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壓電式壓力傳感器的制作方法

文檔序號:11130996閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種壓電式壓力傳感器(1),其具有傳感器殼體(20),在該傳感器殼體中設有膜(21)、壓電式接收器(22)、電荷拾取部(23.1)和預緊組件(24);膜(21)檢測壓力變化;所檢測到的壓力變化在壓電式接收器(22)上產(chǎn)生極化電荷;預緊組件(24)具有預緊體(24.2)和預緊套筒(24.1),并將壓電式接收器(22)機械地預緊;電荷拾取部(23.1)接收極化電荷;并且電荷拾取部(23.1)通過第二間隙與預緊套筒(24.1)電絕緣;在此,電荷拾取部(23.1)在預緊體(24.2)的朝向膜(21)的一側(cè)通過第一電絕緣體(25)與預緊體(24.2)機械地連接,并使第二間隙壓力密封地與周圍環(huán)境分離。

技術(shù)研發(fā)人員:R·布克;M·吉格
受保護的技術(shù)使用者:基斯特勒控股公司
文檔號碼:201610620144
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.01
技術(shù)公布日:2017.02.15

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