1.一種蹺蹺板型加速度計(jì)，其包括：
襯底；
由襯底支撐的至少一個(gè)錨；
由襯底支撐的至少一個(gè)平臺(tái)；
蹺蹺板檢測質(zhì)量塊，其被配置為在與襯底垂直方向的加速度存在下繞至少一個(gè)錨樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)；
至少一個(gè)傳感電極，其被安置為使得能夠感應(yīng)蹺蹺板檢測質(zhì)量塊的這種樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)；和
至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極，其被安置為使得能夠感應(yīng)平臺(tái)相對于襯底的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)固定附著到至少一個(gè)錨上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)栓接到至少一個(gè)錨上，以使至少一個(gè)平臺(tái)能夠繞至少一個(gè)錨樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)固定附著到襯底上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述蹺蹺板檢測質(zhì)量塊栓接到至少一個(gè)平臺(tái)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述蹺蹺板檢測質(zhì)量塊栓接到至少一個(gè)錨上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)包括多個(gè)平臺(tái)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)錨包括多個(gè)錨。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極包括：
第一平臺(tái)-傳感電極，其被安置在至少一個(gè)錨的第一側(cè)；和
第二平臺(tái)-傳感電極，其被安置在與第一側(cè)相對的至少一個(gè)錨的第二側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述蹺蹺板檢測質(zhì)量塊是不平衡的蹺蹺板檢測質(zhì)量塊。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其進(jìn)一步包括：
加速度計(jì)輸出電路，其被配置為基于從至少一個(gè)傳感電極和至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極接收的信號產(chǎn)生加速度計(jì)輸出信號。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中襯底、至少一個(gè)錨、至少一個(gè)平臺(tái)、蹺蹺板檢測質(zhì)量塊、至少一個(gè)傳感電極以及至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極的機(jī)械組件處于設(shè)備芯片中，其中加速度計(jì)輸出電路處于與設(shè)備芯片連接的電路芯片中。
13.一種用于蹺蹺板型加速度計(jì)的加速度計(jì)輸出電路，其具有襯底、由襯底支撐的至少一個(gè)錨、由襯底支撐的至少一個(gè)平臺(tái)、蹺蹺板檢測質(zhì)量塊、至少一個(gè)傳感電極以及至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極，所述蹺蹺板檢測質(zhì)量塊栓接到平臺(tái)或錨上以使蹺蹺板檢測質(zhì)量塊能夠在與襯底垂直方向的加速度存在下繞至少一個(gè)錨樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述至少一個(gè)傳感電極被安置為使得能夠感應(yīng)蹺蹺板檢測質(zhì)量塊的這種樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極被安置為使得能夠感應(yīng)平臺(tái)相對于襯底的位置，所述加速度計(jì)輸出電路被配置為接收來自至少一個(gè)傳感電極和至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極的信號以及基于從至少一個(gè)傳感電極和至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極接收的信號產(chǎn)生加速度計(jì)輸出信號。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的加速度計(jì)輸出電路，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極包括第一平臺(tái)-傳感電極和第二平臺(tái)-傳感電極，所述第一平臺(tái)-傳感電極被安置在至少一個(gè)錨的第一側(cè)，所述第二平臺(tái)-傳感電極被安置在與第一側(cè)相對的至少一個(gè)錨的第二側(cè)，其中所述加速度計(jì)輸出電路被配置為接收來自第一和第二平臺(tái)-傳感電極的信號以及基于從第一和第二平臺(tái)-傳感電極接受的信號之間的差異產(chǎn)生加速度計(jì)輸出信號。
15.一種用于用于蹺蹺板型加速度計(jì)的電路芯片，其具有襯底、由襯底支撐的至少一個(gè)錨、由襯底支撐的至少一個(gè)平臺(tái)、蹺蹺板檢測質(zhì)量塊、至少一個(gè)傳感電極以及至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極，所述蹺蹺板檢測質(zhì)量塊栓接到平臺(tái)或錨上以使蹺蹺板檢測質(zhì)量塊能夠在與襯底垂直方向的加速度存在下繞至少一個(gè)錨樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述至少一個(gè)傳感電極被安置為使得能夠感應(yīng)蹺蹺板檢測質(zhì)量塊的這種樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極被安置為使得能夠感應(yīng)平臺(tái)相對于襯底的位置，所述電路芯片包括加速度計(jì)輸出電路，其被配置為接收來自至少一個(gè)傳感電極和至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極的信號以及基于從至少一個(gè)傳感電極和至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極接收的信號產(chǎn)生加速度計(jì)輸出信號。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的電路芯片，其中至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極包括第一平臺(tái)-傳感電極和第二平臺(tái)-傳感電極，所述第一平臺(tái)-傳感電極被安置在至少一個(gè)錨的第一側(cè)，所述第二平臺(tái)-傳感電極被安置在與第一側(cè)相對的至少一個(gè)錨的第二側(cè)，其中所述加速度計(jì)輸出電路被配置為接收來自第一和第二平臺(tái)-傳感電極的信號以及基于從第一和第二平臺(tái)-傳感電極接受的信號之間的差異產(chǎn)生加速度計(jì)輸出信號。
17.根據(jù)權(quán)利要求2的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)與至少一個(gè)錨一體成形。
18.根據(jù)權(quán)利要求1的蹺蹺板型加速度計(jì)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極包括：
第一對平臺(tái)-傳感電極，其被安置在至少一個(gè)錨的第一側(cè)；和
第二對平臺(tái)-傳感電極，其被安置在與第一側(cè)相對的至少一個(gè)錨的第二側(cè)。
19.根據(jù)權(quán)利要求13的加速度計(jì)輸出電路，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極包括第一對平臺(tái)-傳感電極和第二對平臺(tái)-傳感電極，所述第一對平臺(tái)-傳感電極被安置在至少一個(gè)錨的第一側(cè)，所述第二對平臺(tái)-傳感電極被安置在與第一側(cè)相對的至少一個(gè)錨的第二側(cè)，其中所述加速度計(jì)輸出電路被配置為接收來自第一對和第二對平臺(tái)-傳感 電極的信號以及基于從第一對和第二對平臺(tái)-傳感電極接受的信號之間的差異產(chǎn)生加速度計(jì)輸出信號。
20.根據(jù)權(quán)利要求15的電路芯片，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)-傳感電極包括第一對平臺(tái)-傳感電極和第二對平臺(tái)-傳感電極，所述第一對平臺(tái)-傳感電極被安置在至少一個(gè)錨的第一側(cè)，所述第二對平臺(tái)-傳感電極被安置在與第一側(cè)相對的至少一個(gè)錨的第二側(cè)，其中所述加速度計(jì)輸出電路被配置為接收來自第一對和第二對平臺(tái)-傳感電極的信號以及基于從第一對和第二對平臺(tái)-傳感電極接受的信號之間的差異產(chǎn)生加速度計(jì)輸出信號。