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一種等離子體原位表征系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12466186閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種等離子體原位表征系統(tǒng),其特征在于,包括等離子體放電反應(yīng)器和用于表征等離子體的發(fā)射光譜儀、高速圖像捕捉系統(tǒng)、數(shù)字示波器與在線質(zhì)譜儀,發(fā)射光譜儀的光纖探頭和高速圖像捕捉系統(tǒng)的第一圖像采集器均置于等離子體放電反應(yīng)器的放電核心區(qū)域;數(shù)字示波器的電壓探頭附屬高壓極與等離子體放電反應(yīng)器的高壓極相連,數(shù)字示波器的電壓探頭附屬接地極與地線相連,數(shù)字示波器的電流探頭與等離子體放電反應(yīng)器相連;在線質(zhì)譜儀進樣管與等離子體放電反應(yīng)區(qū)出口相連。

2.如權(quán)利要求1所述的一種等離子體原位表征系統(tǒng),其特征在于,還包括紅外成像儀,紅外成像儀的第二圖像采集器朝向等離子體放電核心區(qū)域。

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