)由所述鋼瓶閥門連通所述鋼瓶的供氣管路；
連接所述供氣管路的出口的放空閥；
用于將來自所述供氣管路的高純六氟化硫氣體供應(yīng)給分析儀器的儀器接口；
用于將所述供氣管路與所述儀器接口連通或斷開的供氣閥門；
所述進(jìn)樣方法包括：
1)通過對(duì)所述鋼瓶閥門，所述放空閥和供氣閥門進(jìn)行控制，使所述供氣管路內(nèi)的氣體被所述高純六氟化硫氣體完全置換；
2)在所述供氣管路的氣體被所述高純六氟化硫氣體完全置換后，通過對(duì)所述鋼瓶閥門，所述放空閥和供氣閥門進(jìn)行控制，用所述高純六氟化硫氣體置換所述儀器接口中的氣體；
3)在所述儀器接口中的氣體被所述高純六氟化硫氣體置換后，調(diào)節(jié)所述供氣閥門控制儀器接口的出氣壓力，接通所述儀器接口與分析儀器之間的管線，對(duì)所述分析儀器進(jìn)行氣體輸送。
其中，所述的通過對(duì)所述鋼瓶閥門，所述放空閥和供氣閥門進(jìn)行控制，使所述第一管路的氣體被所述高純六氟化硫氣體完全置換包括：
1)開啟所述鋼瓶閥門，保持所述放空閥和供氣閥門關(guān)閉，使所述鋼瓶?jī)?nèi)的高純六氟化硫氣體進(jìn)入所述供氣管路；
2)關(guān)閉所述鋼瓶閥門，開啟所述放空閥，使所述供氣管路內(nèi)的氣體經(jīng)由所述放空閥排出；
3)重復(fù)步驟1)和步驟2)的操作，使所述供氣管路的氣體被所述高純六氟化硫氣體完全置換。
其中，所述的通過對(duì)所述鋼瓶閥門，所述放空閥和供氣閥門進(jìn)行控制，用所述高純六氟化硫氣體置換所述儀器接口中的氣體包括：
在所述供氣管路內(nèi)的氣體被所述高純六氟化硫氣體完全置換后，關(guān)閉所述放空閥，開啟所述鋼瓶閥門和供氣閥門，使所述鋼瓶?jī)?nèi)的高純六氟化硫氣體流經(jīng)所述供氣管路流入所述儀器接口，用所述高純六氟化硫氣體置換所述儀器接口中的氣體。
經(jīng)置換后，所述供氣管路和儀器接口內(nèi)的氣體完全被所述高純六氟化硫氣體所置換，保證供氣管路和儀器接口內(nèi)部吹掃干凈，不殘留空氣或其他氣體雜質(zhì)，進(jìn)而保證進(jìn)入到所述分析儀器內(nèi)的氣體純度高，分析時(shí)間更短，檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確。
其中，在所述儀器接口中的氣體被所述高純六氟化硫氣體置換后，調(diào)節(jié)所述 供氣閥門控制儀器接口的出氣壓力，接通所述儀器接口與分析儀器之間的管線，對(duì)所述分析儀器進(jìn)行氣體輸送。
特別是，對(duì)所述分析儀器進(jìn)行氣體輸送5-8min，使所述管線和分析儀器內(nèi)的氣體置換完全，再進(jìn)行采樣測(cè)量。
尤其是，所述管線盡可能短，對(duì)所述分析儀器進(jìn)行氣體輸送5-8min，使所述管線和分析儀器內(nèi)的氣體置換完全，這樣可以去除雜質(zhì)氣體或上次所測(cè)樣品氣體在管線及分析儀器內(nèi)的殘留，減少其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，使得分析時(shí)間更短，檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確，測(cè)定的結(jié)果重現(xiàn)性好。
特別是，所述儀器接口與分析儀器之間的管線為1/4不銹鋼內(nèi)拋光材質(zhì)。
其中，所述閥門和管路均選擇不銹鋼材質(zhì)。
不銹鋼材質(zhì)的閥門和管路可以減少因高壓而使得閥門或管路損壞的幾率，增加儀器部件的使用壽命。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益技術(shù)效果如下：
本發(fā)明方法首先將供氣管路、儀器接口、管線和分析儀器內(nèi)的氣體完全被所述高純六氟化硫氣體所置換，保證供氣管路、儀器接口、管線和分析儀器內(nèi)內(nèi)部全部吹掃干凈，不殘留空氣或其他氣體雜質(zhì)，進(jìn)而保證進(jìn)入到所述分析儀器內(nèi)的氣體純度高，測(cè)定的結(jié)果重現(xiàn)性好，縮短了分析時(shí)間，提高了檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
本發(fā)明閥門和管路均選擇不銹鋼材質(zhì)，極大的減少了因高壓而使得閥門或管路損壞的幾率，增加儀器部件的使用壽命。
應(yīng)用本發(fā)明進(jìn)樣方法對(duì)樣品氣體進(jìn)行檢測(cè)，分析時(shí)間縮短了50％，極大的提高了工作效率。
附圖說明
圖1為本發(fā)明利用進(jìn)樣裝置實(shí)現(xiàn)高純六氟化硫氣體的進(jìn)樣方法的進(jìn)樣裝置的示意圖；
附圖標(biāo)記說明：1、鋼瓶；2、鋼瓶閥門；3、供氣管路；4、放空閥；5、儀器接口；6、供氣閥門。
具體實(shí)施方式
下面通過附圖和具體實(shí)施例來進(jìn)一步解釋本發(fā)明：
如圖1所述，本發(fā)明利用進(jìn)樣裝置實(shí)現(xiàn)高純六氟化硫氣體的進(jìn)樣方法，進(jìn)樣裝置包括：儲(chǔ)存高純六氟化硫氣體的鋼瓶1，具有用于打開和關(guān)閉鋼瓶出氣口的鋼瓶閥門2；經(jīng)由所述鋼瓶閥門連通所述鋼瓶的供氣管路3；連接所述供氣管路的出口的放空閥4；用于將來自所述供氣管路的高純六氟化硫氣體供應(yīng)給分析儀器的儀器接口5；用于將所述供氣管路與所述儀器接口連通或斷開的供氣閥門6。
1)開啟鋼瓶閥門2，保持放空閥4和供氣閥門5關(guān)閉，使鋼瓶1內(nèi)的高純六氟化硫氣體進(jìn)入供氣管路3；
2)關(guān)閉鋼瓶閥門2，開啟放空閥4，使供氣管路3內(nèi)的氣體經(jīng)由放空閥4排出；
3)重復(fù)步驟1)和步驟2)的操作，使供氣管路3的氣體被高純六氟化硫氣體完全置換；
4)關(guān)閉放空閥4，開啟鋼瓶閥門2和供氣閥門6，使鋼瓶1內(nèi)的高純六氟化硫氣體流經(jīng)供氣管路3流入儀器接口5，用高純六氟化硫氣體置換儀器接口中的氣體；
5)調(diào)節(jié)供氣閥門6控制儀器接口的出氣壓力，接通儀器接口5與分析儀器之間的管線，對(duì)所述分析儀器進(jìn)行氣體輸送5-8min，使管線和分析儀器內(nèi)的氣體置換完全，再進(jìn)行采樣測(cè)量。
應(yīng)用本發(fā)明進(jìn)樣方法對(duì)樣品氣體進(jìn)行檢測(cè)，分析時(shí)間縮短了50％，極大的提高了工作效率。
盡管上述對(duì)本發(fā)明做了詳細(xì)說明，但本發(fā)明不限于此，本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明的原理進(jìn)行修改，因此，凡按照本發(fā)明的原理進(jìn)行的各種修改都應(yīng)當(dāng)理解為落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。