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一種真空防回油結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12726273閱讀:247來源:國知局

本發(fā)明涉及CCD檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種真空防回油結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

CCD檢測設(shè)備引用領(lǐng)域比較廣泛,其可以將被攝取目標(biāo)轉(zhuǎn)換成圖像信號,傳送給專用的圖像處理系統(tǒng),根據(jù)像素分布和亮度、顏色等信息,轉(zhuǎn)變成數(shù)字化信號,在CCD檢測設(shè)備中需要用到真空光室,對真空光室進(jìn)行抽真空時要使用真空泵,實際操作中經(jīng)常會出現(xiàn)真空泵中有油會計入真空室中,影響檢測環(huán)境和檢測結(jié)果。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為了解決上述問題,本發(fā)明提供了一種真空防回油結(jié)構(gòu),其結(jié)構(gòu)簡單,能夠有效防止真空泵中的油進(jìn)入真空室,保證可靠的檢測環(huán)境和檢測結(jié)果。

其技術(shù)方案是這樣的:一種真空防回油結(jié)構(gòu),其特征在于,其包括真空濾油裝置,所述真空濾油裝置一端通過左側(cè)卡箍連接擋板閥一端,所述擋板閥另一端連接真空光室,所述真空濾油裝置另一端通過右側(cè)卡箍連接中間連接管一端,所述中間連接管另一端連接真空泵的液插閥,所述真空濾油裝置包括中空的金屬管,所述金屬管內(nèi)安裝有過濾網(wǎng)。

其進(jìn)一步特征在于,所述真空濾油裝置兩端、擋板閥一端、中間連接管一端均設(shè)置有配合的法蘭盤,所述左側(cè)卡箍與所述右側(cè)卡箍緊固所述法蘭盤。

采用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)后,由于設(shè)置有真空濾油裝置和擋板閥,使用多級隔離的真空防返油,保證了真空光室與真空泵的完全隔離,有效防止了真空泵中的油進(jìn)入真空室,使得CCD檢測時有可靠的檢測環(huán)境和檢測結(jié)果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

見圖1所示,一種真空防回油結(jié)構(gòu),其包括真空濾油裝置1,真空濾油裝置1一端通過左側(cè)卡箍2連接擋板閥3一端,擋板閥3另一端連接真空光室4,真空濾油裝置1另一端通過右側(cè)卡箍5連接中間連接管6一端,中間連接管6另一端連接真空泵7的液插閥8,真空濾油裝置1包括中空的金屬管,金屬管內(nèi)安裝有過濾網(wǎng);真空濾油裝置1兩端、擋板閥3一端、中間連接管6一端均設(shè)置有配合的法蘭盤9,左側(cè)卡箍2與右側(cè)卡箍5緊固法蘭盤9。

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