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磁場感測裝置及磁場感測模塊的制作方法

文檔序號:11861870閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種磁場感測裝置,其特征在于,包括:

基板,具有表面及相對所述表面以不同方向傾斜的第一斜面與第二斜面;

第一磁場感測單元,包括多個連接成惠斯登全橋且配置于所述表面上的磁阻傳感器,且用以感測第一方向的磁場分量;

第二磁場感測單元,包括多個連接成惠斯登半橋且配置于所述第一斜面上的磁阻傳感器;

第三磁場感測單元,包括多個連接成惠斯登半橋且配置于所述第二斜面上的磁阻傳感器;以及

切換電路,電性連接所述第二磁場感測單元與所述第三磁場感測單元,且用以將所述第二磁場感測單元與所述第三磁場感測單元切換至兩個不同的惠斯登全橋,且所述兩個不同的惠斯登全橋用以分別感測第二方向的磁場分量與第三方向的磁場分量。

2.根據(jù)權利要求1所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述第一磁場感測單元、所述第二磁場感測單元及所述第三磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器為異向性磁阻傳感器。

3.根據(jù)權利要求1所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向彼此實質(zhì)上垂直。

4.根據(jù)權利要求1所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向的至少其中二個彼此不垂直。

5.根據(jù)權利要求1所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述第二磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器的感測軸實質(zhì)上平行于所述第一斜面的傾斜延伸方向,且所述第三磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器的感測軸實質(zhì)上平行于所述第二斜面的傾斜延伸方向。

6.根據(jù)權利要求5所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述第一磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器的感測軸實質(zhì)上垂直于所述第一斜面的所述傾斜延伸方向,且垂直于所述第二斜面的所述傾斜延伸方向。

7.根據(jù)權利要求1所述的磁場感測裝置,其特征在于,還包括:

第一磁化方向設定組件,配置于所述第一磁場感測單元旁,且用以設定所述第一磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器的磁化方向;以及

第二磁化方向設定組件,配置于所述第二磁場感測單元與所述第三磁場感測單元旁,且用以設定所述第二磁場感測單元與所述第三磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器的磁化方向。

8.根據(jù)權利要求7所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述第一磁化方向設定組件與所述第二磁化方向設定組件各包括:

第一螺旋狀導電單元;

第二螺旋狀導電單元;以及

第三螺旋狀導電單元,其中所述第二螺旋狀導電單元電性連接于所述第一螺旋狀導電單元與所述第三螺旋狀導電單元之間,且所述第二螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向不同于所述第一螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向,且不同于所述第三螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向。

9.根據(jù)權利要求7所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述第一磁化方向設定組件包括:

多個第一導電段,配置于所述第一磁場感測單元的上側與下側的一側;

多個第二導電段,配置于所述第一磁場感測單元的上側與下側的另一側;

多個第一導電貫孔,將部分的所述多個第一導電段與部分的所述多個第二導電段連接成第一螺旋狀導電單元;以及

多個第二導電貫孔,將另一部分的所述多個第一導電段與另一部分的所述多個第二導電段連接成第二螺旋狀導電單元,其中所述第一螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向不同于所述第二螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向,且

所述第二磁化方向設定組件包括:

多個第三導電段,配置于所述第二磁場感測單元與所述第三磁場感測單元的上側與下側的一側;

多個第四導電段,配置于所述第二磁場感測單元與所述第三磁場感測單元的上側與下側的另一側;

多個第三導電貫孔,將部分的所述多個第三導電段與部分的所述多個第四導電段連接成第三螺旋狀導電單元;以及

多個第二導電貫孔,將另一部分的所述多個第三導電段與另一部分的所述多個第四導電段連接成第四螺旋狀導電單元,其中所述第三螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向不同于所述第四螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向。

10.根據(jù)權利要求9所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述多個第一導電段之一為第一U形導電段,所述第一U形導電段的一部分屬于所述第一螺旋狀導電單元,所述第一U形導電段的另一部分屬于所述第二螺旋狀導電單元,所述多個第三導電段之一為第二U形導電段,所述第二U形導電段的一部分屬于所述第三螺旋狀導電單元,且所述第二U形導電段的另一部分屬于所述第四螺旋狀導電單元。

11.根據(jù)權利要求9所述的磁場感測裝置,其特征在于,所述多個第一導電段與所述多個第二導電段部分重疊,且所述多個第三導電段與所述多個第四導電段部分重疊。

12.一種磁場感測模塊,其特征在于,包括:

磁場感測單元,包括多個連接成惠斯登電橋的磁阻傳感器,且用以感測一方向的磁場分量;以及

磁化方向設定組件,配置于所述磁場感測單元旁,且用以設定所述磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器的磁化方向,所述磁化方向設定組件包括:

第一螺旋狀導電單元;

第二螺旋狀導電單元;以及

第三螺旋狀導電單元,其中所述第二螺旋狀導電單元電性連接于所述第一螺旋狀導電單元與所述第三螺旋狀導電單元之間,且所述第二螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向不同于所述第一螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向,且不同于所述第三螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向。

13.根據(jù)權利要求12所述的磁場感測模塊,其特征在于,所述多個磁阻傳感器為異向性磁阻傳感器。

14.根據(jù)權利要求12所述的磁場感測模塊,其特征在于,當電流依序流經(jīng)所述第一螺旋狀導電單元、所述第二螺旋狀導電單元及所述第三螺旋狀導電單元時,屬于所述惠斯登電橋的一半橋的所述多個磁阻傳感器的正上方或正下方的電流流向第一方向,屬于所述惠斯登電橋的另一半橋的所述多個磁阻傳感器的正上方或正下方的電流流向第二方向,其中所述第一方向相反于所述第二方向。

15.一種磁場感測模塊,其特征在于,包括:

磁場感測單元,包括多個連接成惠斯登電橋的磁阻傳感器,且用以感測 一方向的磁場分量;以及

磁化方向設定組件,配置于所述磁場感測單元旁,且用以設定所述磁場感測單元的所述多個磁阻傳感器的磁化方向,所述磁化方向設定組件包括:

多個第一導電段,配置于所述磁場感測單元的上側與下側的一側;

多個第二導電段,配置于所述磁場感測單元的上側與下側的另一側;

多個第一導電貫孔,將部分的所述多個第一導電段與部分的所述多個第二導電段連接成第一螺旋狀導電單元;以及

多個第二導電貫孔,將另一部分的所述多個第一導電段與另一部分的所述多個第二導電段連接成第二螺旋狀導電單元,其中所述第一螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向不同于所述第二螺旋狀導電單元的螺旋延伸方向。

16.根據(jù)權利要求15所述的磁場感測模塊,其特征在于,所述多個第一導電段之一為U形導電段,所述U形導電段的一部分屬于所述第一螺旋狀導電單元,且所述U形導電段的另一部分屬于所述第二螺旋狀導電單元。

17.根據(jù)權利要求15所述的磁場感測模塊,其特征在于,所述多個第一導電段與所述多個第二導電段部分重疊。

18.根據(jù)權利要求15所述的磁場感測模塊,其特征在于,所述多個磁阻傳感器為異向性磁阻傳感器。

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