1.一種柵氧擊穿電壓的測(cè)試方法，其特征在于，所述方法包括：
步驟S1：在待測(cè)器件的柵極施加所述待測(cè)器件的工作電壓，并通過測(cè)試初始工作電流來判斷柵氧的狀態(tài)，如果柵氧被擊穿則停止對(duì)所述待測(cè)器件的測(cè)試，如果柵氧未被擊穿，則進(jìn)行之后步驟S2至S3的測(cè)試；
步驟S2：在所述待測(cè)器件的柵極以預(yù)定的步進(jìn)施加若干步逐漸遞增的第一測(cè)試電壓的同時(shí)并量測(cè)所述待測(cè)器件的第一漏電電流；
步驟S3：在每一步所述第一測(cè)試電壓后，再在所述待測(cè)器件的柵極上施加第二測(cè)試并同時(shí)量測(cè)所述待測(cè)器件的第二漏電電流，
其中，如果相鄰兩步的所述第一漏電電流之間相差十倍以上時(shí)，則將較大的所述第一漏電電流所對(duì)應(yīng)的所述第一測(cè)試電壓記錄為擊穿電壓，如果相鄰兩步的所述第二漏電電流之間相差十倍以上時(shí)，則將較大的所述第二漏電電流對(duì)應(yīng)步的所述第一測(cè)試電壓記錄為擊穿電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試方法，其特征在于，使用第一測(cè)試電壓和所述第一漏電電流繪制第一IV曲線，使用第一測(cè)試電壓和所述第二漏電電流繪制第二IV曲線。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試方法，其特征在于，使用所述第二IV曲線監(jiān)測(cè)柵氧狀態(tài)，利用F-N隧穿模式監(jiān)測(cè)所述柵氧是否擊穿。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試方法，其特征在于，所述第一測(cè)試電壓從零開始逐漸增大。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試方法，其特征在于，所述第一測(cè)試電壓從所述待測(cè)器件的工作電壓開始逐漸增大。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試方法，其特征在于，所述待測(cè)器件為核心器件和/或輸入輸出器件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試方法，其特征在于，所述第二測(cè)試電壓小于等于所述待測(cè)器件的工作電壓。