技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
在壓縮空氣生成器與氮?dú)夥蛛x器之間設(shè)置有MS用氮?dú)獍踩┙o監(jiān)視器。從氮?dú)夥蛛x器排出的氮?dú)獗还┙o到質(zhì)量分析計(jì)等分析裝置。MS用氮?dú)獍踩┙o監(jiān)視器具有：氣體導(dǎo)入口；氣體排出口；配管，其將所述氣體導(dǎo)入口和所述氣體排出口連結(jié)；切斷閥，其設(shè)置在所述配管的中途；水過濾器，其設(shè)置于所述配管的中途，對(duì)在所述配管中流動(dòng)的氣體的水分進(jìn)行過濾；水傳感器，其對(duì)通過所述水過濾器過濾出的水進(jìn)行檢測；以及控制部，其在通過所述傳感器檢測出水時(shí)關(guān)閉所述切斷閥。所述控制部也可以對(duì)關(guān)閉所述切斷閥的日期時(shí)間進(jìn)行記錄。MS用氮?dú)獍踩┙o監(jiān)視器還可以具有通知單元，該通知單元對(duì)由所述控制部關(guān)閉所述切斷閥的情況進(jìn)行通知。

技術(shù)研發(fā)人員：鵜島善久;山本清
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子系統(tǒng)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.20
技術(shù)公布日：2017.09.26