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感應耦合型等離子體分析儀的制作方法

文檔序號:11945817閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種ICP分析儀100包括自激振蕩射頻電源單元120,用于向纏繞在等離子體焰炬110周圍的感應線圈111提供用于產(chǎn)生等離子體的射頻電力。為了檢查等離子體焰炬110的類型,分析儀100還包括:頻率測量部121,用于測量電源單元120的輸出頻率;存儲部190,保存針對每種類型等離子體焰炬的參考輸出頻率;以及焰炬檢查器132,用于確定由頻率測量部121在點燃等離子體之后測量到的輸出頻率是否與參考輸出頻率中的任一參考輸出頻率一致,并用于對所述確定結(jié)果進行通知。

技術(shù)研發(fā)人員:安田尚樹
受保護的技術(shù)使用者:株式會社島津制作所
文檔號碼:201610349923
技術(shù)研發(fā)日:2016.05.24
技術(shù)公布日:2016.12.07

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