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用箔室內(nèi)運(yùn)載氣體進(jìn)行無(wú)泄漏測(cè)試的制作方法

文檔序號(hào):11634334閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種對(duì)箔室(10)中的測(cè)試物體(16)進(jìn)行無(wú)泄漏測(cè)試的方法,所述箔室(10)包括至少一個(gè)柔性壁區(qū)域(12,14),所述方法包括:利用測(cè)試物體中含有的氣體或氣體組分作為進(jìn)行所述無(wú)泄漏測(cè)試的測(cè)試氣體;將測(cè)試物體引入所述箔室;排空所述箔室,使得壓力低于測(cè)試物體內(nèi)的測(cè)試氣體壓力并低于大氣壓力;將運(yùn)載氣體引入所述箔室內(nèi)所述測(cè)試物體之外的區(qū)域;測(cè)量所述箔室內(nèi)所述測(cè)試物體之外的區(qū)域形成的氣體混合物的測(cè)試氣體濃度。

技術(shù)研發(fā)人員:丹尼爾·韋齊希;西爾維奧·德克爾
受保護(hù)的技術(shù)使用者:英福康有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.11.25
技術(shù)公布日:2017.08.01
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