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具有分體式中心轉(zhuǎn)動件的多軸轉(zhuǎn)速傳感器的制作方法

文檔序號:12746168閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及轉(zhuǎn)速傳感器,包括基底、第一驅(qū)動結(jié)構(gòu)、第二驅(qū)動結(jié)構(gòu)、第一探測結(jié)構(gòu)、第二探測結(jié)構(gòu)、第三探測結(jié)構(gòu)和第四探測結(jié)構(gòu)。該轉(zhuǎn)速傳感器包括驅(qū)動裝置,用于使第一和第二驅(qū)動結(jié)構(gòu)從靜止位置偏出從而使得它們能被激勵成具有基本反相的運動分量的振動。第一和第二探測結(jié)構(gòu)借助耦合結(jié)構(gòu)耦合,使得在第一轉(zhuǎn)速和/或在第二轉(zhuǎn)速的情況下能夠探測基本垂直于驅(qū)動方向作用到第一探測結(jié)構(gòu)上的第一力作用和作用到第二探測結(jié)構(gòu)上的第二力作用,第一和第二力作用基本反相,第三和第四探測結(jié)構(gòu)借助于耦合結(jié)構(gòu)耦合,使得在第二轉(zhuǎn)速和/或在第三轉(zhuǎn)速的情況下能探測基本垂直于主延伸平面作用到第三探測結(jié)構(gòu)上的第三力作用和作用到第四探測結(jié)構(gòu)上的第四力作用。

技術(shù)研發(fā)人員:M·哈塔斯;D·奇毛;T·巴爾斯林科
受保護的技術(shù)使用者:羅伯特·博世有限公司
文檔號碼:201610559524
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.15
技術(shù)公布日:2017.01.25

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