技術(shù)總結(jié)
提供形狀測量裝置等，能夠在利用光以非接觸的方式測量呈球面狀的被測量面的形狀時，減小與測長距離對應(yīng)的誤差而進(jìn)行高精度的形狀測量。形狀測量裝置(1)具有：保持件(12)，其保持測量對象物(20)；傳感器(7)，其對被測量面(21)照射光并以非接觸的方式測量與該被測量面(21)之間的距離；編碼器(5)，其使傳感器(7)繞中心軸(R1)旋轉(zhuǎn)；滑軌(4)和桿(6)，它們是使傳感器(7)在與中心軸(R1)垂直的軸(R2)上移動的傳感器移動機(jī)構(gòu)，且能夠使傳感器(7)跨越與中心軸(R1)的交點的兩側(cè)而移動；XYZ載物臺，其使保持件(12)沿著Z軸移動并在XY面內(nèi)移動；以及控制裝置(14)，其根據(jù)從傳感器(7)輸出的測量值來計算被測量面(21)的球心的位置，并進(jìn)行使該球心的位置與傳感器(7)的旋轉(zhuǎn)中心(C)一致的控制。

技術(shù)研發(fā)人員：高橋裕樹;關(guān)博之;上原正廣
受保護(hù)的技術(shù)使用者：奧林巴斯株式會社
文檔號碼：201580052827
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.03
技術(shù)公布日：2017.05.31