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一種測(cè)量基因片段作用力的微懸臂梁裝置的制作方法

文檔序號(hào):11859029閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種測(cè)量基因片段作用力的微懸臂梁裝置,其特征在于:包括固定端(2)、左端裝設(shè)于所述固定端(2)上的三層復(fù)合梁(1)、基因片段A和基因片段B、微傳感器(9);所述三層復(fù)合梁(1)包括具有吸附能力但無(wú)摩擦力構(gòu)的無(wú)阻層(11)、厚度為10-20微米的水凝膠層(12)、以及厚度為5-6微米的硅層(13);所述無(wú)阻層(11)位于所述水凝膠層(12)的上部,所述硅層(13)位于所述水凝膠層(12)的底部;所述基因片段A和基因片段B相鄰地放置于所述無(wú)阻層(11)的上部,且位于所述三層復(fù)合梁(1)的中部;所述微傳感器(9)為分辨率為0.01微Pa的應(yīng)力傳感器,裝設(shè)于所述三層復(fù)合梁(1)的右端底部;所述無(wú)阻層(11)的厚度為1-2微米。

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