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探針的保持結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12746840閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種探針的保持結(jié)構(gòu),其特征在于,

該探針的保持結(jié)構(gòu)包括探針和保持所述探針的兩端部并配置在電極基板與被檢查基板之間的探針用夾具,

所述探針用夾具包括保持所述探針的后端部并以能夠與電極基板接觸的方式配置于該電極基板的基部,

在所述基部上設(shè)有供所述探針貫穿的多個貫穿孔,

所述貫穿孔包括與所述電極基板相面對的大徑部和與所述大徑部連續(xù)的小徑部,在所述大徑部與所述小徑部之間形成有階梯部,

所述探針包括內(nèi)置于所述大徑部并形成得比所述小徑部大徑的環(huán)狀的卡定部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針的保持結(jié)構(gòu),其特征在于,

所述貫穿孔的大徑部與其他大徑部相連地形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的探針的保持結(jié)構(gòu),其特征在于,

所述階梯部通過將所述貫穿孔設(shè)為階梯孔而形成。

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