1.一種狀態(tài)檢測傳感器,其輸出與被對象物(1、403、504、507)的狀態(tài)對應的傳感器信號,
所述狀態(tài)檢測傳感器的特征在于,具有:
第一熱通量傳感器(20a),其輸出與通過的熱通量對應的第一傳感器信號;
第二熱通量傳感器(20b),其輸出與通過的熱通量對應的第二傳感器信號;
熱緩沖體(21a),其具有規(guī)定熱容;以及
散熱體(22),其具有規(guī)定熱容,
從所述被對象物(1、403、504、507)側按照所述第一熱通量傳感器(20a)、所述熱緩沖體(21a)、所述第二熱通量傳感器(20b)以及所述散熱體(22)的順序配置,
所述第一熱通量傳感器(20a)輸出與所述被對象物(1、403、504、507)和所述熱緩沖體(21a)之間的所述熱通量對應的第一傳感器信號,所述第二熱通量傳感器(20b)輸出與所述熱緩沖體(21a)和所述散熱體(22)之間的所述熱通量對應的第二傳感器信號。
2.根據(jù)權利要求1所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
所述散熱體(22)的所述規(guī)定熱容大于所述熱緩沖體(21a)的所述規(guī)定熱容。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
具備受熱體(25),該受熱體(25)具有規(guī)定熱容,隔著所述第一熱通量傳感器(20a)配置在與所述熱緩沖體(21a)相反的一側。
4.根據(jù)權利要求3所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
所述受熱體(25)的所述規(guī)定熱容小于所述熱緩沖體(21a)的所述規(guī)定熱容。
5.根據(jù)權利要求1~4中任一項所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
所述熱緩沖體(21a)是第一熱緩沖體,
所述狀態(tài)檢測傳感器具有:
第三熱通量傳感器(20c),其輸出與通過的熱通量對應的第三傳感器信號;
第四熱通量傳感器(20d),其輸出與通過的熱通量對應的第四傳感器信號;
第二熱緩沖體(21b),其具有規(guī)定熱容;以及
第三熱緩沖體(21c),其具有規(guī)定熱容,
從所述被對象物(1、403、504、507)側按照所述第一熱通量傳感器(20a)、所述第一熱緩沖體、所述第二熱通量傳感器(20b)、所述第二熱緩沖體(21b)、所述第三熱通量傳感器(20c)、所述第三熱緩沖體(21c)、所述第四熱通量傳感器(20d)以及所述散熱體(22)的順序配置,
所述第二熱通量傳感器(20b)輸出與所述第一熱緩沖體和所述第二熱緩沖體(21b)之間的熱通量對應的第二傳感器信號,所述第三熱通量傳感器(20c)輸出與所述第二熱緩沖體(21b)和所述第三熱緩沖體(21c)之間的熱通量對應的第三傳感器信號,所述第四熱通量傳感器(20d)輸出與所述第三熱緩沖體(21c)和所述散熱體(22)之間的熱通量對應的第四傳感器信號。
6.根據(jù)權利要求1~5中任一項所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
具備多個具有所述第一熱通量傳感器(20a)、所述熱緩沖體(21a)以及所述第二熱通量傳感器(20b)的構成體(40a~40i)。
7.根據(jù)權利要求1~6中任一項所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
在基于所述狀態(tài)檢測傳感器的檢測時通過所述第一熱通量傳感器(20a)的熱通量與通過所述第二熱通量傳感器(20b)的熱通量相互相等時,從所述第一熱通量傳感器(20a)輸出的所述第一傳感器信號的電壓與從所述第二熱通量傳感器(20b)輸出的所述第二傳感器信號的電壓絕對值相等且極性相反。
8.根據(jù)權利要求1~7中任一項所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
在所述第一熱通量傳感器(20a)以及所述第二熱通量傳感器(20b),在由熱塑性樹脂構成的絕緣基材(100、200)分別形成有在與該絕緣基材(100、200)的平面正交的厚度方向上貫通的多個第一通孔(101、201)以及多個第二通孔(102、202),
在所述第一熱通量傳感器(20a)以及所述第二熱通量傳感器(20b)各自中,在所述多個第一通孔(101、201)分別埋入有由導電性金屬構成的多個第一層間連接部件(130、230),在所述多個第二通孔(102、202)分別埋入有由與所述多個第一層間連接部件(130、230)的導電性金屬不同的導電性金屬構成的多個第二層間連接部件(140、240),所述多個第一層間連接部件(130、230)以及所述多個第二層間連接部件(140、240)經(jīng)由設置于所述絕緣基材(100、200)的表面(100a、200a)且具有導電性的多個表面圖案(111、211)與設置于所述絕緣基材(100、200)的背面(100b、200b)且具有導電性的多個背面圖案(121、221)交替地串聯(lián)連接。
9.根據(jù)權利要求8所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
在所述第一熱通量傳感器(20a)以及所述第二熱通量傳感器(20b)各自中,形成所述多個第一層間連接部件(130、230)的導電性金屬以及形成所述多個第二層間連接部件(140、240)的所述導電性金屬的至少一方是多個金屬原子通過固相燒結在維持該金屬原子的結晶構造的狀態(tài)下燒結而成的燒結合金。
10.根據(jù)權利要求8或9所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
所述第一熱通量傳感器(20a)以及所述第二熱通量傳感器(20b)一體化,
通過將所述第一熱通量傳感器(20a)的所述多個表面圖案(111)中的一個與所述第二熱通量傳感器(20b)的所述多個表面圖案(211)中的一個相互直接連接或?qū)⑺龅谝粺嵬總鞲衅?20a)的所述多個背面圖案(121)中的一個與所述第二熱通量傳感器(20b)的所述多個背面圖案(221)中的一個連續(xù)地直接連接來將所述第一熱通量傳感器(20a)與所述第二熱通量傳感器(20b)相互電連接。
11.根據(jù)權利要求8~10中任一項所述的狀態(tài)檢測傳感器,其特征在于,
所述熱緩沖體(21a)是在與所述第一熱通量傳感器(20a)的所述絕緣基材(100)的平面以及所述第二熱通量傳感器(20b)的所述絕緣基材(200)的平面平行的平面內(nèi)、在檢測區(qū)域(SE)以上的范圍連續(xù)地設置的一體的金屬板,其中所述檢測區(qū)域(SE)包括全部設置于所述第一熱通量傳感器(20a)的所述絕緣基材(100)的所述多個第一層間連接部件(130)以及所述多個第二層間連接部件(240)在內(nèi)。