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基于MEMS的LIDAR的制作方法

文檔序號:11293291閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明涉及一種系統(tǒng),用于測量如空氣中顆粒這樣的顆粒的速度。本發(fā)明具體涉及具有微機電系統(tǒng)(MEMS)的激光雷達(LIDAR)系統(tǒng)。

技術研發(fā)人員:J·K·延森;P·J·羅德里戈;C·彼澤森;扈琪
受保護的技術使用者:文達光電股份有限公司
技術研發(fā)日:2015.12.21
技術公布日:2017.09.26
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