技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N在測(cè)量圖案化樣品的參數(shù)中使用的測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括：寬帶光源；光學(xué)系統(tǒng)，被配置為干涉測(cè)量系統(tǒng)；檢測(cè)單元；以及控制單元。干涉測(cè)量系統(tǒng)限定具有樣品支路和參考支路的照射通道和檢測(cè)通道，并且被配置為用于在樣品支路與參考支路之間引起光程差，參考支路包括參考反射器；檢測(cè)單元包括被配置為并且能夠操作為用于檢測(cè)由從所述反射器反射的光束和從樣品的支撐件傳播的光束形成的組合光束、并且生成指示由至少兩個(gè)光譜干涉特征形成的光譜干涉圖案的測(cè)量數(shù)據(jù)?？刂茊卧慌渲脼椴⑶夷軌?yàn)椴僮饔糜诮邮諟y(cè)量的數(shù)據(jù)、并且將基于模型的處理應(yīng)用到光譜干涉圖案以確定樣品中的圖案的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：吉拉德·巴拉克;德羅爾·沙菲爾;丹尼·格羅斯曼;約阿夫·貝拉茨基;亞尼爾·海尼克
受保護(hù)的技術(shù)使用者：諾威量測(cè)設(shè)備股份有限公司
文檔號(hào)碼：201580030113
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.12
技術(shù)公布日：2017.02.22