本發(fā)明涉及位置校正用工具以及X射線位置計測裝置。

背景技術(shù)：

已知有使用X射線發(fā)射器和X射線相機來進行印刷板的位置計測的X射線位置計測裝置(專利文獻1)。在這種X射線位置計測裝置中，當X射線發(fā)射器的發(fā)射中心和X射線相機的光軸不一致時，會在X射線相機的拍攝圖像中發(fā)生變形，無法進行準確的定位。因此，在這種X射線位置計測裝置中，進行使發(fā)射器的發(fā)射中心與X射線相機的光軸一致的調(diào)整。

專利文獻1：日本特開2012-88170號公報

這樣，在進行使發(fā)射器的發(fā)射中心與X射線相機的光軸一致的調(diào)整時，希望調(diào)整不耽擱工夫，能夠在較短的調(diào)整時間內(nèi)準確進行使發(fā)射器的發(fā)射中心與X射線相機的光軸一致的調(diào)整。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠迅速且高精度地調(diào)整X射線發(fā)射器的發(fā)射中心與X射線相機的光軸的位置校正用工具、以及能夠使用這種位置校正用工具的X射線位置計測裝置。

(1)為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一個方式是一種位置校正用工具，該位置校正用工具是X射線位置計測裝置的位置校正用工具，該X射線位置計測裝置利用X射線相機來拍攝基于從X射線發(fā)射器發(fā)射的X射線的圖像而對測定對象物進行測定，該位置校正用工具使所述X射線位置計測裝置中的所述X射線發(fā)射器的X射線發(fā)射中心與所述X射線相機的光軸對準，其中，該位置校正用工具具有：第1透過部，其使所述X射線發(fā)射器側(cè)發(fā)射的X射線透過；以及第2透過部，其使由所述第1透過部透過的X射線透過并投影到所述X射線相機，所述位置校正用工具將基于由所述第1透過部透過的X射線的第1投影像、和基于由所述第2透過部透過的X射線的第2投影像投影到所述X射線相機。

(2)此外，在本發(fā)明的一個方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透過部和所述第2透過部具有使X射線透過的孔。

(3)此外，在本發(fā)明的一個方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透過部的孔的直徑小于所述第2透過部的孔的直徑。

(4)此外，在本發(fā)明的一個方式的位置校正用工具中可以是，所述第1透過部的部件的厚度比所述第2透過部的部件的厚度薄。

(5)此外，在本發(fā)明的一個方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透過部和所述第2透過部由X射線透過率彼此不同的部件構(gòu)成。

(6)此外，在本發(fā)明的一個方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透過部的部件為鋁，所述第2透過部的部件為黃銅。

(7)為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一個方式的X射線位置計測裝置具有：X射線發(fā)射器和X射線相機；工件載置臺，其載置測定對象物；第1移動部，其使所述X射線發(fā)射器相對于所述工件載置臺上的測定對象物沿著該工件載置臺的面移動；第2移動部，其使所述X射線相機相對于所述工件載置臺上的測定對象物沿著該工件載置臺的面移動；圖像顯示部，從所述X射線發(fā)射器發(fā)射并透過了所述測定對象物的X射線作為2個不同的X射線投影像而投影在該圖像顯示部上；以及上述的位置校正用工具，所述X射線位置計測裝置根據(jù)所述2個不同的X射線投影像的位置偏移量使所述第1移動部和第2移動部中的至少一方移動，由此使所述X射線發(fā)射器的X射線發(fā)射中心與所述X射線相機的光軸一致。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠使用2個不同的X射線投影像，迅速且準確地進行使X射線發(fā)射器的X射線發(fā)射中心與X射線相機的光軸一致的調(diào)整。

附圖說明

圖1是示出能夠通過本發(fā)明的實施方式的位置校正用工具進行位置調(diào)整的X射線位置計測裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖2是從X射線位置計測裝置的-Y方向觀察的示意性的側(cè)視圖。

圖3是用于說明X射線位置計測裝置的硬件結(jié)構(gòu)的功能框圖。

圖4是第1實施方式的位置校正用工具的側(cè)視剖視圖。

圖5的(A)和(B)是第1實施方式的位置校正用工具的圖像分析的說明圖。

圖6的(A)和(B)是使用了第1實施方式的位置校正用工具的光軸調(diào)整的說明圖。

圖7的(A)和(B)是使用了第1實施方式的位置校正用工具的光軸調(diào)整的說明圖。

圖8是示出使用第1實施方式的位置校正用工具來進行使X射線發(fā)射器的X射線發(fā)射中心與X射線相機的光軸一致的調(diào)整時的處理的流程圖。

圖9的(A)和(B)是第2實施方式的位置校正用工具的圖像分析的說明圖。

圖10的(A)和(B)是第3實施方式的位置校正用工具的圖像分析的說明圖。

標號說明

10：X射線位置計測裝置；10a：X射線發(fā)射器；10b：X射線相機；10c：工件載置臺；21：第2X馬達；22：第2Y馬達；31：第3X馬達；32：第3Y馬達；81：控制器；101、201、301：位置校正用工具；112a、212a、312a：底面部(第1透過部)；112b、212b、312b：底面部(第2透過部)；113a、113b、213a、213b、313a、313b：孔。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1是示出使用X射線發(fā)射器和X射線相機來進行印刷板的位置計測的X射線位置計測裝置的一例的立體圖，圖2是從X射線位置計測裝置10的-Y方向觀察的示意性的側(cè)視圖。在這種X射線位置計測裝置10中，在進行使發(fā)射器的發(fā)射中心與X射線相機的光軸一致的調(diào)整時，使用本發(fā)明的實施方式的位置校正用工具。

如圖1和圖2所示，X射線位置計測裝置10具有X射線發(fā)射器10a、X射線相機10b和矩形框狀的工件載置臺10c。如圖2所示，在工件載置臺10c上載置多層印刷基板70。

X射線位置計測裝置10還具有：基座10d，其在俯視時呈方形，設(shè)置于地板或工作臺上；以及豎立設(shè)置板10e，其呈矩形的平板狀，從該基座10d的Y方向中央部向上方(+Z方向)豎立設(shè)置。該基座10d的各邊分別沿著左右方向(±X方向)、前后方向(±Y方向)、上下方向(±Z方向)，豎立設(shè)置板10e在左右方向上延伸。工件載置臺10c與基座10d的上表面平行配置。

X射線發(fā)射器10a和X射線相機10b以隔開規(guī)定距離地沿上下方向?qū)χ玫姆绞脚渲迷诠ぜd置臺10c的開口內(nèi)。從X射線發(fā)射器10a發(fā)射并透過了多層印刷基板的X射線在X射線相機10b的受光面被捕獲為X射線投影像。

X射線相機10b被截面呈L形的Z方向移動體15支承，該Z方向移動體15被支承為能夠利用一對第1軌道51而相對于矩形的第1X方向移動體13在上下方向上移動。而且，Z方向移動體15借助配置于第1X方向移動體13的Z馬達43，能夠被一對第1軌道51引導(dǎo)并相對于第1X方向移動體13在與工件載置臺面垂直的方向(上下方向)上移動。該一對第1軌道51以沿Z方向延伸的方式配置于第1X方向移動體13的+Y側(cè)的側(cè)面的大致中央部。

第1X方向移動體13能夠利用一對第2軌道52而相對于豎立設(shè)置板10e在X方向上移動。該一對第2軌道52以沿X方向延伸的方式配置于豎立設(shè)置板10e的+Y側(cè)的側(cè)面的上下周緣部。而且，第1X方向移動體13借助配置于豎立設(shè)置板10e的第1X馬達11，能夠被第2軌道52引導(dǎo)并沿著豎立設(shè)置板10e在X方向上移動。并且，X射線相機10b借助配置在Z方向移動體15上的第3X馬達31和第3Y馬達32，能夠相對于Z方向移動體15在X方向和Y方向上在微小的范圍內(nèi)移動。

X射線發(fā)射器10a載置在矩形平板狀的第2X方向移動體14上，該第2X方向移動體14能夠利用沿著X方向延伸的一對第3軌道53而相對于基座10d在X方向上移動。而且，第2X方向移動體14借助配置于基座10d的第2X馬達21，能夠被第3軌道53引導(dǎo)并相對于基座10d在X方向上移動。一對第3軌道53和第2X馬達21配置于槽部10f的底面，該槽部10f以沿著X方向延伸的方式形成于基座10d的中央部。并且，X射線發(fā)射器10a借助配置在第2X方向移動體14上的第2Y馬達22，能夠相對于第2X方向移動體14在Y方向上在微小的范圍內(nèi)移動。

這樣，X射線發(fā)射器10a和X射線相機10b借助第1X馬達11和第2X馬達21，能夠相對于工件載置臺10c上的多層印刷基板分別獨立地沿著該工件載置臺面移動。

工件載置臺10c能夠利用一對第3軌道54而相對于基座10d在Y方向上移動。該第3軌道54以沿著Y方向延伸的方式配置于基座10d的左右周緣部。而且，工件載置臺10c借助配置在基座10d上的第4Y馬達42，能夠被第3軌道54引導(dǎo)并相對于基座10d在Y方向上移動。

此外，位置校正用工具101被安裝于X射線相機10b和X射線發(fā)射器10a之間。位置校正用工具101用于使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致。位置校正用工具101被成型為圓筒形形狀，具有側(cè)面部111和圓筒的兩端的底面部112a、112b。底面部112a配置于X射線發(fā)射器10a側(cè)，底面部112b配置于X射線相機10b側(cè)。

圖3是用于說明X射線位置計測裝置10的硬件結(jié)構(gòu)的功能框圖。如圖3所示，X射線位置計測裝置10具備：具有CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)的控制器81、圖像顯示部45、X射線發(fā)射器驅(qū)動部46、存儲部47和輸入部48。上述的圖像顯示部45、X射線發(fā)射器驅(qū)動部46、存儲部47和輸入部48分別與控制器81連接。

此外，在控制器81上連接有用于驅(qū)動上述X射線位置計測裝置10的各結(jié)構(gòu)要素的伺服馬達組44、即上述的第1X馬達11、第2X馬達21、Z馬達43、第2Y馬達22、第3X馬達31、第3Y馬達32和第4Y馬達42。

圖像顯示部45與X射線相機10b連接，對投影到X射線相機10b的受光面的X射線投影像進行投影。而且，控制器81對顯示于圖像顯示部45的顯示畫面上的X射線投影像進行圖像處理。

X射線發(fā)射器驅(qū)動部46與X射線發(fā)射器10a連接，根據(jù)來自輸入部48的輸入信息使X射線從X射線發(fā)射器10a發(fā)射，或使該發(fā)射停止。存儲部47包含RAM(Random Access Memory：隨機存取存儲器)、ROM(Read Only Memory：只讀存儲器)和半導(dǎo)體存儲器等非易失性存儲器。在存儲部47中存儲有由控制器81執(zhí)行的程序、程序的執(zhí)行所需的各種參數(shù)、和用于驅(qū)動上述伺服馬達組44而使X射線發(fā)射器10a和X射線相機10b移動的各種信息。

輸入部48構(gòu)成為包含電源開關(guān)和用于輸入針對X射線位置計測裝置10的指令的操作面板等，受理來自用戶的輸入。來自用戶的指示經(jīng)由該輸入部48被輸入，并通知給控制器81。

接著，對第1實施方式的位置校正用工具101進行說明。如圖1和圖2所示，X射線位置計測裝置10使用X射線相機10b捕獲來自X射線發(fā)射器10a的X射線圖像，進行多層印刷基板的位置計測。在這種X射線位置計測裝置10中，需要預(yù)先使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致。在這種X射線位置計測裝置10中，本實施方式的位置校正用工具101用于使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心和X射線相機10b的光軸一致。

圖4是本實施方式的位置校正用工具101的側(cè)視剖視圖。如圖4所示，位置校正用工具101被成型為圓筒形形狀，具有側(cè)面部111、圓筒的兩端的底面部112a(第1透過部)和底面部112b(第2透過部)。底面部112a利用X射線透過率比構(gòu)成底面部112b的部件大的(容易透過X射線的)部件、例如鋁來成型。在底面部112a的中心形成有圓形的孔113a。底面部112b利用X射線透過率小的(不易透過X射線的)部件、例如黃銅來成型。在底面部112b的中心形成有圓形的孔113b。底面部112a的孔113a的直徑小于底面部112b的孔113b的直徑。在側(cè)面部111設(shè)有凸緣部115。

另外，在該例子中，利用例如黃銅使側(cè)面部111和底面部112b成型為一體，利用例如鋁來成型底面部112a并嵌入到位置校正用工具101的端面，但是，可以任意加工底面部112a和底面部112b。

此外，此處雖然使底面部112a為鋁，使底面部112b為黃銅，但是，只要是X射線透過率不同的部件的組合，則可以使用任意部件。例如，底面部112a可以使用樹脂來代替鋁。此外，底面部112b可以使用鐵、銅、不銹鋼來代替黃銅。

此外，在該例子中，底面部112a和底面部112b的厚度比側(cè)面部111的厚度薄。這是為了提高位置檢測精度。

如上所述，在本實施方式的位置校正用工具101中，由例如鋁來成型一方的底面部112a，由例如黃銅來成型另一方的底面部112b，一方的底面部112a和另一方的底面部112b使用了X射線透過率不同的部件。而且，基于由底面部112a(第1透過部)透過的X射線的第1投影像和基于由底面部112b(第2透過部)透過的X射線的第2投影像被投影到X射線相機10b。因此，能夠根據(jù)X射線相機10b的拍攝圖像區(qū)別并檢測底面部112a的孔113a的投影像和底面部112b的孔113b的投影像。

圖5是本實施方式的位置校正用工具101的圖像分析的說明圖。在圖5中，P101表示來自X射線發(fā)射器10a的X射線焦點。P102表示X射線相機10b的受光面。G100表示X射線相機10b的拍攝圖像。

在圖5的(A)中，來自X射線焦點P101的X射線照射到一方的底面部112a。到達底面部112a的X射線中的、照射到孔113a的X射線直接透過并到達另一方的底面部112b。此處，底面部112a由X射線透過率高的鋁成型。因此，照射到底面部112a的X射線的一部分從底面部112a通過，到達另一方的底面部112b。

底面部112b由黃銅成型。黃銅幾乎截斷X射線。因此，到達底面部112b的X射線中的、照射到孔113b的X射線直接透過，并到達X射線相機10b的受光面，到達孔113b的周圍的X射線在底面部112b被截斷。

這樣，當將位置校正用工具101安裝于X射線發(fā)射器10a與X射線相機10b之間時，在從X射線發(fā)射器10a發(fā)射的X射線的行進方向上，介入配置有作為第1透過部的底面部112a和作為第2透過部的底面部112b這2個透過部。而且，在X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a，利用孔113a的部分來使X射線全部透過，利用除此以外的部分來使X射線的一部分透過。此外，在X射線相機10b側(cè)的底面部112b，利用孔113b的部分來使X射線全部透過，利用除此以外的部分來將X射線截斷。

由此，X射線相機10b的拍攝圖像G100如圖5的(B)所示。即，如圖5的(B)所示，在X射線相機10b的拍攝圖像G100中，周圍最暗，在其內(nèi)側(cè)產(chǎn)生圓形的像Q102。最暗的部分是利用由例如黃銅構(gòu)成的底面部112b來將X射線截斷的部分。由于底面部112b的孔113b大于底面部112a的孔113a，所以該圓形的像Q102的部分是底面部112b的孔113b的像。而且，在圓形的像Q102的內(nèi)側(cè)產(chǎn)生略微變亮的部分，在其內(nèi)側(cè)產(chǎn)生圓形的像Q101。圓形的像Q102的內(nèi)側(cè)的略微變亮的部分是X射線從由例如鋁構(gòu)成的底面部112a通過的部分，圓形的像Q101是底面部112a的孔113a的像。這樣，在X射線相機10b的拍攝圖像G100中，在變得最暗的部分的投影像的中心映出孔113b的像Q102，在略微變亮的部分的投影像的中心映出孔113a的像Q101作為最亮的像。因此，通過檢測像的亮度，能夠分離地檢測X射線相機10b的拍攝圖像G100上的、底面部112a的孔113a的像Q101和底面部112b的孔113b的像Q102的位置。如果能夠檢測出X射線相機10b的拍攝圖像G100上的、底面部112a的孔113a的像Q101的位置和底面部112b的孔113b的像Q102的位置，則能夠如以下所說明那樣進行使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的光軸調(diào)整。

圖6和圖7是使用了本實施方式的位置校正用工具101的光軸調(diào)整的說明圖。

圖6示出X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的情況。如圖6的(A)所示，如果X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心、X射線相機10b的光軸、位置校正用工具101的中心完全一致，則位置校正用工具101的2個圓形的孔113a和113b的中心位于連結(jié)X射線發(fā)射器10a的X射線焦點P101和X射線相機10b的圖像傳感器C101的位置的線上。因此，如圖6的(B)所示，在X射線相機10b的拍攝圖像G100中，利用拍攝圖像G100的圖像傳感器C101，以使孔113a的像Q101的中心與孔113b的像Q102的中心一致的方式拍攝出X射線圖像。

與此相對，圖7示出X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸錯開的情況。如圖7的(A)所示，當X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸的中心錯開時，如圖7的(B)所示，在孔113a的像Q101的中心與孔113b的像Q102的中心之間產(chǎn)生偏差。

由此，X射線位置計測裝置10分析X射線相機10b的拍攝圖像G100，檢測孔113a的像Q101的位置和孔113b的像Q102的位置，由此對X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸的偏差進行校正。

圖8是示出使用本實施方式的位置校正用工具101來進行使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整時的處理的流程圖。在圖8所示的處理中，首先，在步驟S102到步驟S104中，進行使配置于X射線相機10b側(cè)的底面部112b的孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101一致的處理。接著，在步驟S105到步驟S106中，進行使配置于X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a的孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101一致的處理。如果以上的處理結(jié)束，則底面部112a的孔113a的像Q101的中心位置、底面部112b的孔113b的像Q102的中心位置、X射線相機10b的圖像傳感器C101變得完全一致，從而如圖6所示地X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸變得一致。

在圖8中，控制器81使X射線相機10b和X射線發(fā)射器10a移動到位置校正用工具101的附近(步驟S101)。然后，X射線相機10b接受來自X射線發(fā)射器10a的X射線，取得X射線投影像，并投影到圖像顯示部45(步驟S102)。

在步驟S102中取得X射線圖像后，控制器81根據(jù)X射線投影像來檢測孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量，判定該孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量是否在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S103)。

如果孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量不在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S103：否)，則控制器81以孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101一致的方式使X射線相機10b的位置移動(步驟S104)。

即，X射線相機10b的位置能夠借助第3X馬達31和第3Y馬達32而在X方向和Y方向上移動?？刂破?1向伺服馬達組44發(fā)出指令，進行使第3X馬達31和第3Y馬達32移動的處理，以使孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的位置一致。

控制器81在使X射線相機10b的位置移動后，使處理返回到步驟S102。在步驟S102中，使用X射線相機10b來取得X射線圖像，并投影到圖像顯示部45。然后，在步驟S103中，控制器81判定孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量是否在規(guī)定值以內(nèi)。

若判定為孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S103：是)，則控制器81檢測X射線發(fā)射器10a側(cè)的孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量，判定該孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量是否在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S105)。

如果在步驟S105中孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量未在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S105：否)，則控制器81以孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101一致的方式使X射線發(fā)射器10a的位置移動(步驟S106)。

即，能夠借助第2X馬達21和第2Y馬達22，使X射線發(fā)射器10a的位置在X方向和Y方向上移動?？刂破?1向伺服馬達組44發(fā)出指令，進行使第2X馬達21和第2Y馬達22移動的處理，以使孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的位置一致。

控制器81在使X射線發(fā)射器10a的位置移動后，使處理返回到步驟S102。在步驟S102中，使用X射線相機10b取得X射線圖像，并投影到圖像顯示部45。然后，在步驟S103中，控制器81判定孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量是否在規(guī)定值以內(nèi)。

另外，在步驟S102、步驟S103中再次進行使孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101一致的處理是因為：由于在步驟S106中使X射線發(fā)射器10a的位置移動，從而孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101之間的關(guān)系有可能打亂。

如果在步驟S103中孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S103：是)，則在步驟S105中，控制器81檢測孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量，判定該孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量是否在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S105)。

如果在步驟S105中判定為孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量在規(guī)定值以內(nèi)(步驟S105：是)，則結(jié)束位置校正處理。

在步驟S105中孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量未在規(guī)定值以內(nèi)的情況下(步驟S105：否)，反復(fù)步驟S102～步驟S105的處理。然后，如果在步驟S103中判定為孔113b的像Q102的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量在規(guī)定值以內(nèi)，且在步驟S105中判定為孔113a的像Q101的中心位置與X射線相機10b的圖像傳感器C101的偏差量在規(guī)定值以內(nèi)，則結(jié)束位置校正處理。

這里，可以將X射線發(fā)射器10a和X射線相機10b的校正值(移動量)存儲到存儲部47中，用作下一次的使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整時的校正值。由此，能夠迅速進行X射線發(fā)射器10a和X射線相機10b的光軸對準。

<第2實施方式>

接著，對第2實施方式進行說明。圖9是本實施方式的位置校正用工具201的圖像分析的說明圖。如圖9所示，本實施方式的位置校正用工具201被成型為圓筒形形狀，具有側(cè)面部211、圓筒的兩端的底面部212a(第1透過部)和底面部212b(第2透過部)。在側(cè)面部211設(shè)有凸緣部215。底面部212a和212b為相同的部件，底面部212a的厚度成型為比底面部212b的厚度薄。考慮使用能夠在某種程度上使X射線透過并能夠容易進行加工的材料、例如鋁或樹脂來作為底面部212a和212b所用的材料。在底面部212a上形成圓形的孔213a。在底面部212b上形成圓形的孔213b。底面部212a的孔213a的直徑小于底面部212b的孔213b的直徑。

此外，在圖9中，P201表示來自X射線發(fā)射器10a的X射線焦點。P202表示X射線相機10b的受光面。G200表示X射線相機10b的拍攝圖像。Q201表示底面部212a的孔213a的像，Q202表示底面部212b的孔213b的像。

在本實施方式中，通過使底面部212a(第1透過部)的厚度和底面部212b(第2透過部)的厚度不同，能夠根據(jù)X射線相機10b的拍攝圖像G200來區(qū)別底面部212a的孔213a的像Q201和底面部212b的孔213b的像Q202。

即，在圖9的(A)中，來自X射線焦點P201的X射線照射到一方的底面部112a。這里，底面部212a由較薄的材料成型，在其中心形成有孔213a。到達底面部212a的X射線中的、照射到孔213a的X射線直接到達另一方的底面部212b。此外，由于底面部212a為較薄的材料，所以照射到底面部212a的孔213a的周圍的X射線的一部分從底面部212a通過，到達另一方的底面部212b。

底面部212b由較厚的材料成型。因此，到達底面部212b的X射線中的、照射到孔213b的X射線直接到達X射線相機10b的受光面，照射到孔213b的周圍的X射線在底面部212b幾乎被截斷。即，在本實施方式中，由于底面部212a和底面部212b的厚度不同，所以即使材質(zhì)相同，X射線的透過率也不同。

由此，X射線相機10b的拍攝圖像G200如圖9的(B)所示。即，如圖9的(B)所示，從底面部212a通過的投影像成為稍微亮的部分的投影像，在其中心映出孔213a的像Q201作為最亮的部分。此外，在底面部212b被截斷的投影像成為暗的部分的投影像，在其中心映出孔213b的像Q202。

這樣，在本實施方式中，通過使底面部212a(第1透過部)和底面部212b(第2透過部)的厚度不同，能夠分離地檢測底面部212a的孔213a的像Q201和底面部212b的孔213b的像Q202的位置。其他的結(jié)構(gòu)與第1實施方式相同。

<第3實施方式>

接著，對第3實施方式進行說明。圖10是本實施方式的位置校正用工具301的圖像分析的說明圖。如圖10所示，本實施方式的位置校正用工具301被成型為圓筒形形狀，并具有側(cè)面部311、圓筒的兩端的底面部312a(第1透過部)和底面部312b(第2透過部)。在側(cè)面部311設(shè)有凸緣部315。底面部312a和312b為相同的部件，能夠使用相同厚度的材料。在底面部312a上形成有孔313a，該孔313a為例如中心為較小的圓形且其周圍延伸有十字形的槽的形狀。在底面部312b上形成圓形的孔313b。

此外，在圖10中，P301表示來自X射線發(fā)射器10a的X射線焦點。P302表示X射線相機10b的受光面。G300表示X射線相機10b的拍攝圖像。Q301表示底面部312a的孔313a的像，Q302表示底面部312b的孔313b的像。

在本實施方式中，底面部312a的孔313a的形狀是中心為較小的圓形且其周圍延伸有十字形的槽這樣的形態(tài)，底面部312b的孔313b的形狀為圓形。因此，如圖10的(B)所示，由拍攝圖像G300取得的底面部312a的孔313a和底面部312b的孔313b的形狀不同。由于孔313a是例如中心為較小的圓形且其周圍延伸有十字形的槽的形狀，所以當孔313的像Q313a的中心與孔313b的像Q302的中心一致時，像Q301的呈十字形延伸的部分的長度變得完全相同。由此，能夠檢測出孔313a的像Q301的位置與孔313b的像Q302的位置一致的情況。其他的結(jié)構(gòu)與第1實施方式相同。

另外，在上述的說明中，雖然在用于使X射線位置計測裝置10的X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整中使用了本發(fā)明的實施方式的位置校正用工具101、201、301，但是本發(fā)明的實施方式的位置校正用工具101、201、301不僅能夠用于X射線位置計測裝置10，還能夠用于其他設(shè)備。本發(fā)明的實施方式的位置校正用工具101、201、301例如能夠用于印刷板的開孔裝置。

此外，雖然在本發(fā)明的實施方式中，對利用控制器81自動進行用于使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整的情況進行了說明，但是也可以構(gòu)成為，在作業(yè)人員手動使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致后，利用螺釘?shù)裙潭?gòu)件來對X射線發(fā)射器10a和X射線相機10b進行固定。

另外，雖然在上述本發(fā)明的實施方式中，對具有在X射線發(fā)射器10a側(cè)具有1個孔的第1透過部和在X射線相機10b側(cè)具有1個孔的第2透過部的例子進行了說明，但是不限于此。各透過部具備的孔的數(shù)量可以為2個以上。

如上所述，本發(fā)明的實施方式的位置校正用工具101是下述這樣的X射線位置計測裝置的位置校正用工具：用于利用X射線相機10b來拍攝基于從X射線發(fā)射器10a發(fā)射的X射線的圖像并使對測定對象物進行測定的X射線位置計測裝置10的X射線發(fā)射器的X射線發(fā)射中心與X射線相機的光軸對準，其中，該位置校正用工具具有：第1透過部(底面部112a、212a、312a)，其使X射線發(fā)射器側(cè)發(fā)射出的X射線透過；以及第2透過部(底面部112b、212b、312b)，其使由第1透過部透過的X射線透過并投影到X射線相機，所述位置校正用工具將基于由第1透過部透過的X射線的第1投影像(像Q101、Q201、Q301)和基于由第2透過部透過的X射線的第2投影像(像Q102、Q202、Q302)投影到X射線相機。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠使用2個不同的X射線投影像，迅速進行使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整。

此外，在本發(fā)明的實施方式的位置校正用工具101中，第1透過部(底面部112a、212a、312a)和第2透過部(底面部112b、212b、312b)具有使X射線透過的孔(孔113a和113b、或者孔213a和213b或者孔313a和313b)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過例如檢測底面部112a的孔113a的像Q101和底面部112b的孔113b的像Q102在X射線投影像上的中心位置，能夠準確進行使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整。

此外，在第1實施方式的位置校正用工具101中，第1透過部(底面部112a)的孔113a的直徑小于第2透過部(底面部112b)的孔113b的直徑。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，根據(jù)X射線投影像，X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a(第1透過部)的孔113a的像Q101與X射線相機10b側(cè)的底面部112b(第2透過部)的孔113b的像Q102不會完全重合。由此，能夠根據(jù)1個拍攝畫面來檢測X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a的孔113a的像Q101的位置與X射線相機10b側(cè)的底面部112b的孔113b的像Q102的位置的偏差量，準確進行使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整。

此外，在第2實施方式的位置校正用工具201中，第1透過部(底面部212a)的部件的厚度比第2透過部(底面部212b)的部件的厚度薄。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過使X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部212a(第1透過部)的部件的厚度比X射線相機10b側(cè)的底面部212b(第2透過部)的部件的厚度薄，X射線的一部分經(jīng)由X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部212a透過。由此，能夠根據(jù)X射線投影像來判別X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部212a的孔213a的像Q201和X射線相機10b側(cè)的底面部212b的孔213b的像Q202。由此，能夠根據(jù)1個拍攝畫面來檢測X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部212a的孔213a的像Q201的位置與X射線相機10b側(cè)的底面部212b的孔213b的像Q202的位置的偏差量，準確進行使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整。

此外，在第1實施方式的位置校正用工具101中，第1透過部(底面部112a)和第2透過部(底面部112b)由X射線透過率彼此不同的部件構(gòu)成。

此外，在第1實施方式的位置校正用工具101中，第1透過部(底面部112a)的部件為鋁，第2透過部(底面部112b)的部件為黃銅。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過使X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a(第1透過部)的部件與X射線相機10b側(cè)的底面部112b(第2透過部)的部件的X射線透過率不同，X射線的一部分經(jīng)由X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a透過。由此，能夠根據(jù)X射線投影像來判別X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a的孔113a的像Q101和X射線相機10b側(cè)的底面部112b的孔113b的像Q102。由此，能夠根據(jù)1個拍攝畫面來檢測X射線發(fā)射器10a側(cè)的底面部112a的孔113a的像Q101的位置與X射線相機10b側(cè)的底面部112b的孔113b的像Q102的位置的偏差量，準確進行使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致的調(diào)整。

此外，本發(fā)明的實施方式的X射線位置計測裝置10具有：X射線發(fā)射器10a和X射線相機10b；工件載置臺10c，其載置測定對象物；第1移動部(第2X馬達21和第2Y馬達22)，其使X射線發(fā)射器10a相對于工件載置臺10c上的測定對象物沿著該工件載置臺面移動；第2移動部(第3X馬達31和第3Y馬達32)，其使X射線相機10b相對于工件載置臺10c上的測定對象物沿著該工件載置臺面移動；圖像顯示部45，其將從X射線發(fā)射器10a發(fā)射并透過了測定對象物的X射線投影為2個不同的X射線投影像(像Q101和Q102)；以及實施方式涉及的位置校正用工具101，所述X射線位置計測裝置10根據(jù)2個不同的X射線投影像(像Q101和Q102)的位置偏移量來使第1移動部(第2X馬達21和第2Y馬達22)和第2移動部(第3X馬達31和第3Y馬達32)中的至少一方移動，由此使X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠迅速并準確地使配置于X射線位置計測裝置10的X射線發(fā)射器10a的X射線發(fā)射中心與X射線相機10b的光軸一致。

以上，參照附圖對本發(fā)明的實施方式詳細進行了敘述，但具體的結(jié)構(gòu)并不限于該實施方式，還包括不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)的設(shè)計變更等。