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磁場(chǎng)傳感器的制作方法

文檔序號(hào):12747001閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,包括:

第一感測(cè)元件,具有第一摻雜區(qū),所述第一摻雜區(qū)包含有:第一輸出電極、第一阻隔重?fù)诫s區(qū)、第一輸入電極、第二阻隔重?fù)诫s區(qū)與第二輸出電極,該些阻隔重?fù)诫s區(qū)配置于所述第一輸出電極與所述第二輸出電極之間,該些阻隔重?fù)诫s區(qū)的電性與所述第一摻雜區(qū)電性相異;

第二感測(cè)元件,具有第二摻雜區(qū),所述第二摻雜區(qū)包含有:第二輸入電極、第三阻隔重?fù)诫s區(qū)、第三輸出電極、第四阻隔重?fù)诫s區(qū)與第三輸入電極,該些阻隔重?fù)诫s區(qū)配置于所述第二輸入電極與所述第三輸入電極之間,該些阻隔重?fù)诫s區(qū)的電性與所述第二摻雜區(qū)電性相異;

第一導(dǎo)電線,其兩端分別耦接至所述第一感測(cè)元件的所述第一輸出電極與所述第二感測(cè)元件的所述第二輸入電極;以及

第二導(dǎo)電線,其兩端分別耦接至所述第一感測(cè)元件的所述第二輸出電極與所述第二感測(cè)元件的所述第三輸入電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一輸入電極配置于所述第一阻隔重?fù)诫s區(qū)與所述第二阻隔重?fù)诫s區(qū)之間,所述第三輸出電極配置于所述第三阻隔重?fù)诫s區(qū)與所述第四阻隔重?fù)诫s區(qū)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一輸入電極、所述第一輸出電極與所述第二輸出電極配置于所述第一摻雜區(qū)的同一側(cè),而所述第三輸出電極、所述第二輸入電極與所述第三輸入電極配置于所述第二摻雜區(qū)的同一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一摻雜區(qū)與所述第二摻雜區(qū)均配置于相同基底中,而所述第一導(dǎo)電線或所述第二導(dǎo)電線配置于所述相同基底上的至少一金屬層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一導(dǎo)電線電性連接至所述磁場(chǎng)傳感器的差動(dòng)電壓輸出對(duì)的第一輸出端,而所述第二導(dǎo)電線電性連接至所述差動(dòng)電壓輸出對(duì)的第二輸出端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,該些輸入電極及該些輸出電極均具有接觸窗。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一摻雜區(qū)與 所述第二摻雜區(qū)各自包括有N井或深N井,該些輸入電極及該些輸出電極各自具有N+摻雜區(qū)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一摻雜區(qū)與所述第二摻雜區(qū)各自包括有P井或深P井,該些輸入電極及該些輸出電極各自具有P+摻雜區(qū)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述等摻雜區(qū)呈梳齒狀,具有多個(gè)指部,該些輸入電極與該些輸出電極皆分別配置于所述第一摻雜區(qū)的第一指部、第二指部與第三指部;以及所述第二摻雜區(qū)的第四指部第五指部與第六指部。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,配置于所述第一摻雜區(qū)的該些指部均指向第一方向,而配置于所述第二摻雜區(qū)的該些指部也指向相同的所述第一方向。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,配置于所述第一摻雜區(qū)的該些指部均指向第一方向,而配置于所述第二摻雜區(qū)的該些指部均指向與所述第一方向相反的第二方向。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,該些阻隔重?fù)诫s區(qū)配置于所述指部與指部之間。

13.一種磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,包括:

梳齒狀的第一摻雜區(qū),包含有三個(gè)指向相同的第一指部、第二指部、第三指部;

梳齒狀的第二摻雜區(qū),包含有三個(gè)指向相同的第四指部、第五指部、第六指部;

第一導(dǎo)電線,耦接所述第二指部的末端及所述第五指部的末端;以及

第二導(dǎo)電線,耦接所述第三指部的末端及所述第六指部的末端。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一指部、所述第二指部與所述第三指部均指向第一方向,而所述第四指部、所述第五指部與所述第六指部也指向相同的所述第一方向。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的磁場(chǎng)傳感器,其特征在于,所述第一指部、所述第二指部與所述第三指部均指向第一方向,而所述第四指部、所述第五指部與所述第六指部均指向與所述第一方向相反的第二方向。

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