技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于PSD的激光微位移檢測裝置，包括：激光器單元發(fā)射出的激光經(jīng)衰減后照射在PSD傳感器單元的光敏面上，PSD傳感器單元輸出的電流信號經(jīng)PSD信號處理單元、數(shù)據(jù)采集單元進(jìn)行采樣、模數(shù)轉(zhuǎn)換處理，并將處理后的數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)分析單元進(jìn)行分析，將分析的結(jié)果發(fā)送至上位機(jī)單元進(jìn)行顯示。本發(fā)明的基于PSD的激光微位移檢測裝置，通過模擬電路實(shí)現(xiàn)I/V轉(zhuǎn)換、放大及電平移位，通過軟件方式實(shí)現(xiàn)加、減、除的運(yùn)算，可以簡化硬件電路，減小裝置體積，能有效減少由于模擬器件帶來的噪聲和溫漂，提高測量精度，可以實(shí)現(xiàn)高速動態(tài)測量，成本低，應(yīng)用范圍廣，檢測結(jié)果更精確，更可靠，精度更高，可適用于各種環(huán)境下。

技術(shù)研發(fā)人員：程智;董登峰;周維虎;崔成君
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院光電研究院
文檔號碼：201510882787
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.03
技術(shù)公布日：2017.06.13