本發(fā)明涉及材料測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種壓電材料壓電系數(shù)的測(cè)試方法及測(cè)試裝置。
背景技術(shù):
近年來(lái),由于壓電聚合物在越來(lái)越多的領(lǐng)域內(nèi)的廣泛使用,對(duì)于壓電聚合物的壓電系數(shù)d31以及d33的測(cè)量也愈來(lái)愈成為了一個(gè)需要表征的重要參數(shù)。其中,d31用于表征厚度方向的電場(chǎng)引起的長(zhǎng)度方向的形變程度,而d33用于表征厚度方向的電場(chǎng)引起的厚度方向的形變程度。
對(duì)于材料來(lái)說(shuō),相比較于壓電陶瓷等硬質(zhì)材料而言,對(duì)壓電聚合物材料的壓電系數(shù)d31、d33的測(cè)量是一個(gè)相對(duì)復(fù)雜的過(guò)程。
目前用于測(cè)量材料的壓電系數(shù)d31、d33的工具基本上都是為壓電陶瓷等硬度材料設(shè)計(jì)的,如d33測(cè)量?jī)x(d33testermeter,聯(lián)能科技有限公司),阻抗分析儀(keysighte4990阻抗分析儀)等,上述工具在對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)量時(shí)需要被測(cè)樣品的尺寸較厚,同時(shí)也要求其諧振頻率較低等,但是,由于壓電聚合物具有偏軟的機(jī)械性能,并且“尺寸較厚”、“諧振頻率較低”等是壓電聚合物所不具備的,因此,現(xiàn)有技術(shù)中用于測(cè)量材料壓電系數(shù)d31、d33的工具不適用于對(duì)壓電聚合物進(jìn)行測(cè)量,目前采用的測(cè)試裝置和測(cè)試方法的適用性低。
因此,如何提供一種適用性較高的壓電材料壓電系數(shù)的測(cè)試方法及測(cè)試裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問(wèn)題之一。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明提供了一種壓電材料壓電系數(shù)的測(cè)試方法及測(cè)試裝置,該測(cè)試方法 及測(cè)試裝置能夠?qū)弘娋酆衔锏炔牧蠅弘娤禂?shù)進(jìn)行測(cè)試,適用性較高。
為達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:
一種壓電材料壓電系數(shù)的測(cè)試方法,包括:
沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加拉力,其中,所述待測(cè)試樣品為片狀或者薄膜狀,且所述待測(cè)試樣品相對(duì)的兩個(gè)表面中,一個(gè)表面鍍有上電極層,另一個(gè)表面鍍有下電極層;
獲得沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加的拉力信號(hào),且獲得上電極層和下電極層之間的電信號(hào);
根據(jù)獲得的拉力信號(hào)確定在待測(cè)試樣品上施加的作用力信號(hào),且根據(jù)獲得的電信號(hào)確定待測(cè)試樣品受到拉力時(shí)產(chǎn)生的表面電荷密度;
根據(jù)確定的表面電荷密度以及確定的作用力信號(hào)確定待測(cè)試樣品的壓電系數(shù),其中,確定所述壓電系數(shù)時(shí)利用下述公式計(jì)算:
diik=d/f;
其中,diik是壓電系數(shù),d是表面電荷密度,f是施加的拉力。
上述測(cè)試方法中,待測(cè)試樣品為片狀或者薄膜狀結(jié)構(gòu),且在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面上分別鍍有上電極層和下電極層,并且,對(duì)待測(cè)試樣品施加的作用力是沿待測(cè)試樣品的延展面施加的,其對(duì)待測(cè)試樣品的厚度以及硬度等要求較低,當(dāng)沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加拉力時(shí)由壓電聚合物材料形成的待測(cè)試樣品會(huì)產(chǎn)生電能,然后通過(guò)待測(cè)試樣品上設(shè)置的上電極層和下電極層對(duì)待測(cè)試樣品上產(chǎn)生的電能的電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè),通過(guò)檢測(cè)到的待測(cè)試樣品產(chǎn)生的電信號(hào)確定待測(cè)試樣品產(chǎn)生的表面電荷密度,然后,根據(jù)確定的對(duì)待測(cè)試樣品施加的拉力產(chǎn)生的作用力信號(hào)以及上述表面電荷密度來(lái)確定有壓電聚合物材料形成的待測(cè)試樣品的壓電系數(shù),因此,上述測(cè)試方法能夠?qū)弘娋酆衔锏炔牧蠅弘娤禂?shù)進(jìn)行測(cè)試,適用性較高。
優(yōu)選地,所述沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加拉力,包括:
生成模塊生成振動(dòng)信號(hào);
控制機(jī)械振動(dòng)裝置根據(jù)所述振動(dòng)信號(hào)為待測(cè)試樣品施加拉力。
優(yōu)選地,在所述振動(dòng)信號(hào)傳輸至所述機(jī)械振動(dòng)裝置之前,還包括:
對(duì)振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大。
優(yōu)選地,所述振動(dòng)信號(hào)為周期性信號(hào)或非周期性信號(hào)。
優(yōu)選地,所述振動(dòng)信號(hào)為正弦信號(hào)、三角波信號(hào)或矩形信號(hào)。
優(yōu)選地,所述待測(cè)試樣品為長(zhǎng)帶狀薄膜,其中,所述待測(cè)試樣品:長(zhǎng)度為1cm-10cm、寬度為0.5cm-2cm、厚度為0.01mm-0.1mm。
優(yōu)選地,所述上電極層的厚度為10nm-500nm,所述下電極層的厚度為10nm-500nm。
優(yōu)選地,所述上電極層的材料為鋁、金、銀、或者導(dǎo)電聚合物,和/或,所述下電極層的材料為鋁、金、銀、或者導(dǎo)電聚合物。
優(yōu)選地,所述拉力信號(hào)為由拉力轉(zhuǎn)換為的電信號(hào),所述根據(jù)獲得的拉力信號(hào)確定在待測(cè)試樣品上施加的作用力信號(hào)包括:
根據(jù)由拉力信號(hào)轉(zhuǎn)換的電信號(hào)確定在待測(cè)試樣品上施加的作用力信號(hào)。
本發(fā)明還提供了一種壓電材料壓電系數(shù)的測(cè)試裝置,包括:
支架:
夾具組件:安裝于所述支架、用于沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)夾持待測(cè)試樣品的夾具組件;
動(dòng)力模塊:安裝于所述支架的動(dòng)力模塊,用于沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加拉力;
拉力檢測(cè)模塊:用于獲得沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加的拉力信號(hào);
電信號(hào)獲得模塊:用于獲得上電極層和下電極層之間的電信號(hào);
處理模塊:用于根據(jù)獲得的拉力信號(hào)確定在待測(cè)試樣品上施加的作用力信號(hào),且根據(jù)獲得的電信號(hào)確定待測(cè)試樣品受到拉力時(shí)產(chǎn)生的表面電荷密度;根 據(jù)確定的表面電荷密度以及確定的作用力信號(hào)利用下述公式確定壓電聚合物的壓電系數(shù):
diik=d/f;
其中,diik是壓電系數(shù),d是表面電荷密度,f是施加的拉力。
優(yōu)選地,所述動(dòng)力模塊包括:
振動(dòng)信號(hào)生成裝置,用于生成振動(dòng)信號(hào);
安裝于所述支架的機(jī)械振動(dòng)裝置,所述機(jī)械振動(dòng)裝置與所述振動(dòng)信號(hào)生成裝置信號(hào)連接,用于根據(jù)所述振動(dòng)信號(hào)沿待測(cè)試樣品的延展面為待測(cè)試樣品施加拉力。
優(yōu)選地,所述支架包括第一支撐架和第二支撐架,所述夾具組件包括第一夾具和第二夾具;其中:
所述機(jī)械振動(dòng)裝置安裝于所述第一支撐架,所述第一夾具固定于所述動(dòng)力模塊;
所述第二夾具安裝于所述第二支撐臺(tái),且所述拉力檢測(cè)模塊安裝于所述第二支撐臺(tái)與所述第二夾具之間。
優(yōu)選地,所述機(jī)械振動(dòng)裝置通過(guò)升降裝置可沿豎直方向位置可調(diào)地安裝于所述第一支撐架。
優(yōu)選地,所述第二夾具通過(guò)二維平移機(jī)構(gòu)安裝于所述第二支撐架、以使第二夾具在所述待測(cè)試樣品的延展方向所在平面內(nèi)位置可調(diào)。
優(yōu)選地,所述拉力檢測(cè)模塊安裝于所述第二夾具。
優(yōu)選地,所述振動(dòng)信號(hào)生成裝置為鎖相放大器或者函數(shù)發(fā)生器。
優(yōu)選地,所述振動(dòng)信號(hào)生成裝置與所述機(jī)械振動(dòng)裝置之間鍍有功率放大器,用于在所述振動(dòng)信號(hào)傳輸至所述機(jī)械振動(dòng)裝置之前對(duì)振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大。
優(yōu)選地,所述功率放大器為音頻放大器或者射頻功率放大器。
優(yōu)選地,所述第一夾具和所述第二夾具之間的距離為1-5cm。
優(yōu)選地,所述電信號(hào)獲得模塊為鎖相放大器或靜電儀。
優(yōu)選地,所述支架還包括承載平臺(tái),所述第一支撐架和第二支撐架沿所述承載平臺(tái)中承載面的延展面內(nèi)位置可調(diào)地安裝于所述承載平臺(tái)。
優(yōu)選地,所述第一支撐架與所述承載平臺(tái)之間通過(guò)磁性組件磁性連接,和/或,所述第二支撐架與所述承載平臺(tái)之間通過(guò)磁性組件磁性連接。
附圖說(shuō)明
附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解,并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分,與下面的具體實(shí)施方式一起用于解釋本發(fā)明,但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
圖1為本發(fā)明提供的壓電材料壓電系數(shù)的測(cè)試方法的流程示意圖;
圖2為本發(fā)明提供的壓電材料壓電系數(shù)的測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種壓電聚合物壓電系數(shù)的測(cè)試方法及測(cè)試裝置,該測(cè)試方法及測(cè)試裝置能夠?qū)弘娋酆衔锏膲弘娤禂?shù)進(jìn)行測(cè)試。
具體地,下述將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例提供的結(jié)構(gòu)以及原理進(jìn)行描述。
請(qǐng)參考圖1,本發(fā)明實(shí)施例提供的壓電聚合物壓電系數(shù)的測(cè)試方法,包括:
步驟s101,沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加拉力,其中,所述待測(cè)試樣品為片狀或者薄膜狀,且所述待測(cè)試樣品相對(duì)的兩個(gè)表面中,一個(gè)表面鍍有上電極層,另一個(gè)表面鍍有下電極層;
步驟s102,獲得沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加的拉力信號(hào),且獲得上電極層和下電極層之間的電信號(hào);
步驟s103,根據(jù)獲得的拉力信號(hào)確定在待測(cè)試樣品上施加的作用力信號(hào),且根據(jù)獲得的電信號(hào)確定待測(cè)試樣品受到拉力時(shí)產(chǎn)生的表面電荷密度;
步驟s104,根據(jù)確定的表面電荷密度以及確定的作用力信號(hào)確定待測(cè)試樣品的壓電系數(shù),其中,確定所述壓電系數(shù)時(shí)利用下述公式計(jì)算:
diik=d/f;
其中,diik是壓電系數(shù),d是表面電荷密度,f是施加的拉力。
上述測(cè)試方法中,待測(cè)試樣品為片狀或者薄膜狀結(jié)構(gòu),且在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面上分別鍍有上電極層和下電極層,并且,對(duì)待測(cè)試樣品施加的作用力是沿待測(cè)試樣品的延展面施加的,其對(duì)待測(cè)試樣品的厚度以及硬度等要求較低,當(dāng)沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加拉力時(shí)由壓電聚合物材料形成的待測(cè)試樣品會(huì)產(chǎn)生電能,然后通過(guò)待測(cè)試樣品上設(shè)置的上電極層和下電極層對(duì)待測(cè)試樣品上產(chǎn)生的電能的電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè),通過(guò)檢測(cè)到的待測(cè)試樣品產(chǎn)生的電信號(hào)確定待測(cè)試樣品產(chǎn)生的表面電荷密度,然后,根據(jù)確定的對(duì)待測(cè)試樣品施加的拉力產(chǎn)生的作用力信號(hào)以及上述表面電荷密度來(lái)確定有壓電聚合物材料形成的待測(cè)試樣品的壓電系數(shù),因此,上述測(cè)試方法能夠?qū)弘娋酆衔锏炔牧蠅弘娤禂?shù)進(jìn)行測(cè)試,適用性較高。
當(dāng)然,上述測(cè)試方法中,步驟s101中的待測(cè)試樣品可以是事先加工好的,還可以是現(xiàn)場(chǎng)制作的,這樣,上述測(cè)試方法在步驟s101之前還可以包括:在片狀或者薄膜狀的樣品中相對(duì)的兩個(gè)表面上分別形成上電極層和下電極層;形成上電極層和下電極層時(shí)可以采用氣相沉積的工藝實(shí)現(xiàn)。
一種優(yōu)選實(shí)施方式中,上述步驟s101中,沿待測(cè)試樣品的延展面在待測(cè)試樣品相對(duì)的兩側(cè)施加拉力,可以包括:
振動(dòng)信號(hào)生成裝置生成振動(dòng)信號(hào);
控制機(jī)械振動(dòng)裝置根據(jù)振動(dòng)信號(hào)為待測(cè)試樣品施加拉力。
上述步驟s101中具體可以通過(guò)機(jī)械振動(dòng)裝置為待測(cè)試樣品施加拉力,機(jī)械振動(dòng)裝置的主要功能是沿待測(cè)試樣品延展面方向振動(dòng),進(jìn)而為待測(cè)試樣品提 供沿待測(cè)試樣品延展面方向的拉力。
當(dāng)然,在振動(dòng)信號(hào)傳輸至機(jī)械振動(dòng)裝置之前,還包括步驟:對(duì)振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大。這樣,能夠減小振動(dòng)信號(hào)生成裝置的功率,進(jìn)而能夠減小測(cè)試時(shí)的能耗。
具體地,振動(dòng)信號(hào)生成裝置生成的振動(dòng)信號(hào)可以為周期性信號(hào),也可以為非周期性信號(hào),這里不做限定。
更具體地,振動(dòng)信號(hào)生成裝置生成的振動(dòng)信號(hào)可以具體為正弦信號(hào)、三角波信號(hào)或矩形信號(hào)。
一種優(yōu)選實(shí)施方式中,具有片狀或者薄膜狀結(jié)構(gòu)的待測(cè)試樣品的尺寸范圍沒(méi)有特殊限定,如待測(cè)樣品的尺寸中,長(zhǎng)度可以為1cm-10cm、寬度可以為0.5cm-2cm、厚度可以為0.01mm-0.1mm。
同時(shí),上述待測(cè)試樣品上設(shè)置的上電極層和下電極層的厚度可以相同,也可以不同,具體地,上電極層的厚度為10nm-500nm,下電極層的厚度為10nm-500nm。
更具體地,上電極層的材料可以為鋁、金、銀、或者導(dǎo)電聚合物,和/或,下電極層的材料為鋁、金、銀、或者導(dǎo)電聚合物。
一種優(yōu)選實(shí)施方式中,上述步驟s103中獲得的拉力信號(hào)為由拉力轉(zhuǎn)換為的電信號(hào),則上述步驟s103確定在待測(cè)試樣品上施加的作用力信號(hào),具體包括:
根據(jù)由拉力信號(hào)轉(zhuǎn)換的電信號(hào)確定在待測(cè)試樣品上施加的作用力信號(hào)。
請(qǐng)參考圖2,本發(fā)明另一實(shí)施例提供的測(cè)試裝置包括:
支架2:
夾具組件:安裝于支架2、用于沿待測(cè)試樣品a的延展面在待測(cè)試樣品a相對(duì)的兩側(cè)夾持待測(cè)試a樣品的夾具組件4;
動(dòng)力模塊:安裝于支架2的動(dòng)力模塊3,用于沿待測(cè)試樣品a的延展面在待測(cè)試樣品a相對(duì)的兩側(cè)施加拉力;
拉力檢測(cè)模塊5:用于獲得沿待測(cè)試樣品a的延展面在待測(cè)試樣品a相對(duì)的兩側(cè)施加的拉力信號(hào);
電信號(hào)獲得模塊6:用于獲得待測(cè)試樣品a鍍有的上電極層和下電極層之間的電信號(hào);
處理模塊7:用于根據(jù)獲得的拉力信號(hào)確定在待測(cè)試樣品a上施加的作用力信號(hào),且根據(jù)獲得的電信號(hào)確定待測(cè)試樣品a受到拉力時(shí)產(chǎn)生的表面電荷密度;根據(jù)確定的表面電荷密度以及確定的作用力信號(hào)利用下述公式確定壓電聚合物的壓電系數(shù):
diik=d/f;
其中,diik是壓電系數(shù),d是表面電荷密度,f是施加的拉力。
當(dāng)使用上述測(cè)試裝置對(duì)壓電材料的待測(cè)試樣品a的壓電系數(shù)進(jìn)行測(cè)試時(shí),沿待測(cè)試樣品a的延展面,可以通過(guò)夾具組件4自待測(cè)試樣品a相對(duì)的兩側(cè)夾持待測(cè)試樣品a,如圖2中所示,然后通過(guò)動(dòng)力模塊3沿待測(cè)試樣品a的延展面在待測(cè)試樣品a相對(duì)的兩側(cè)施加拉力,然后通過(guò)拉力檢測(cè)模塊5獲得待測(cè)試樣品a上施加的拉力信號(hào),并且通過(guò)電信號(hào)獲得模塊6獲得待測(cè)試樣品a上設(shè)置的上電極層和下電極層之間的電信號(hào),最后,通過(guò)處理模塊7根據(jù)獲得拉力信號(hào)確定作用力信號(hào),并且根據(jù)獲得的電信號(hào)確定待測(cè)試樣品受到拉力時(shí)產(chǎn)生的表面電荷密度,最后,根據(jù)確定的表面電荷密度以及確定的作用力信號(hào)利用下述公式確定壓電聚合物的壓電系數(shù):
diik=d/f;
其中,diik是壓電系數(shù),d是表面電荷密度,f是施加的拉力。
因此,上述測(cè)試裝置在工作過(guò)程中,沿待測(cè)試樣品a的延展面通過(guò)夾具組件4自待測(cè)試樣品a相對(duì)的兩側(cè)夾持待測(cè)試樣品a,并且通過(guò)動(dòng)力模塊3沿待測(cè)試樣品a的延展面在待測(cè)試樣品a相對(duì)的兩側(cè)施加拉力,因此,上述測(cè)試裝置對(duì)壓電材料進(jìn)行壓電系數(shù)測(cè)試時(shí)對(duì)待測(cè)試樣品的厚度以及硬度等要求較低,因此,能夠?qū)弘娋酆衔锏炔牧蠅弘娤禂?shù)進(jìn)行測(cè)試,適用性較高。
一種具體實(shí)施方式中,上述動(dòng)力模塊3包括:
振動(dòng)信號(hào)生成裝置32,用于生成振動(dòng)信號(hào);
安裝于支架2的機(jī)械振動(dòng)裝置31,機(jī)械振動(dòng)裝置31與振動(dòng)信號(hào)生成裝置32信號(hào)連接,用于根據(jù)振動(dòng)信號(hào)沿待測(cè)試樣品a的延展面為待測(cè)試樣品a施加拉力。
機(jī)械振動(dòng)裝置31為待測(cè)試樣品a提供橫向的作用力,進(jìn)而能夠沿待測(cè)試樣品a的延展面為待測(cè)試樣品a提供沿拉伸作用力。
一種實(shí)施方式中,如圖2所示,上述支架2包括第一支撐架21和第二支撐架22,夾具組件4包括第一夾具41和第二夾具42;其中:
機(jī)械振動(dòng)裝置31安裝于第一支撐架21,第一夾具41固定于動(dòng)力模塊4上,具體地,固定于機(jī)械振動(dòng)裝置31上,進(jìn)而能夠被機(jī)械振動(dòng)裝置31驅(qū)動(dòng)進(jìn)而為待測(cè)試樣品a提供拉伸力;
第二夾具42安裝于第二支撐臺(tái)22,且拉力檢測(cè)模塊5安裝于第二支撐臺(tái)22與第二夾具42之間,進(jìn)而,當(dāng)機(jī)械振動(dòng)裝置31通過(guò)第一夾具41為待測(cè)試樣品a提供拉伸力時(shí),拉力檢測(cè)模塊5能夠檢測(cè)通過(guò)第二夾具42傳遞過(guò)來(lái)的拉力。
具體地,為了能夠?qū)崟r(shí)調(diào)整第一夾具41沿豎直方向上的位置,以使第一夾具41和第二夾具42夾持待測(cè)試樣品a時(shí)使待測(cè)試樣品a能夠處于水平位置,機(jī)械振動(dòng)裝置31具體通過(guò)升降裝置211可沿豎直方向位置可調(diào)地安裝于第一支撐架21。
進(jìn)一步地,為了使第二夾具42與第一夾具41之間的配合間隙可調(diào),如圖2所示,第二夾具42可以通過(guò)二維平移機(jī)構(gòu)221安裝于第二支撐架22、以使第二夾具42在待測(cè)試樣品a的延展方向所在平面內(nèi)位置可調(diào)。
更進(jìn)一步地,第二夾具42安裝于二維平移機(jī)構(gòu)221上設(shè)置的支撐臺(tái)222上。
在上述各實(shí)施方式的基礎(chǔ)上,上述振動(dòng)信號(hào)生成裝置32可以為鎖相放大 器或者函數(shù)發(fā)生器。
具體地,振動(dòng)信號(hào)生成裝置32與機(jī)械振動(dòng)裝置31之間鍍有功率放大器33,用于在振動(dòng)信號(hào)傳輸至機(jī)械振動(dòng)裝置31之前對(duì)振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大。
更具體地,上述功率放大器33可以為音頻放大器或者射頻功率放大器。
一種具體實(shí)施方式中,由于待測(cè)試樣品a的尺寸范圍沒(méi)有特殊限定,可以為長(zhǎng)度1-5cm、寬度0.5-2cm的長(zhǎng)帶狀薄膜,因此,第一夾具41和第二夾具42之間的距離需要與待測(cè)試樣品a的尺寸對(duì)應(yīng),為1cm-5cm。
具體地,上述電信號(hào)獲得模塊6可以為鎖相放大器或靜電儀。
如圖2所示,在上述各實(shí)施方式的基礎(chǔ)上,支架2還可以包括承載平臺(tái)1,第一支撐架21和第二支撐架22沿承載平臺(tái)1中承載面的延展面內(nèi)位置可調(diào)地安裝于承載平臺(tái)1。
具體地,第一支撐架21與承載平臺(tái)1之間可以通過(guò)磁性組件磁性連接,和/或,第二支撐架22與承載平臺(tái)1之間可以通過(guò)磁性組件磁性連接。
顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。