本發(fā)明涉及一種電子裝置、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

背景技術(shù)：

一直以來，已知一種將作為功能元件的一個(gè)示例的振動(dòng)元件收納在作為基座的陶瓷封裝件內(nèi)的電子裝置。作為這種電子裝置，例如在專利文件1所記載的壓電裝置中，包括用于對作為功能元件的一個(gè)示例的振動(dòng)元件進(jìn)行支承的支承基板的支承部在一端側(cè)和與該一端側(cè)相反的另一端側(cè)處，使用粘合劑而被連接(固定)在作為基座的陶瓷封裝件上。

但是，在專利文獻(xiàn)1所公開的壓電裝置中，作為基座的陶瓷封裝件與被連接(固定)在該陶瓷封裝件上的支承部的熱膨脹率(熱線膨脹系數(shù))不同。此外，在支承部上也具有設(shè)置了例如銅等的金屬配線的結(jié)構(gòu)，即使在該結(jié)構(gòu)中，陶瓷封裝件與金屬配線的熱膨脹率也有所不同。因此，存在如下可能性，即，由于環(huán)境溫度的變化，而在陶瓷封裝件與支承部之間的連接(固定)部分上產(chǎn)生應(yīng)力，從而使連接(固定)部分的連接強(qiáng)度降低(劣化)，或使支承部從陶瓷封裝件上剝離。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平2006-284373號公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的主要目的在于，使由環(huán)境溫度的變化而導(dǎo)致的陶瓷封裝件與支承部之間的連接(固定)部分中所產(chǎn)生的應(yīng)力減少，從而抑制連接(固定)部分的連接強(qiáng)度的降低(劣化)。

本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的發(fā)明，并且能夠作為以下的應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本應(yīng)用例所涉及的一種電子裝置，其特征在于，具備：基座；支承部，其包括以在第一方向上互相分離的方式而被配置的第一安裝部以及第二安裝部、和連接所述第一安裝部與所述第二安裝部的中間部，且在所述第一安裝部與所述第二安裝部處被安裝于所述基座上；功能元件，其被所述支承部支承；所述中間部具備由導(dǎo)電性部件構(gòu)成的導(dǎo)電圖案，所述導(dǎo)電圖案具備寬大部和狹窄部，所述寬大部具有與所述第一方向正交的第二方向上的寬度W1，所述狹窄部的寬度W2與所述寬度W1相比而較窄。

根據(jù)本應(yīng)用例，以在第一方向上互相分離的方式而被配置的第一安裝部以及第二安裝部之間，設(shè)置有由導(dǎo)電性部件構(gòu)成的導(dǎo)電圖案所具備的狹窄部。通過該狹窄部，從而能夠在環(huán)境溫度發(fā)生變化的情況下，減小因由導(dǎo)電圖案與基座的熱膨脹系數(shù)的差異而產(chǎn)生的伸長與收縮量的差異從而在第一安裝部以及第二安裝部中所產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠抑制基座與支承部的安裝部分(第一安裝部以及第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低，從而能夠提供提高了連接可靠性的電子裝置。

應(yīng)用例2

在上述應(yīng)用例所述的電子裝置中，優(yōu)選為，所述支承部包括支承基板，所述導(dǎo)電圖案被層疊在所述支承基板上，所述支承基板設(shè)置有從沿著所述中間部的所述第一方向的外周緣被切入的狹縫部以及被設(shè)置在所述中間部上的孔部中的至少一方。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過被設(shè)置在支承基板的中間部上的狹縫部以及孔部中的至少一方，從而能夠減小在環(huán)境溫度發(fā)生變化的情況下的、因由導(dǎo)電圖案與基座的熱膨脹系數(shù)的不同而產(chǎn)生的伸長與收縮量的差異從而在第一安裝部以及第二安裝部中所產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠抑制基座與支承部的安裝部分(第一安裝部以及第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低，從而能夠提高連接可靠性。

應(yīng)用例3

在上述應(yīng)用例所述的電子裝置中，優(yōu)選為，所述寬大部具備隔著所述狹窄部而被設(shè)置于所述第一方向的一方側(cè)的第一寬大部、和被設(shè)置于另一方側(cè)的第二寬大部。

根據(jù)本應(yīng)用例，由于在狹窄部的兩端處具備第一寬大部以及第二寬大部，因此能夠平橫且有效地通過狹窄部來吸收由在第一寬大部以及第二寬大部上發(fā)生的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力。由此，能夠進(jìn)一步有效地抑制由該應(yīng)力造成的基座與支承部的安裝部分(第一安裝部以及第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低。

應(yīng)用例4

在上述應(yīng)用例所述的電子裝置中，優(yōu)選為，所述導(dǎo)電圖案與固定電位連接。

根據(jù)本應(yīng)用例，導(dǎo)電圖案例如能夠有效地實(shí)施從高頻信號配線或數(shù)字信號配線等所放射的電噪聲的遮蔽(屏蔽)。

應(yīng)用例5

在上述應(yīng)用例所述的電子裝置中，優(yōu)選為，所述功能元件包括對物理量進(jìn)行檢測的檢測電極，在俯視觀察時(shí)，所述導(dǎo)電圖案以與所述檢測電極的至少一部分重疊的方式而被配置。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過以與檢測電極的至少一部分重疊的方式而被配置的導(dǎo)電圖案，從而對影響與檢測電極所檢測的物理量相關(guān)的檢測值的電噪聲(放射噪聲)進(jìn)行遮蔽(屏蔽)，從而能夠使該影響減少。由此，能夠進(jìn)一步提高物理量的檢測精度。

應(yīng)用例6

在上述應(yīng)用例所述的電子裝置中，優(yōu)選為，所述功能元件為，包括對角速度進(jìn)行檢測的檢測電極的陀螺元件，在俯視觀察時(shí)，所述導(dǎo)電圖案以與所述檢測電極的至少一部分重疊的方式而被配置。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過以與檢測電極的至少一部分重疊的方式而被配置的導(dǎo)電圖案，從而對影響與檢測電極所檢測的角速度相關(guān)的檢測值的電噪聲(放射噪聲)進(jìn)行遮蔽(屏蔽)，從而能夠使該影響減少。由此，能夠提供提高了角速度的檢測精度的陀螺傳感器。

應(yīng)用例7

在上述應(yīng)用例所述的電子裝置中，優(yōu)選為，在俯視觀察時(shí)，所述導(dǎo)電圖案具備從所述支承基板向所述第二方向伸出的突出部。

根據(jù)本應(yīng)用例，由于通過從支承基板向第二方向伸出的突出部，從而增大了導(dǎo)電圖案的面積，因此能夠進(jìn)一步提高電噪聲(放射噪聲)的遮蔽效果(密封效果)。

此外，由于導(dǎo)電圖案由金屬構(gòu)成，因此能夠遮蔽例如紫外線或激光等的光。

應(yīng)用例8

本應(yīng)用例所涉及的一種電子裝置，其特征在于，具備：基座；支承部，其包括第一安裝部以及第二安裝部，且在所述第一安裝部以及所述第二安裝部處被安裝于所述基座上，所述第一安裝部以及所述第二安裝部隔著具備由導(dǎo)電性部件構(gòu)成的導(dǎo)電圖案的中間部而以在第一方向上互相分離的方式被配置；功能元件，其被所述支承部支承，所述導(dǎo)電圖案包括第一導(dǎo)電圖案以及與所述第一導(dǎo)電圖案分離的第二導(dǎo)電圖案，所述第一導(dǎo)電圖案以及所述第二導(dǎo)電圖案以沿著所述第一方向而并列的方式被配置。

根據(jù)本應(yīng)用例，以在第一方向上互相分離的方式而被配置的第一安裝部以及第二安裝部之間所設(shè)置的導(dǎo)電圖案被分離為第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案。由此，在環(huán)境溫度發(fā)生變化的情況下，由熱膨脹系數(shù)較大的導(dǎo)電圖案的變形所產(chǎn)生的應(yīng)力將通過第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案的分離部分而被吸收，從而能夠減小在第一安裝部以及第二安裝部上所產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠抑制基座與支承部的安裝部分(第一安裝部以及第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低，從而能夠提供提高了連接可靠性的電子裝置。

應(yīng)用例9

本應(yīng)用例所涉及的一種電子設(shè)備，其特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任意一個(gè)示例所記載的電子裝置。

根據(jù)本應(yīng)用例，由于具備抑制了基座與支承部的安裝部分的連接強(qiáng)度的降低的電子裝置，因此能夠得到可靠性較高的電子設(shè)備。

應(yīng)用例10

本應(yīng)用例所涉及的一種移動(dòng)體，其特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任意一個(gè)示例所記載的電子裝置。

根據(jù)本應(yīng)用例，由于具備抑制了基座與支承部的安裝部分的連接強(qiáng)度的降低的電子裝置，因此能夠得到可靠性較高的移動(dòng)體。

附圖說明

圖1為作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺傳感器的第一實(shí)施方式所涉及的分解立體圖。

圖2為圖1中的A-A剖視圖。

圖3為圖1所示的陀螺傳感器的俯視圖(頂視圖)。

圖4為作為功能元件的陀螺元件的俯視圖(頂視圖)。

圖5為表示陀螺元件的電極配置的俯視圖(頂視圖)。

圖6為表示陀螺元件的電極配置的俯視圖(從上側(cè)觀察時(shí)的透視圖)。

圖7為用于對陀螺元件的動(dòng)作進(jìn)行說明的示意圖。

圖8為用于對陀螺元件的動(dòng)作進(jìn)行說明的示意圖。

圖9為表示支承部的改變例1的俯視圖(頂視圖)。

圖10為表示支承部的改變例2的俯視圖(頂視圖)。

圖11為表示支承部的改變例3的俯視圖(頂視圖)。

圖12為表示支承部的改變例4的俯視圖(頂視圖)。

圖13為表示支承部的改變例5的俯視圖(頂視圖)。

圖14為表示支承部的改變例6的俯視圖(頂視圖)。

圖15為表示支承部的改變例7的俯視圖(頂視圖)。

圖16為陀螺元件的第二實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。

圖17為陀螺元件的第三實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。

圖18為陀螺元件的第四實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。

圖19為陀螺元件的第五實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。

圖20為表示作為具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或筆記本型)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖21為表示作為具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的便攜式電話機(jī)(也包括PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖22為表示作為具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖23為表示作為具備本發(fā)明的電子裝置的移動(dòng)體(汽車)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

具體實(shí)施方式

以下，根據(jù)附圖所示的優(yōu)選實(shí)施方式來對本發(fā)明的電子裝置、使用了電子裝置的電子設(shè)備以及使用了電子裝置的移動(dòng)體進(jìn)行詳細(xì)說明。

1.電子裝置

第一實(shí)施方式

首先，參照圖1～圖8來對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺傳感器的第一實(shí)施方式所涉及的結(jié)構(gòu)以及制造方法進(jìn)行說明。圖1為作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺傳感器的的分解立體圖。圖2表示陀螺傳感器的截面，且為圖1中的A-A剖視圖。圖3為圖1所示的陀螺傳感器的俯視圖(頂視圖)。另外，在圖3中，為了便于目視確認(rèn)，而省略了陀螺元件。圖4為圖1所示的陀螺元件的俯視圖。圖5為表示圖1所示的陀螺元件的電極配置的俯視圖(頂視圖)。圖6為表示圖1所示的陀螺元件的電極配置的俯視圖(從上側(cè)觀察時(shí)的透視圖)。圖7以及圖8為用于對圖1所示的陀螺元件的動(dòng)作進(jìn)行說明的示意圖。

此外，在下文中，為了便于說明，在各個(gè)圖中，作為相互正交的三個(gè)軸，而圖示了X軸、Y軸以及Z軸，并將與X軸平行的方向稱為“第一方向或者X軸方向”，將與Y軸平行的方向稱為“第二方向或者Y軸方向”，將與Z軸平行的方向稱為“第三方向或者Z軸方向”。此外，還將+Z軸側(cè)稱為“上”，將-Z軸側(cè)稱為“下”。

作為圖1、圖2以及圖3所示的電子裝置的一個(gè)示例的陀螺傳感器(物理量傳感器)1具備作為對角速度進(jìn)行檢測的功能元件的陀螺元件2、對陀螺元件2進(jìn)行支承的支承部9、和以一包在內(nèi)的方式對陀螺元件2以及支承部9進(jìn)行收納的封裝件5。另外，雖然將在后文進(jìn)行敘述，但封裝件5具有基座(基體)6以及被接合在基座6上的蓋(蓋體)7。以下，關(guān)于這些各個(gè)結(jié)構(gòu)要素，將進(jìn)行依次說明。

陀螺元件

如圖4～圖6所示，作為功能元件的陀螺元件2具有振動(dòng)片3、被形成在振動(dòng)片3上的電極。

振動(dòng)片

作為振動(dòng)片3的結(jié)構(gòu)材料，例如可列舉出水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰等的壓電材料。在這些材料中，作為振動(dòng)片3的結(jié)構(gòu)材料，優(yōu)選為使用水晶。通過使用水晶，從而能夠得到與其他的材料相比較而具有優(yōu)良的頻率溫度特性的陀螺元件2。另外，在下文中，對由水晶而構(gòu)成振動(dòng)片3的情況進(jìn)行說明。

振動(dòng)片3在由作為水晶基板的結(jié)晶軸的Y軸(機(jī)械軸)以及X軸(電氣軸)所規(guī)定的XY平面上具有展寬，且呈在Z軸(光軸)方向上具有厚度的板狀，并且由所謂的Z切割水晶板構(gòu)成。另外，雖然優(yōu)選為Z軸與振動(dòng)片3的厚度方向一致，但是從減小常溫附近的頻率溫度變化的觀點(diǎn)出發(fā)，也可以相對于厚度方向而稍(例如，-5°≤θ≤15°程度)傾斜。

這種振動(dòng)片3具有：位于中心部的基部31；從基部31向Y軸方向兩側(cè)延伸的第一檢測臂321以及第二檢測臂322；從基部31向X軸方向兩側(cè)延伸的第一連結(jié)臂331以及第二連結(jié)臂332；從第一連結(jié)臂331的頂端部向Y軸方向兩側(cè)延伸的第一驅(qū)動(dòng)臂341以及第二驅(qū)動(dòng)臂342；從第二連結(jié)臂322的頂端部向Y軸方向兩側(cè)延伸的第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344。

第一檢測臂321從基部31起向+Y軸方向延伸，且在其頂端部上設(shè)置有寬大的錘頭3211。另一方面，第二檢測臂322從基部31起向-Y軸方向延伸，且在其頂端部上設(shè)置有寬大的錘頭3221。這些第一檢測臂321以及第二檢測臂322被配置為，關(guān)于經(jīng)過陀螺元件2的重心G的XZ平面而呈面對稱。另外，錘頭3211、3221既可以按需設(shè)置，也可以省略。此外，根據(jù)需要，也可以在第一檢測臂321以及第二檢測臂322的上表面以及下表面上，形成在長度方向(長邊方向)上延伸的有底的槽。

第一連結(jié)臂311從基部31起向+X軸方向延伸。另一方面，第二連結(jié)臂332從基部31起向-X軸方向延伸。這些第一連結(jié)臂311以及第二連結(jié)臂332被配置為，關(guān)于經(jīng)過重心G的YZ平面而呈面對稱。

第一驅(qū)動(dòng)臂341從第一連結(jié)臂331的頂端部起向+Y軸方向延伸，且在其頂端部上設(shè)置有寬大的錘頭3411。此外，第二驅(qū)動(dòng)臂342從第二連結(jié)臂331的頂端部起向-Y軸方向延伸，且在其頂端部上設(shè)置有寬大的錘頭3421。此外，第三驅(qū)動(dòng)臂343從第二連結(jié)臂332的頂端部起向+Y軸方向延伸，且在其頂端部上設(shè)置有寬大的錘頭3431。此外，第四驅(qū)動(dòng)臂344從第二連結(jié)臂332的頂端部起向-Y軸方向延伸，且在其頂端部上設(shè)置有寬大的錘頭3441。這些第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344被配置為，關(guān)于重心G而點(diǎn)對稱。另外，錘頭3411、3421、3431、3441既可以按需設(shè)置，也可以省略。

此外，在第一檢測臂321、第二檢測部322、第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344的上表面以及下表面上，分別形成有在長度方向(長邊方向)上延伸的有底的槽351。因此，第一檢測臂321、第二檢測臂322、第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344的橫截面形狀，以跨及除錘部(錘頭3211、3221、3411、3421、3431、3441)以外的部分的長邊方向的全長的方式而呈“H”字狀。由此，被形成在各個(gè)臂上的電極彼此的X軸方向上的間隔變窄。因此，提高了各個(gè)電極之間的電場效率。其結(jié)果為，在第一檢測臂321、第二檢測臂322、第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344中，能夠以較少的變形量而產(chǎn)生較大的電荷量。因此，能夠得到具有優(yōu)良的靈敏度的陀螺元件2。

電極

如圖5以及圖6所示，在振動(dòng)片3中，作為電極而具有：第一檢測信號電極411、第一檢測信號端子412、第一檢測接地電極(檢測接地電極)421、第一檢測接地端子422、第二檢測信號電極431、第二檢測信號端子432、第二檢測接地電極(檢測接地電極)441、第二檢測接地端子442、驅(qū)動(dòng)信號電極451、驅(qū)動(dòng)信號端子452、驅(qū)動(dòng)接地電極461、驅(qū)動(dòng)接地端子462。另外，在圖5以及圖6中，為了便于說明，而分別以不同的剖面線來圖示第一檢測信號電極411與第二檢測信號電極431以及第一檢測信號端子412與第二檢測信號端子432、第一檢測接地端子421和第二檢測接地電極441以及第一檢測接地端子422和第二檢測接地端子442、驅(qū)動(dòng)信號電極451以及驅(qū)動(dòng)信號端子452、驅(qū)動(dòng)接地電極461以及驅(qū)動(dòng)接地端子462。此外，以粗線來圖示被形成在振動(dòng)片3的側(cè)面上的電極。

第一檢測信號電極411被形成在第一檢測臂321的上表面以及下表面(除錘頭3211之外的部分)上，第二檢測信號電極431被形成在第二檢測臂322的上表面以及下表面(除錘頭3221之外的部分)上。這種第一檢測信號電極411、第二檢測信號電極431為，在第一檢測臂331、第二檢測臂322的檢測振動(dòng)被激發(fā)時(shí)，用于對通過該振動(dòng)而產(chǎn)生的電荷進(jìn)行檢測的電極。

第一檢測信號端子412被設(shè)置于基部31的+X軸側(cè)的列的+Y軸側(cè)，且經(jīng)由未圖示的配線而與被形成在第一檢測臂321上的第一檢測信號電極411電連接。此外，第二檢測信號端子432被設(shè)置于基部31的+X軸側(cè)的列的-Y軸側(cè)，且經(jīng)由未圖示的配線而與被形成在第二檢測臂322上的第二檢測信號電極431電連接。

第一檢測接地電極421被形成在第一檢測臂321的兩側(cè)面上，且相互經(jīng)由錘頭3211之上而電連接。同樣地，第二檢測接地電極441被形成在第二檢測臂322的兩側(cè)面上，且相互經(jīng)由錘頭3221之上而電連接。這種第一檢測接地電極421以及第二檢測接地電極441相對于第一檢測信號電極411以及第二檢測信號電極431而具有成為接地的電位。

第一檢測接地端子422被設(shè)置于基部31的-X軸側(cè)的列的+Y軸側(cè)，且經(jīng)由未圖示的配線而與被形成在第一檢測臂321上的第一檢測接地電極421電連接。此外，第二檢測接地端子442被設(shè)置于基部31的-X軸側(cè)的列的-Y軸側(cè)，且經(jīng)由未圖示的配線而與被形成在第二檢測臂322上的第二檢測信號電極431電連接。

以此方式，通過對第一檢測信號電極411以及第二檢測信號電極431、第一檢測信號端子412以及第二檢測信號端子432、第一檢測接地電極421以及第二檢測接地電極441、第一檢測接地端子422以及第二檢測接地端子442進(jìn)行配置，從而能夠使在第一檢測臂321中所產(chǎn)生的檢測振動(dòng)作為第一檢測信號電極411與第一檢測接地電極421之間的電荷而顯現(xiàn)，并能夠作為信號(檢測信號)而從第一檢測信號端子412和第一檢測接地端子422中被提取。此外，能夠使第二檢測臂322中所產(chǎn)生的檢測振動(dòng)作為第二檢測信號電極431與第二檢測接地電極441之間的電荷而顯現(xiàn)，并能夠作為信號(檢測信號)而從第二檢測信號端子432和第二檢測接地端子442中被提取。

驅(qū)動(dòng)信號電極451被形成在第一驅(qū)動(dòng)臂341以及第二驅(qū)動(dòng)臂342的上表面以及下表面(除錘頭3411、3421之外的部分)上。而且，驅(qū)動(dòng)信號電極451被形成在第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344的兩側(cè)面上，且相互經(jīng)由錘頭3431、3441之上而電連接。這種驅(qū)動(dòng)信號電極451為，用于使第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)激發(fā)的電極。

驅(qū)動(dòng)信號端子452被設(shè)置在基部31的-X軸側(cè)的列的中央部(即，第一檢測接地端子422與第二檢測接地端子442之間)上，且經(jīng)由未圖示的配線而與被形成在第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344上的驅(qū)動(dòng)信號電極451電連接。

驅(qū)動(dòng)接地電極461被形成在第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344的上表面以及下表面(除錘頭3431、3441之外的部分)上。而且，驅(qū)動(dòng)接地電極461被形成在第一驅(qū)動(dòng)臂341以及第二驅(qū)動(dòng)臂342的兩側(cè)面上，且相互經(jīng)由錘頭3411、3421之上而電連接。這種驅(qū)動(dòng)接地電極461具有相對于驅(qū)動(dòng)信號電極451而成為接地的電位。

驅(qū)動(dòng)接地端子462被設(shè)置在基部31的+X軸側(cè)的列的中央部(即，第一檢測信號端子412與第二檢測信號端子432之間)上，且經(jīng)由未圖示的配線而與被形成在第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344上的驅(qū)動(dòng)接地電極461電連接。

以此方式，通過對驅(qū)動(dòng)信號電極451、驅(qū)動(dòng)信號端子452、驅(qū)動(dòng)接地電極461以及驅(qū)動(dòng)接地端子462進(jìn)行配置，并且通過在驅(qū)動(dòng)信號端子452與驅(qū)動(dòng)接地端子462之間施加驅(qū)動(dòng)信號，從而能夠在第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344上所形成的驅(qū)動(dòng)信號電極451與驅(qū)動(dòng)接地電極461之間產(chǎn)生電場，進(jìn)而能夠分別使第一驅(qū)動(dòng)臂341、第二驅(qū)動(dòng)臂342、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)。

雖然作為以上的這種電極的結(jié)構(gòu)只要具有導(dǎo)電性即可，并未被特別限定，但是能夠通過例如在Cr(鉻)、W(鎢)等的金屬化層(下地層)上層疊了Ni(鎳)、Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)等的各個(gè)被膜的金屬被膜來構(gòu)成。

另外，被形成在錘頭3211、3221上的金屬膜作為用于對檢測振動(dòng)模式的頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)膜而發(fā)揮功能，例如，能夠通過利用激光照射等而除去金屬膜的一部分來對第一檢測臂321以及第二檢測臂322的質(zhì)量進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而對檢測模式的頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)。另一方面，被形成在錘頭3411、3421、3431、3441上的金屬膜作為用于對驅(qū)動(dòng)振動(dòng)模式的頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)膜而發(fā)揮功能，例如，能夠通過利用激光照射等而除去金屬膜的一部分來對第一檢測臂321、第二檢測臂322、第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344的質(zhì)量進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而對驅(qū)動(dòng)模式的頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)。

以上，對陀螺元件2的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了簡單說明。接下來，參照圖7以及圖8來對陀螺元件2的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行簡單說明。

在陀螺元件2上未被施加有角速度的狀態(tài)下，當(dāng)在驅(qū)動(dòng)信號端子452與驅(qū)動(dòng)接地端子462之間施加了電壓(交流電壓)時(shí)，在驅(qū)動(dòng)信號電極451與驅(qū)動(dòng)接地電極461之間將產(chǎn)生電場，并如圖7所示，使各個(gè)驅(qū)動(dòng)臂341、342、343、344向箭頭標(biāo)記a所示的方向?qū)嵤┣駝?dòng)。此時(shí)，由于第一驅(qū)動(dòng)臂341以及第二驅(qū)動(dòng)臂342與第三驅(qū)動(dòng)臂343以及第四驅(qū)動(dòng)臂344實(shí)施了關(guān)于通過陀螺元件2的重心G的YZ平面而對稱的振動(dòng)，因此基部31、第一檢測臂321、第二檢測臂322、第一連結(jié)臂331以及第二連結(jié)臂332幾乎不振動(dòng)。

在實(shí)施著這種驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的狀態(tài)下，當(dāng)向陀螺元件2施加有繞Z軸的角速度ω時(shí)，圖8所示的檢測振動(dòng)將被激發(fā)。具體而言，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)臂341、342、343、344以及第一連結(jié)臂331以及第二連結(jié)臂332上作用有箭頭標(biāo)記b方向的科里奧利力，從而激發(fā)了新的振動(dòng)。該箭頭標(biāo)記b方向的振動(dòng)為，相對于重心G而在圓周方向上的振動(dòng)。此外，與此同時(shí)，在第一檢測臂321以及第二檢測臂322上，響應(yīng)于箭頭標(biāo)記b的振動(dòng)而激發(fā)了箭頭標(biāo)記c方向上的檢測振動(dòng)。并且，將通過該振動(dòng)而在第一檢測臂321以及第二檢測臂322上所產(chǎn)生的電荷作為信號而從第一檢測信號電極411以及第二檢測信號電極431與第一檢測接地電極421以及第二檢測接地電極441中提取出來，并且根據(jù)該信號而求出角速度ω。

支承部

接下來，返回圖1～圖3，對支承部9的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。支承部9為，現(xiàn)有已知的TAB(Tape Automated Bonding：卷帶自動(dòng)結(jié)合)安裝用的具有光透過性的基板，且對陀螺元件2進(jìn)行支承。支承部9具有框狀的基材(支承基板)91、被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97(也稱為接合導(dǎo)線(配線))、以及作為導(dǎo)電圖案的屏蔽部8a、8b。

作為支承基板的基材91例如由聚酰亞胺等的具有可撓性的樹脂而構(gòu)成?；?1具有在中央部處具備開口部910的框狀的大致長方形的外形形狀，且以其長軸與封裝件5的長軸一致的方式而被配置在凹部61內(nèi)。此外，基材91具備沿著基材91的長條方向(圖中X軸方向)而對置的兩個(gè)中間部911、912。

六個(gè)支承導(dǎo)線92～97為對陀螺元件2進(jìn)行支承的接合導(dǎo)線(配線)，且為通過具有導(dǎo)電性的導(dǎo)電性部件而被構(gòu)成的配線圖案。在本實(shí)施方式中，作為導(dǎo)電性部件而例如使用銅(Cu)或銅合金等的金屬材料。六個(gè)支承導(dǎo)線92～97分別被固定在基材91的下表面上。此外，支承導(dǎo)線92、93、94被配置在基材91的圖3中右側(cè)(作為長軸方向的X軸方向的一方側(cè))的部分上，且其頂端部延伸到基材91的開口部910內(nèi)為止。另一方面，支承導(dǎo)線95、96、97被配置在基材91的圖3中左側(cè)(作為長軸方向的X軸方向的另一方側(cè))的部分上，且其頂端部延伸到基材91的開口部910內(nèi)為止。并且，支承導(dǎo)線92、93、94的頂端部與支承導(dǎo)線95、96、97的頂端部在開口部910的中央處分離并對置。

此外，支承導(dǎo)線92～97分別在中途傾斜，且頂端部位于與基材91相比靠上方(+Z軸方向)處。此外，支承導(dǎo)線92～97在中途處寬度變窄，且頂端部與基端部相比而較細(xì)。此外，支承導(dǎo)線92～97的頂端部以與陀螺元件2所具有的第一檢測信號端子412、第一檢測接地端子422、第二檢測信號端子432、第二檢測接地端子442、驅(qū)動(dòng)信號端子452、驅(qū)動(dòng)接地端子462相對應(yīng)的方式(重疊的方式)而被配置。

此外，支承導(dǎo)線92、95的基端部成為連接端子921、951，支承導(dǎo)線92、95從連接端子921、951起筆直地延伸。另一方面，支承導(dǎo)線93、94、96、97的基端部成為連接端子931、941、961、971，且支承導(dǎo)線93、94、96、97從連接端子931、941、961、971起向支承導(dǎo)線92、95側(cè)彎曲為直角并延伸。

連接端子921、951以及連接端子931、941、961、971為，與被設(shè)置在后文敘述的封裝件5的基座6的上表面上的S1連接端子801b、S2連接端子802b、GND連接端子803b’、803b”、DS連接端子804b以及DG連接端子805b相對應(yīng)，并且分別連接的安裝部(連接部)。具體而言，安裝部具有第一安裝部和第一安裝部，所述第一安裝部包括位于圖3中右側(cè)(+X軸方向)的連接端子921、931、941，所述第一安裝部包括位于圖3中左側(cè)(-X軸方向)的連接端子951、961、971。第一安裝部與第二安裝部通過中間部911以及中間部912而被連接。

作為導(dǎo)電圖案的屏蔽部8a、8b從連接端子961以及連接端子971起延伸設(shè)置。屏蔽部8a、8b與連接端子961以及連接端子971相同，也為由具有導(dǎo)電性的導(dǎo)電部件構(gòu)成的薄板狀的導(dǎo)電圖案。在本實(shí)施方式中，作為導(dǎo)電性部件，而使用了例如由銅(Cu)或銅合金等構(gòu)成的金屬材料。屏蔽部8a、8b分別被層疊(固定)在構(gòu)成支承部9的框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911、912的下表面上。另外，作為屏蔽部8a、8b的構(gòu)成部件，除上述之外，例如還能夠使用碳材料等。

具體而言，屏蔽部8a以從連接端子961起大致仿照中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置，且被層疊(固定)在中間部911的背面上。屏蔽部8a具備寬度W1的作為寬大部的第一寬大部81以及第二寬大部82、和位于第一寬大部81與第二寬大部82之間的寬度W2的狹窄部87，其中，所述寬度W1為與中間部911的寬度(外緣811與內(nèi)緣813之間的距離)大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)，寬度W2為通過作為從屏蔽部8a的外緣811被切入的狹縫部的凹部85而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度(凹部85的底部與內(nèi)周緣813之間的距離)。換而言之，寬大部具備經(jīng)由狹窄部87而被設(shè)置于第一方向(X軸方向)的一方側(cè)的第一寬大部81、和被設(shè)置于另一方側(cè)的第二寬大部82。

在此，延伸設(shè)置有屏蔽部8a、8b的連接端子961以及連接端子971與被設(shè)置于封裝件5的基座6的上表面上的GND連接端子803’、803”相對應(yīng)。即，屏蔽部8a、8b為，與GND連接的固定電位。以此方式，通過將屏蔽部8a、8b設(shè)為固定電位，從而例如能夠有效地實(shí)施從流動(dòng)有高頻信號的高頻信號配線與流動(dòng)有數(shù)字信號的數(shù)字信號配線等向作為振動(dòng)片3的檢測電極的第一檢測信號電極411以及第二檢測信號電極431所放射的電噪聲的遮蔽(屏蔽)。另外，屏蔽部8a、8b不一定必要為與GND連接的固定電位，也可以為與被保持在固定電位上的定電位源電連接的固定電位，從而也能夠獲得屏蔽的效果。

此外，屏蔽部8b以從連接端子971起大致仿照中間部912的平面形狀的方式而延伸設(shè)置，且被固定在中間部912的背面上。屏蔽部8b具備寬度W1的作為寬大部的第一寬大部83以及第二寬大部84、和位于第一寬大部83與第二寬大部84之間的寬度W2的狹窄部88，其中，所述寬度W1為與中間部912的寬度(外緣812與內(nèi)緣814之間的距離)大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)，所述寬度W2為，通過作為從屏蔽部8b的外緣812起被挖入的狹縫部的凹部86而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度(凹部86的底部與內(nèi)周緣814之間的距離)。換而言之，寬大部具備經(jīng)由狹窄部88而被設(shè)置于第一方向(X軸方向)的一方側(cè)的第一寬大部83、和被設(shè)置于另一方側(cè)的第二寬大部84。

以此方式，由于在狹窄部87、88的兩側(cè)處具備第一寬大部81、83以及第二寬大部82、84，因此能夠平橫且有效地通過狹窄部87、88來吸收由于因在第一寬大部81、83以及第二寬大部82、84上所產(chǎn)生的熱變化等所引起的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力。由此，能夠有效地抑制由該應(yīng)力所引起的作為基座6與支承部9的安裝部分的連接端子921、931、941(第一安裝部)與連接端子951、961、971(第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低。

此外，優(yōu)選為，使屏蔽部8a、8b以在從圖中上方觀察陀螺元件2的俯視觀察時(shí)，與被設(shè)置在陀螺元件上的作為檢測電極的第一檢測信號電極411以及第二檢測信號電極431(參照圖5)中的至少一部分重疊的方式而被配置。以此方式，通過配置屏蔽部8a、8b，從而能夠?qū)τ绊懪c作為檢測電極的第一檢測信號電極411以及第二檢測信號電極431所檢測的物理量相關(guān)的檢測值的電噪聲(放射噪聲)進(jìn)行遮蔽(屏蔽)，從而使該影響減少。

如上文所述，支承部9具備：框狀的基材91；各三個(gè)分部被固定在基材91的與圖中X軸方向?qū)χ玫目虿可系闹С袑?dǎo)線92、93、94以及支承導(dǎo)線95、96、97；分部被固定在作為基材91的與圖中Y軸方向?qū)χ玫目虿康闹虚g部911、912上的屏蔽部8a、8b。換而言之，支承部9具備隔著在各自的下表面上固定有屏蔽部8a、8b的中間部911、912而在作為第一方向的X軸方向上分離設(shè)置的、作為第一安裝部的連接端子921、931、941以及作為第二安裝部的連接端子951、961、971。并且，支承部9在作為該第一安裝部的連接端子921、931、941以及作為第二安裝部的連接端子951、961、971的部分處，被安裝在后文敘述的封裝件5的基座6上。

封裝件

封裝件5具有箱狀的基座(基體)6和板狀的蓋(蓋體)7，所述基座6具有在上表面開口的凹部61，所述蓋7以封堵凹部61的開口的方式被結(jié)合在基座6上。并且，在通過由蓋體7封堵凹部61的開口而形成的內(nèi)部空間S內(nèi)收納有上文所述的陀螺元件2。雖然內(nèi)部空間S的環(huán)境并未被特別限定，但是在本實(shí)施方式中，為真空狀態(tài)(例如，10Pa以下的減壓狀態(tài))。

在俯視觀察時(shí)，基座6具有大致長方形(矩形)的外形，且具有在長軸方向上延伸的一對外緣、和在短軸方向(與長軸交叉的方向)上延伸的一對外緣。但是，基座6的俯視觀察形狀并不限定于長方形，例如既可以為正方形，也可以為五角形以上的多角形，還可以為異形。作為構(gòu)成基座6的素材，優(yōu)選為能夠使用陶瓷等。另外，作為構(gòu)成基座6的其他的素材，能夠使用例如以環(huán)氧基板等的樹脂基板為基座的印刷電路基板(PCB：Printed Circuit Board)等。

在該基座6的上表面(凹部61的底面)上，以互相分離的方式而設(shè)置有S1連接端子801b、S2連接端子802b、GND連接端子803’、803”、DS連接端子804b以及DG連接端子805b。這些S1連接端子801b、S2連接端子802b、GND連接端子803’、803”、DS連接端子804b以及DG連接端子805b分別在將支承部9收納于封裝件5內(nèi)之時(shí)，以與支承導(dǎo)線92～94以及支承導(dǎo)線95～97的、連接端子921～941以及連接端子951～971相對應(yīng)(重疊)的方式而設(shè)置，且分別接合。

S1連接端子801b與連接端子931接合，S2連接端子802b與連接端子941接合。GNP連接端子803’與連接端子961接合，GNP連接端子803”與連接端子971接合。DS連接端子804b與連接端子951接合，DG連接端子805b與連接端子921接合。

此外，在基座6上，在分別與各個(gè)連接端子801b、802b、803b’、803”、804b、805b相對應(yīng)的部分處形成有貫穿電極(未圖示)，且與被設(shè)置在基座6的下表面上的外部端子(未圖示)連接。由此，能夠使陀螺元件2的電極與外部電連接。

構(gòu)成支承部9的基材(支承基板)91以及被固定在基材91上的屏蔽部8a、8b、支承導(dǎo)線92～97、與構(gòu)成封裝件5的陶瓷各自的熱膨脹系數(shù)(線膨脹率)有所不同。構(gòu)成基材91的聚酰亞胺樹脂(聚酰亞胺薄膜)的代表性的熱膨脹系數(shù)(線膨脹率)為，例如27×10^-6/℃，構(gòu)成屏蔽部8a、8b、支承導(dǎo)線92～97的銅(Cu)的熱膨脹系數(shù)(線膨脹率)為，例如16.8×10^-6/℃、構(gòu)成封裝件5的陶瓷的典型的熱膨脹系數(shù)(線膨脹率)為，例如7.1×10^-6/℃。

在此，構(gòu)成基材91的聚酰亞胺樹脂(聚酰亞胺薄膜)為具有可撓性的基材，且易于吸收由因環(huán)境溫度的變化而伸縮從而產(chǎn)生的應(yīng)力。與此相比，構(gòu)成屏蔽部8a、8b、支承導(dǎo)線92～97的銅(Cu)以及構(gòu)成封裝件5的陶瓷剛性較高，且不易吸收由因環(huán)境溫度的變化而伸縮從而產(chǎn)生的應(yīng)力，進(jìn)而容易受到該應(yīng)力的影響。

特別地，像本實(shí)施方式這樣，在作為第一安裝部的連接端子921、931、941以及作為第二安裝部的連接端子951、961、971的兩側(cè)處，安裝有封裝件5和支承部9的結(jié)構(gòu)中，連接端子921、931、941以及連接端子951、961、971之間的因環(huán)境溫度的變化而伸縮從而產(chǎn)生的應(yīng)力會(huì)集中施加在該連接部分處。

針對于此，在本實(shí)施方式的陀螺傳感器1的結(jié)構(gòu)中，在位于連接端子921、931、941以及連接端子951、961、971之間的位置處屏蔽部81、8b上設(shè)置有狹窄部87、88。由于該狹窄部87、88縮窄了寬度尺寸(寬度W2)，因此剛性減弱，從而能夠吸收因由環(huán)境溫度變化所造成各個(gè)部件的伸縮量的差異而產(chǎn)生的應(yīng)力。由此，能夠抑制封裝件5(基座6)與支承部9的安裝部分(作為第一安裝部的連接端子921、931、941以及作為第二安裝部的連接端子951、961、971)的連接強(qiáng)度的降低，從而能夠提供提高了連接可靠性的陀螺傳感器1。

改變例

接下來，參照圖9～15來對上文所述的實(shí)施方式1所涉及的陀螺傳感器1的支承部9的改變例進(jìn)行說明。在此，圖9至圖14為表示支承部的改變例1至改變例6的俯視圖(頂視圖)，圖9表示改變例1，圖10表示改變例2，圖11表示改變例3，圖12表示改變例4，圖13表示改變例5，圖14表示改變例6。另外，圖9至圖14表示局部俯視觀察支承部9時(shí)的圖，且在分別隔著支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97的相反側(cè)上也具有相同的結(jié)構(gòu)。圖15為表示支承部的改變例7的俯視圖(頂視圖)。此外，在以下的說明中，對與上文所述的第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)記相同的符號，并且有時(shí)會(huì)省略其說明或簡化其說明。

支承部的改變例1

首先，參照圖9來對支承部9的改變例1進(jìn)行說明。如圖9所示，改變例1所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97(支承導(dǎo)線94、97未圖示)以及屏蔽部8c。

屏蔽部8c從連接端子961起延伸設(shè)置。屏蔽部8c被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911的下表面上。屏蔽部8c以從連接端子961起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

屏蔽部8c具有作為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的三個(gè)寬大部(第一寬大部81a、第二寬大部82a、第三寬大部89a)、和被各個(gè)寬大部所夾的兩個(gè)狹窄部(第一狹窄部87a、第二狹窄部87b)。

狹窄部包括位于第一寬大部81a與第三寬大部89a之間的第一狹窄部87a和位于第二寬大部82a與第三寬大部89a之間的第二狹窄部87b。第一狹窄部87a具有通過作為從屏蔽部8c的外緣811被切入的狹縫部的凹部85a而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2a。此外，第二狹窄部87b具有通過作為從屏蔽部8c的外緣811被切入的狹縫部的凹部85b而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2b。另外，第一狹窄部87a的寬度W2a與第二狹窄部87bW2b可以相同，也可以不同。

支承部的改變例2

首先，參照圖10來對支承部9的改變例2進(jìn)行說明。如圖10所示，改變例2所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97(支承導(dǎo)線94、97未圖示)以及屏蔽部8d。

屏蔽部8d從連接端子961起延伸設(shè)置。屏蔽部8d被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911的下表面上。屏蔽部8d以從連接端子961起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

屏蔽部8d具有作為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的兩個(gè)寬大部(第一寬大部81c、第二寬大部82c)、和具有通過作為從屏蔽部8d的內(nèi)周緣813被切入的狹縫部的凹部85c而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2且被第一寬大部81c以及第二寬大部82c所夾的狹窄部87c。像本改變例這樣，在寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2的狹窄部87c被設(shè)置于屏蔽部8d的外緣811側(cè)的結(jié)構(gòu)中，也起到了與第一實(shí)施方式相同的效果。

支承部的改變例3

首先，參照圖11來對支承部9的改變例3進(jìn)行說明。如圖11所示，改變例3所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97(支承導(dǎo)線94、97未圖示)以及屏蔽部8e。

屏蔽部8e從連接端子961起延伸設(shè)置。屏蔽部8e被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911的下表面上。屏蔽部8e以從連接端子961起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

屏蔽部8e具有作為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的四個(gè)寬大部(第一寬大部81d、第二寬大部82d、第三寬大部81e、第四寬大部82e)、和被各個(gè)寬大部所夾的三個(gè)狹窄部(第一狹窄部87e、第二狹窄部87d、第三狹窄部87f)。

狹窄部包括位于第一寬大部81d與第三寬大部89e之間的第一狹窄部87e、位于第三寬大部81e與第四寬大部82e之間的第二狹窄部87d、位于第四寬大部81e與第二寬大部82d之間的第三狹窄部87f。

第一狹窄部87e具有通過從屏蔽部8e的內(nèi)周緣813被切入的作為狹縫部的凹部85e而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2d。同樣地，第三狹窄部87f具有通過從屏蔽部8e的內(nèi)周緣813被切入的作為狹縫部的凹部85f而使各自寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2e。此外，第二狹窄部87d具有通過從屏蔽部8e的外緣811被切入的作為狹縫部的凹部85d而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2c。以此方式，在狹窄部8e的凹部的切入側(cè)為屏蔽部8e的內(nèi)周緣813側(cè)，或者屏蔽部8e的外緣811側(cè)的結(jié)構(gòu)中，也起到與第一實(shí)施方式相同的效果。

另外，關(guān)于所切入的方向或者所切入的方向的配置并無限制。此外，第一狹窄部87e的寬度W2d、第二狹窄部87d的寬度W2c以及第三狹窄部87f的寬度W2e可以相同，也可以不同。

支承部的改變例4

首先，參照圖12來對支承部9的改變例4進(jìn)行說明。如圖12所示，改變例4所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97(支承導(dǎo)線94、97未圖示)以及屏蔽部8f。

屏蔽部8f從連接端子961起延伸設(shè)置。屏蔽部8f被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911的下表面上。屏蔽部8f以從連接端子961起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

屏蔽部8f具有作為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的兩個(gè)寬大部(第一寬大部81、第二寬大部82)、和被第一寬大部81與第二寬大部82所夾的狹窄部87g。

所述狹窄部87g具有通過從屏蔽部8f的外緣811被切入的作為狹縫部的凹部85g以及從屏蔽部8f的內(nèi)周緣813被切入的作為狹縫部的凹部85h而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2。如此，在形成狹窄部的凹部的形成方向?yàn)槠帘尾?f的內(nèi)周緣813側(cè)或者為屏蔽部8e的外緣811側(cè)等的從不同方向切入的結(jié)構(gòu)中，也將起到與第一實(shí)施方式相同的效果。另外，對從凹部85g的外緣811切入的切入尺寸(凹部的深度)以及從凹部85h的內(nèi)周緣813切入的切入尺寸(凹部的深度)并無限制，既可以相同，也可以不同。此外，對寬度W2的尺寸也無限制。

支承部的改變例5

首先，參照圖13來對支承部9的改變例5進(jìn)行說明。如圖13所示，改變例5所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97(支承導(dǎo)線94、97未圖示)以及屏蔽部8g。

屏蔽部8g從連接端子961起延伸設(shè)置。屏蔽部8g被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911的下表面上。屏蔽部8d以從連接端子961起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

屏蔽部8g具有作為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的兩個(gè)寬大部(第一寬大部81、第二寬大部82)、和構(gòu)成被第一寬大部81與第二寬大部82所夾的狹窄部的第一狹窄部87k以及第二狹窄部87j。

第一狹窄部87k以及第二狹窄部87j通過被設(shè)置在屏蔽部8g1的中間部911上的大致矩形形狀的貫穿孔85k而被形成。第一狹窄部87k被構(gòu)成為，具有貫穿孔85k與屏蔽部8g的內(nèi)周緣811之間的寬度W2d，第二狹窄部87j被構(gòu)成為，具有貫穿孔85k與屏蔽部8g的外緣813之間的寬度W2c。以此方式，即使例如通過設(shè)置貫穿孔85k而構(gòu)成狹窄部，也起到了與第一實(shí)施方式相同的效果。

另外，貫穿孔85k可以設(shè)置有多個(gè)，可以如圖中假想線(雙點(diǎn)劃線)所示那樣，例如采用增加兩個(gè)貫穿孔85m而成為三個(gè)的結(jié)構(gòu)。此外，貫穿孔85k的形狀并不限定于矩形，例如也可以為圓形、橢圓形、多角形等的其他形狀。此外，第一狹窄部87k的寬度W2d以及第二狹窄部87j的寬度W2c可以相同，也可以不同。

支承部的改變例6

首先，參照圖14來對支承部9的改變例6進(jìn)行說明。如圖14所示，改變例6所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97(支承導(dǎo)線94、97未圖示)以及屏蔽部8h。

屏蔽部8h從連接端子961起延伸設(shè)置。屏蔽部8h被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911的下表面上。屏蔽部8h以從連接端子961起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

屏蔽部8h具有作為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的兩個(gè)寬大部(第一寬大部81、第二寬大部82)、和被第一寬大部81與第二寬大部82夾持的狹窄部85n。

狹窄部85n通過對多個(gè)貫穿孔851進(jìn)行排列而被構(gòu)成。具體而言，使貫穿孔851在屏蔽部8h的寬度方向(Y軸方向)上以間隔分別為寬度W2g、W2h的方式而排列配置三個(gè)。此時(shí)，被配置為，具有作為內(nèi)周緣813與內(nèi)側(cè)的貫穿孔851的間隔的寬度W2f以及作為外緣811與外側(cè)的貫穿孔851的間隔的寬度W2e的窄小部。在本示例中，采用將該列排列為兩列的結(jié)構(gòu)。另外，對于貫穿孔851的數(shù)量或形狀以及配置圖案等并無限制。以此方式，即使通過多個(gè)貫穿孔851而構(gòu)成狹窄部85n，也起到了與第一實(shí)施方式相同的效果。

支承部的改變例7

首先，參照圖15來對支承部9的改變例7進(jìn)行說明。如圖15所示，改變例7所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97以及屏蔽部8a、8b。

屏蔽部8a從連接端子961起延伸設(shè)置。此外，屏蔽部8b從連接端子971起延伸設(shè)置。屏蔽部8a、8b被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、位于第一安裝部與第二安裝部之間的Y軸方向的兩側(cè)的中間部911、912的下表面上。屏蔽部8a、8b以從連接端子961、971起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911、912的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

屏蔽部8a具有作為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的三個(gè)寬大部(第一寬大部81a、第二寬大部82a、第三寬大部89a)、和被各個(gè)寬大部夾持的兩個(gè)狹窄部(第一狹窄部87a、第二狹窄部87b)。

狹窄部包括位于第一寬大部81a與第三寬大部89a之間的第一狹窄部87a和位于第二寬大部82a與第三寬大部89a之間的第二狹窄部87b。第一狹窄部87a具有通過從屏蔽部8a的外緣811被切入的作為狹縫部的凹部85a而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2。此外，第一狹窄部87b具有通過從屏蔽部8a的外緣811被切入的作為狹縫部的凹部85b而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2。另外，第一狹窄部87a的寬度W2與第二狹窄部87b的寬度W2可以相同，也可以不同。

屏蔽部8b具有作為與中間部912的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)的寬度W1的兩個(gè)寬大部(第一寬大部83、第二寬大部84)、和被第一寬大部83以及第二寬大部84夾持的狹窄部88。狹窄部88具有通過從屏蔽部8b的外緣812被切入的作為狹縫部的凹部86而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2。

根據(jù)改變例7，在屏蔽部8a以及屏蔽部8b上，采用了各個(gè)的寬大部以及狹窄部的配置不同的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)中，也起到了與第一實(shí)施方式相同的效果。

根據(jù)具備上文所述的支承部9的改變例1～改變例7的陀螺傳感器1，能夠起到與第一實(shí)施方式的陀螺傳感器1相同的效果。即，屏蔽部8c、8d、8e、8f、8g、8h、8a、8b通過分別被設(shè)置有寬度尺寸較窄的狹窄部87a、87b、87c、87d、87e、87f、87g、87k、85n、88而使剛性減弱，從而能夠提高因由環(huán)境溫度變化所造成的各個(gè)部件的伸縮量的差異而產(chǎn)生的應(yīng)力的吸收效果。由此，能夠抑制封裝件5(基座6)與支承部9的安裝部分(作為第一安裝部的連接端子921、931、941以及作為第二安裝部的連接端子951、961、971(參照圖3))的連接強(qiáng)度的降低，從而能夠提高陀螺傳感器1的連接可靠性。

第二實(shí)施方式

接下來，參照圖16來對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺傳感器的第二實(shí)施方式所涉及的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖16為作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第二實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。以下，雖然對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明，但卻是以與前文所述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來進(jìn)行說明，關(guān)于相同的結(jié)構(gòu)或事項(xiàng)，將標(biāo)記相同的符號或省略其說明。在本第二實(shí)施方式中，除支承部的中間部的結(jié)構(gòu)有所不同以外，其余為與前文所述的第一實(shí)施方式大致相同的結(jié)構(gòu)。

圖16所示的第二實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器10與第一實(shí)施方式相同，具備作為對角速度進(jìn)行檢測的功能元件的陀螺元件2(參照圖1)、對陀螺元件2進(jìn)行支承的支承部9、和以一包在內(nèi)的方式對陀螺元件2以及支承部9進(jìn)行收納的封裝件5。另外，雖然將在后文進(jìn)行敘述，但封裝件5具有基座(基體)6以及被接合在基座6上的蓋(蓋體)7(參照圖2)。以下，以與第一實(shí)施方式不同的支承部的中間部所涉及的結(jié)構(gòu)為中心來進(jìn)行說明。

第二實(shí)施方式所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97以及屏蔽部8a、8b。支承部9與第一實(shí)施方式相同，也為TAB安裝用的具有光透過性的基板，且對陀螺元件2進(jìn)行支承。

作為支承基板的基材91由例如聚酰亞胺等的具有可撓性的樹脂而構(gòu)成?；?1具有在中央部處具備開口部910的框狀的大致長方形的外形形狀，且以其長軸與封裝件5的長軸一致的方式而被配置在凹部61內(nèi)。此外，基材91具備沿著基材91的長條方向(圖中X軸方向)而對置的兩個(gè)中間部911、912。

屏蔽部8a、8b與支承導(dǎo)線96、97的連接端子961以及連接端子971相同，也為由金屬材料構(gòu)成的薄板狀的具有導(dǎo)電性的圖案，且例如由銅(Cu)或銅合金等而被構(gòu)成。屏蔽部8a從連接端子961起延伸設(shè)置。此外，屏蔽部8b從連接端子971起延伸設(shè)置。屏蔽部8a、8b分別被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、X軸方向上的第一安裝部(連接端子921、931、941所位于的部分)與第二安裝部(連接端子951、961、971所位于的部分)之間的、位于Y軸方向的兩側(cè)的中間部911、912的下表面上。屏蔽部8a、8b以從連接端子961、971起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911、912的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

具體而言，屏蔽部8a以從連接端子961起大致仿照中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置，且被層疊(固定)在中間部911的背面上。屏蔽部8a具備寬度W1的作為寬大部的第一寬大部81以及第二寬大部82、和位于第一寬大部81與第二寬大部82之間的寬度W2的狹窄部87，其中，所述寬度W1為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)，所述寬度W2為，通過作為從屏蔽部8a的外緣811被切入的狹縫部的凹部85而使寬度尺寸(Y軸方向的尺寸)被縮窄的寬度。換而言之，寬大部具備隔著狹窄部87而被設(shè)置于第一方向(X軸方向)的一方側(cè)的第一寬大部81、和被設(shè)置于另一方側(cè)的第二寬大部82。

并且，在與屏蔽8a的凹部85對置的基材91的中間部911處，設(shè)置有從外周緣切入聚酰亞胺等的樹脂的作為狹縫部的第二凹部70。即，屏蔽部8a的凹部85與中間部911的切入聚酰亞胺等的樹脂的第二凹部70在從圖中Z軸方向觀察的俯視觀察時(shí)，以重疊的方式而被配置。

此外，屏蔽部8b以從連接端子971起大致仿照中間部912的平面形狀的方式而延伸設(shè)置，且被層疊(固定)在中間部912的背面上。屏蔽部8b具備寬度W1的作為寬大部的第一寬大部83以及第二寬大部84、和通過凹部86而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度W2的狹窄部88，其中，所述寬度W1為與中間部912的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)，所述凹部86位于第一寬大部83與第二寬大部84之間，且作為從屏蔽部8b的外緣812被挖入的狹縫部。換而言之，寬大部具備隔著狹窄部88而被設(shè)置于第一方向(X軸方向)的一方側(cè)的第一寬大部83、和被設(shè)置于另一方側(cè)的第二寬大部84。

并且，在與屏蔽8b的凹部86對置的基材91的中間部912處，設(shè)置有從外周緣切入聚酰亞胺等的樹脂的作為狹縫部的第二凹部71。即，屏蔽部8b的凹部86與中間部912的切入聚酰亞胺等的樹脂的第二凹部71在從圖中Z軸方向觀察的俯視觀察時(shí)，以重疊的方式而被配置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過被設(shè)置在連接端子921、931、941以及連接端子951、961、971之間的狹窄部87、88，而使屏蔽81a、8b的剛性減弱，從而能夠吸收因由環(huán)境溫度變化所造成的各個(gè)部件的伸縮量的差異而產(chǎn)生的應(yīng)力。除此之外，通過在從圖中Z軸方向觀察的俯視觀察時(shí)，以和屏蔽部8a、8b的凹部85、86重疊的方式而被配置在基材91(支承部9)的中間部911、912上的作為狹縫部的第二凹部70、71，從而能夠減少因環(huán)境溫度變化時(shí)的、由于作為支承基板的基材91與基座6的熱膨脹系數(shù)的差異而產(chǎn)生的伸長或收縮量的差異而在第一安裝部以及第二安裝部上產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠抑制包括連接端子921、931、941以及連接端子951、961、971的、基座與支承部的安裝部分(第一安裝部以及第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低，從而能夠提高連接可靠性。

另外，除了被設(shè)置在與凹部85重疊的位置上的第二凹部70之外，如在圖16中通過假想線(單點(diǎn)劃線)所示那樣，也能夠在不與凹部85重疊的位置上設(shè)置第二凹部70a、70b等。另外，對第二凹部的數(shù)量并無限制。此外，也能夠采用不在與凹部85重疊的位置上設(shè)置第二凹部，而僅在與凹部85不重疊的位置上設(shè)置第二凹部的結(jié)構(gòu)。

此外，在代替作為狹縫部的第二凹部70、71而設(shè)置了一個(gè)以上的貫穿孔(孔部)的結(jié)構(gòu)中，也起到了相同的效果。

第三實(shí)施方式

接下來，參照圖17來對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺傳感器的第三實(shí)施方式所涉及的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖17為作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第三實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。以下，雖然對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明，但卻是以與前文所述的第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來進(jìn)行說明，關(guān)于相同的結(jié)構(gòu)或事項(xiàng)，將標(biāo)記相同的符號或省略其說明。在本第三實(shí)施方式中，除支承部的屏蔽部的結(jié)構(gòu)有所不同以外，其余為與前文所述的第一實(shí)施方式大致相同的結(jié)構(gòu)。

圖17所示的第三實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器1a與第一實(shí)施方式相同，具備作為對角速度進(jìn)行檢測的功能元件的陀螺元件2(參照圖1)、對陀螺元件2進(jìn)行支承的支承部9、和以一包在內(nèi)的方式對陀螺元件2以及支承部9進(jìn)行收納的封裝件5。另外，雖然將在后文進(jìn)行敘述，但封裝件5具有基座(基體)6以及被接合在基座6上的蓋(蓋體)7(參照圖2)。以下，以與第一實(shí)施方式不同的支承部的屏蔽部所涉及的結(jié)構(gòu)為中心來進(jìn)行說明。

第三實(shí)施方式所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97以及屏蔽部8a、8b。支承部9與第一實(shí)施方式相同，也為TAB安裝用的具有光透過性的基板，且對陀螺元件2進(jìn)行支承。

作為支承基板的基材91a由例如聚酰亞胺等的具有可撓性的樹脂構(gòu)成?；?1a具有在中央部處具備開口部910的框狀的大致長方形的外形形狀，且以其長軸與封裝件5的長軸一致的方式而被配置在凹部61內(nèi)。此外，基材91a具備沿著基材91a的長條方向(圖中X軸方向)而對置的兩個(gè)中間部911、912。

屏蔽部8a、8b與支承導(dǎo)線96、97的連接端子961以及連接端子971相同，也為由金屬材料構(gòu)成的薄板狀的具有導(dǎo)電性的圖案，且例如由銅(Cu)或銅合金等而被構(gòu)成。屏蔽部8a從連接端子961起延伸設(shè)置。此外，屏蔽部8b從連接端子971起延伸設(shè)置。屏蔽部8a、8b分別被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、X軸方向上的第一安裝部(連接端子921、931、941所位于的部分)與第二安裝部(連接端子951、961、971所位于的部分)之間的、位于Y軸方向的兩側(cè)的中間部911、912的下表面上。屏蔽部8a、8b以從連接端子961、971起大致仿照延伸設(shè)置的中間部911、912的平面形狀的方式而延伸設(shè)置。

具體而言，屏蔽部8a以從連接端子961起大致仿照中間部911的平面形狀的方式而延伸設(shè)置，并且具備在第二方向(Y軸方向)上從支承部9的基材91a的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出為凸緣狀的突出部817。并且，屏蔽部8a具備寬度W1的作為寬大部的第一寬大部81以及第二寬大部82、和位于第一寬大部81與第二寬大部82之間的寬度W2的狹窄部87，其中，所述寬度W1為與中間部911的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)，所述寬度W2為通過作為從屏蔽部8a的外緣811被切入的狹縫部的凹部85而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度。換而言之，寬大部具備隔著狹窄部87而被設(shè)置于在第一方向(X軸方向)的一方側(cè)的第一寬大部81、和被設(shè)置于另一方側(cè)的第二寬大部82。

此外，屏蔽部8b以從連接端子971起大致仿照中間部912的平面形狀的方式而延伸設(shè)置，并且具備在第二方向(Y軸方向)上從支承部9的基材91a的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出為凸緣狀的突出部816。并且，屏蔽部8b具備寬度W1的作為寬大部的第一寬大部83以及第二寬大部84、和位于第一寬大部83與第二寬大部84之間的寬度W2的狹窄部88，其中，所述寬度W1為與中間部912的寬度大致相同的寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)，所述寬度W2為通過作為從屏蔽部8b的外緣812被挖入的狹縫部的凹部86而使寬度尺寸(Y軸方向上的尺寸)被縮窄的寬度。換而言之，寬大部具備隔著狹窄部88而被設(shè)置于第一方向(X軸方向)的一方側(cè)的第一寬大部83、和被設(shè)置于另一方側(cè)的第二寬大部84。

根據(jù)上文所述，通過被設(shè)置在連接端子921、931、941以及連接端子951、961、971之間的狹窄部87、88，而使屏蔽81a、8b的剛性減弱，從而能夠吸收由因環(huán)境溫度變化所造成的各個(gè)部件的伸縮量的差異而產(chǎn)生的應(yīng)力。除此之外，由于通過在第二方向(Y軸方向)上從支承部9的基材91a的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出為凸緣狀的突出部816、817，而使屏蔽部的面積變大，因此能夠更加提高電噪聲(放射噪聲)的遮蔽效果(密封效果)。此外，由于屏蔽部由金屬構(gòu)成，因此能夠遮蔽例如紫外線或激光等的光。

此外，也可以在與屏蔽部8a的凹部85以及屏蔽部8b的凹部86對置的基材91a的中間部911、912上，像前文所述的第二實(shí)施方式那樣，設(shè)置有從外周緣切入聚酰亞胺等的樹脂的第二凹部70、71(參照圖16)。

第四實(shí)施方式

接下來，參照圖18來對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺傳感器的第四實(shí)施方式所涉及的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖18為作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第四實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。以下，雖然對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第四實(shí)施方式進(jìn)行說明，但卻是以與前文所述的第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來進(jìn)行說明，關(guān)于相同的結(jié)構(gòu)或事項(xiàng)將標(biāo)記相同的符號或省略其說明。在本第四實(shí)施方式中，除支承部的中間部的結(jié)構(gòu)有所不同以外，其余為與前文所述的第一實(shí)施方式大致相同的結(jié)構(gòu)。

圖18所示的第四實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器1b與第一實(shí)施方式相同，具備作為對角速度進(jìn)行檢測的功能元件的陀螺元件2(參照圖1)、對陀螺元件2進(jìn)行支承的支承部9、和以一包在內(nèi)的方式對陀螺元件2以及支承部9進(jìn)行收納的封裝件5。另外，雖然將在后文進(jìn)行所述，但封裝件5具有基座(基體)6以及被接合在基座6上的蓋(蓋體)7(參照圖2)。以下，以與第一實(shí)施方式不同的支承部的中間部所涉及的結(jié)構(gòu)為中心來進(jìn)行說明。

第四實(shí)施方式所涉及的支承部9與第一實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97以及構(gòu)成屏蔽部的第一屏蔽部8k、8n及第二屏蔽部8m、8p。支承部9與第一實(shí)施方式相同，為TAB安裝用的具有光透過性的基板，且對陀螺元件2進(jìn)行支承。

作為支承基板的基材91由例如聚酰亞胺等的具有可撓性的樹脂構(gòu)成?；?1具有在中央部處具備開口部910的框狀的大致長方形的外形形狀，且以其長軸與封裝件5的長軸一致的方式而被配置在封裝件5的凹部內(nèi)。此外，基材91具備沿著基材91的長條方向(圖中X軸方向)而對置的兩個(gè)中間部911、912。

構(gòu)成屏蔽部的第一屏蔽部8k、8n以及第二屏蔽部8m、8p與支承導(dǎo)線96的連接端子961、971以及連接端子981、991相同，也為由金屬材料構(gòu)成的薄板狀的具有導(dǎo)電性的圖案，且例如由銅(Cu)或銅合金等而被構(gòu)成。一方的第一屏蔽部8k從連接端子981起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置，另一方的第一屏蔽部8n從連接端子991起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置。此外，一方的第二屏蔽部8m從連接端子961起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置，另一方的第二屏蔽部8p從連接端子971起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置。

第一屏蔽部8k、8n以及第二屏蔽部8m、8p被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、第一方向(X軸方向)上的第一安裝部(連接端子921、931、941、981、991所位于的部分)與第二安裝部(連接端子951、961、971所位于的部分)之間的、位于第二方向(Y軸方向)的兩側(cè)的中間部911、912的下表面上。此外，第一屏蔽部8k、8n以及第二屏蔽部8m、8p通過被設(shè)置于中間部911、912的第一方向(X軸方向)的中央部上的分割部98、99，而以互相分離(間隔)的方式被配置。

另外，優(yōu)選為，將第一屏蔽部8k、8n以及第二屏蔽部8m、8p設(shè)為例如GND等這樣的固定電位。以此方式，通過將第一屏蔽部8k、8n以及第二屏蔽部8m、8p設(shè)為固定電位，從而能夠有效地實(shí)施例如從數(shù)字信號端子等所放射的電噪聲的遮蔽(屏蔽)。

根據(jù)第四實(shí)施方式，在第一方向(X軸方向)上互相分離配置的第一安裝部以及第二安裝部之間所設(shè)置的屏蔽部，通過分割部98、99而被分離配置在第一屏蔽部8k、8n以及第二屏蔽部8m、8p上。由此，在環(huán)境溫度變化的情況下，由熱膨脹系數(shù)較大的屏蔽部的變形所產(chǎn)生的應(yīng)力將通過分割部98、99而被吸收，從而能夠減少在第一安裝部以及第二安裝部中所產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠抑制基座與支承部的安裝部分(第一安裝部以及第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低。

第五實(shí)施方式

接下來，參照圖19來對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺傳感器的第五實(shí)施方式所涉及的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖19為作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第五實(shí)施方式所涉及的俯視圖(頂視圖)。以下，雖然對作為本發(fā)明的電子裝置而例示的陀螺元件的第五實(shí)施方式進(jìn)行說明，但卻是以與前文所述的第四實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來進(jìn)行說明，關(guān)于相同的結(jié)構(gòu)或事項(xiàng)，將標(biāo)記相同的符號或省略其說明。在本第五實(shí)施方式中，除支承部的中間部(屏蔽部)的結(jié)構(gòu)有所不同以外，其余為與前文所述的第四實(shí)施方式大致相同的結(jié)構(gòu)。

圖19所示的第五實(shí)施方式所涉及的陀螺傳感器1c與第四實(shí)施方式相同，具備作為對角速度進(jìn)行檢測的功能元件的陀螺元件2(參照圖1)、對陀螺元件2進(jìn)行支承的支承部9、和以一包在內(nèi)的方式對陀螺元件2以及支承部9進(jìn)行收納的封裝件5。另外，雖然將在后文進(jìn)行敘述，但封裝件5具有基座(基體)6以及被接合在基座6上的蓋(蓋體)7(參照圖2)。以下，以與第一實(shí)施方式以及第四實(shí)施方式不同的支承部的中間部所涉及的結(jié)構(gòu)為中心來進(jìn)行說明。

第五實(shí)施方式所涉及的支承部9與第四實(shí)施方式相同，也具有框狀的基材(支承基板)91、和被設(shè)置在基材91上的六個(gè)支承導(dǎo)線92、93、94、95、96、97以及構(gòu)成屏蔽部的第一屏蔽部8r、8t及第二屏蔽部8s、8u。支承部9與第四實(shí)施方式相同，為TAB安裝用的具有光透過性的基板，且對陀螺元件2進(jìn)行支承。

作為支承基板的基材91由例如聚酰亞胺等的具有可撓性的樹脂構(gòu)成?；?1具有在中央部處具備開口部910的框狀的大致長方形的外形形狀，且以其長軸以與封裝件5的長軸一致的方式而被配置在封裝件5的凹部內(nèi)。此外，基材91具備沿著基材91的長條方向(圖中X軸方向)而對置的兩個(gè)中間部911、912。

構(gòu)成屏蔽部的第一屏蔽部8r、8t以及第二屏蔽部8s、8u與支承導(dǎo)線96的連接端子961、971以及連接端子981、991相同，也為由金屬材料構(gòu)成的薄板狀的具有導(dǎo)電性的圖案，且例如由銅(Cu)或銅合金等而被構(gòu)成。

一方的第一屏蔽部8r從連接端子981起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置，并且具備在第二方向(Y軸方向)上從支承部9的基材91的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出為凸緣狀的突出部817。此外，另一方的第一屏蔽部8t從連接端子981起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置，并且具備在第二方向(Y軸方向)上從基材91的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出成凸緣狀的突出部816。

此外，一方的第二屏蔽部8s從連接端子961起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置，并且具備在第二方向(Y軸方向)上從基材91的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出為凸緣狀的突出部817。此外，另一方的第一屏蔽部8u從連接端子971起大致沿著第一方向(X軸方向)而延伸設(shè)置，并且具備在第二方向(Y軸方向)上從基材91的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出為凸緣狀的突出部816。

第一屏蔽部8r、8t以及第二屏蔽部8s、8u被層疊(固定)在框狀的基材91內(nèi)的、第一方向(X軸方向)上的第一安裝部(連接端子921、931、941、981、991所位于的部分)與第二安裝部(連接端子951、961、971所位于的部分)之間的、位于第二方向(Y軸方向)的兩側(cè)的中間部911、912的下表面上。此外，第一屏蔽部8r、8t以及第二屏蔽部8s、8u通過被設(shè)置在中間部911、912的第一方向(X軸方向)的中央部上的分割部98、99，而以互相分離(隔開間隔)的方式被配置。

另外，優(yōu)選為，將第一屏蔽部8r、8t以及第二屏蔽部8s、8u設(shè)為例如GND等這樣的固定電位。以此方式，通過將第一屏蔽部8r、8t以及第二屏蔽部8s、8u設(shè)為固定電位，從而能夠有效地實(shí)施例如從數(shù)字信號端子等所放射出的電噪聲的遮蔽(屏蔽)。

根據(jù)第五實(shí)施方式，在第一方向(X軸方向)上互相分離配置的第一安裝部以及第二安裝部之間所設(shè)置的屏蔽部，通過分割部98、99而被分離配置在第一屏蔽部8r、8t以及第二屏蔽部8s、8u上。由此，在環(huán)境溫度變化的情況下，由熱膨脹系數(shù)較大的屏蔽部的變形所產(chǎn)生的應(yīng)力將通過分割部98、99而被吸收，從而能夠減少在第一安裝部以及第二安裝部中所產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠抑制基座與支承部的安裝部分(第一安裝部以及第二安裝部)的連接強(qiáng)度的降低。

此外，由于通過在第二方向(Y軸方向)上從支承部9的基材(支承基板)91的內(nèi)周緣910a起向開口部910伸出為凸緣狀的突出部816、817而增大了屏蔽部的面積，因此能夠進(jìn)一步提高電噪聲(放射噪聲)的遮蔽效果(密封效果)。此外，由于屏蔽部由金屬構(gòu)成，因此能夠遮蔽例如紫外線或激光等的光。

另外，在圖19中由假想線(單點(diǎn)劃線)所示那樣，能夠在于俯視觀察時(shí)與分離了屏蔽部的分割部98、99重疊的位置的支承部9的基材91上，設(shè)置從其外周緣被切入的第二凹部70、71。

此外，在前述的由圖18所示的第四實(shí)施方式中，也能夠使用設(shè)置了第二凹部70、71的結(jié)構(gòu)，并且也能夠得到相同的效果。

2.電子設(shè)備

接下來，根據(jù)圖20～圖22來對應(yīng)用了作為電子裝置的陀螺傳感器1的電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。

圖20為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或筆記本型)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具備鍵盤1102的主體部1104與具備顯示部1108的顯示單元1106構(gòu)成，并且顯示單元1106經(jīng)由鉸鏈結(jié)構(gòu)部而被支承為能夠相對于主體部1104而轉(zhuǎn)動(dòng)。在這種個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中，內(nèi)置有作為角速度檢測單元而發(fā)揮功能的陀螺傳感器1。

圖21為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的便攜式電話機(jī)(也包括PHS：個(gè)人手持式電話系統(tǒng))的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，手機(jī)1200具備多個(gè)操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。在這種的便攜式電話機(jī)1200中內(nèi)置有作為角速度檢測單元而發(fā)揮功能的陀螺傳感器1。

圖22為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，在該圖中，簡要地圖示了與外部設(shè)備的連接。在此，通常的照相機(jī)通過被拍攝物體的光像而使氯化銀照相膠片感光，與此相對，數(shù)碼照相機(jī)1300則通過CCD(Charge Couple Device：電荷耦合裝置)等的攝像元件而對被拍攝物體的光像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(圖像信號)。

在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(機(jī)體)1302的背面上設(shè)置有顯示部1310，并且成為了根據(jù)由CCD發(fā)出的攝像信號而進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1310作為將被拍攝物體以電子圖像顯示的取景器而發(fā)揮功能。

此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?，設(shè)置有包括光學(xué)透鏡(攝像光學(xué)系統(tǒng))與CCD等的受光單元1304。

當(dāng)拍攝者對被顯示在顯示部上的被拍攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)間點(diǎn)的CCD的攝像信號將被傳送并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器1308中。

此外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面上設(shè)置有視頻信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。并且，如圖所示，分別根據(jù)需要而在視頻信號輸出端子1312上連接電視監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。而且，成為如下結(jié)構(gòu)，即，通過預(yù)定的操作而使存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器1308中的攝像信號向電視監(jiān)視器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440輸出。

在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中，內(nèi)置有作為角速度檢測單元而發(fā)揮功能的陀螺傳感器1。

另外，在具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備中，除了圖20的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖21的便攜式電話機(jī)、圖22的數(shù)碼照相機(jī)之外，還能夠應(yīng)用于如下的電子設(shè)備中，例如：噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括附帶通信功能的產(chǎn)品)、電子辭典、臺式電子計(jì)算器、電子游戲機(jī)、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖計(jì)測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計(jì)量儀器類(例如，車輛、航空器、船舶的計(jì)量儀器類)、飛行模擬器等。

3.移動(dòng)體

接下來，根據(jù)圖23來對應(yīng)用了作為物理量傳感器的陀螺傳感器1的移動(dòng)體進(jìn)行詳細(xì)說明。

圖23為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的移動(dòng)體的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。在汽車1500中，內(nèi)置有作為角速度檢測單元而發(fā)揮功能的陀螺傳感器1，并能夠通過陀螺傳感器1而對車身1501的姿態(tài)進(jìn)行檢測。來自陀螺傳感器1的信號被供給至車身姿態(tài)控制裝置1502，車身姿態(tài)控制裝置1502根據(jù)該信號而對車身1501的姿態(tài)進(jìn)行檢測，并能夠根據(jù)檢測結(jié)果而對懸架的硬軟進(jìn)行控制，或?qū)Ω鱾€(gè)車輪1503的制動(dòng)器進(jìn)行控制。另外，這種姿態(tài)控制能夠在兩足行走機(jī)器人或遙控直升機(jī)上利用。如上文所示，在實(shí)現(xiàn)各種移動(dòng)體的姿態(tài)控制時(shí)，將組裝有陀螺傳感器1。

以上，雖然根據(jù)圖示了本發(fā)明的電子裝置、電子設(shè)備以及移動(dòng)體的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此，各部的結(jié)構(gòu)能夠置換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。此外，也可以在本發(fā)明中附加其他的任意結(jié)構(gòu)物。

符號說明

1…作為電子裝置的陀螺傳感器；2…作為功能元件的陀螺元件；3…振動(dòng)片；31…基部；321…第一檢測臂；322…第二檢測臂；331…第一連結(jié)臂；332…第二連結(jié)臂；341…第一驅(qū)動(dòng)臂；342…第二驅(qū)動(dòng)臂；343…第三驅(qū)動(dòng)臂；344…第四驅(qū)動(dòng)臂；351…槽；411…第一檢測信號電極；412…第一檢測信號端子；421…第一檢測接地電極；422…第一檢測接地端子；431…第二檢測信號電極；432…第二檢測信號端子；441…第二檢測接地電極；442…第二檢測接地端子；451…驅(qū)動(dòng)信號電極；452…驅(qū)動(dòng)信號端子；461…驅(qū)動(dòng)接地電極；462…驅(qū)動(dòng)接地端子；5…封裝件；6…基座(基體)；61…凹部；7…蓋(蓋體)；8a、8b…屏蔽部；801b…S1連接端子；802b…S2連接端子；803b’…GND連接端子；803”…GND連接端子；804b…DS連接端子；805b…DG連接端子；81、83…作為寬大部的第一寬大部；82、84…作為寬大部的第二寬大部；85、86…凹部；87、88…狹窄部；811、812…外緣；813、814…內(nèi)周緣；9…支承部；91…基材(支承基板)；910…開口部；92、93、94、95、96、97…支承導(dǎo)線；911、912…中間部；921、931、941、951、961、971…連接端子；1100…個(gè)人計(jì)算機(jī)；1200…便攜式電話機(jī)；1300…數(shù)碼照相機(jī)；1500…汽車；3211、3221、3411、3421、3431、3441…錘頭；G…重心；ω…角速度。