技術(shù)特征：

1.陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直裝置，其特征在于，包括光源(1)、透射式準直鏡(21)、反射鏡(3)、以及反饋成像系統(tǒng)(6)，所述反射鏡(3)上設置有角度調(diào)整測量裝置(4)；光源(1)出射的光束，經(jīng)過透射式準直鏡(21)準直成平行光束后，再由反射鏡(3)反射，入射到被測物(5)的表面；從被測物(5)表面反射的光束，再經(jīng)過反射鏡(3)反射后，由反饋成像系統(tǒng)(6)采集成像；

所述反饋成像系統(tǒng)(6)為以下兩種形式中的：

第一、設置在光源(1)與透射式準直鏡(21)之間，包括第一反饋分光鏡(61)、以及設置在透射式準直鏡(21)焦面的四象限探測器(66)和多個單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)，所述單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)成陣列分布，四象限探測器(66)既位于陣列中心、又位于反饋成像系統(tǒng)(6)光軸上；從被測物(5)表面反射的光束，再經(jīng)過反射鏡(3)反射后，先后經(jīng)過透射式準直鏡(21)透射、第一反饋分光鏡(61)反射、由四象限探測器(66)或單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)采集成像；

第二、設置在透射式準直鏡(21)與反射鏡(3)之間，包括第一反饋分光鏡(61)、第一反饋物鏡(63)和設置在透射式準直鏡(21)焦面的四象限探測器(66)和多個單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)，所述單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)成陣列分布，四象限探測器(66)既位于陣列中心、又位于反饋成像系統(tǒng)(6)光軸上；從被測物(5)表面反射的光束，再經(jīng)過反射鏡(3)反射后，先后經(jīng)過第一反饋分光鏡(61)反射、第一反饋物鏡(63)透射、由四象限探測器(66)或單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)采集成像；

所述角度調(diào)整測量裝置(4)包括設置在反射鏡(3)上的角度調(diào)整裝置、角度偏轉(zhuǎn)測量裝置、以及萬向軸(43)，角度調(diào)整裝置包括第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)；角度偏轉(zhuǎn)測量裝置包括第一金屬片(421)、第二金屬片(422)、第一反射鏡(425)、第二反射鏡(426)、對應第一金屬片(421)位置的第一電容傳感器(423)、以及對應第二金屬片(422)位置的第二電容傳感器(424)、對應第一反射鏡(425)位置的第一激光干涉儀(427)、以及對應第二反射鏡(426)位置的第二激光干涉儀(428)；第一驅(qū)動器(411)、第一金屬片(421)、第一反射鏡(425)、以及萬向軸(43)在一條直線上，第二驅(qū)動器(412)、第二金屬片(422)、第二反射鏡(426)、以及萬向軸(43)在一條直線上，并且第一驅(qū)動器(411)與萬向軸(43)的連線垂直第二驅(qū)動器(412)與萬向軸(43)的連線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直裝置，其特征在于，還包括波前探測系統(tǒng)(7)和波前補償系統(tǒng)(8)；

所述波前探測系統(tǒng)(7)包括波前探測分光鏡(71)、以及空氣擾動波前探測器(72)和反射鏡形變波前探測器(73)中的至少一個；所述波前探測分光鏡(71)設置在反射鏡(3)與被測物(5)之間，空氣擾動波前探測器(72)設置在波前探測分光鏡(71)的反射光路上，反射鏡形變波前探測器(73)設置在反射鏡(3)的二次反射光路上；

所述波前補償系統(tǒng)(8)包括補償光源(81)、補償準直鏡(82)、以及透射式液晶空間光調(diào)制器(83)；補償光源(81)出射的光束，經(jīng)過補償準直鏡(82)準直成平行光束后，再由透射式液晶空間光調(diào)制器(83)調(diào)制，入射到波前探測分光鏡(71)上。

3.在權(quán)利要求1所述便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直裝置上實現(xiàn)的便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟a、點亮光源(1)，反饋成像系統(tǒng)(6)成像，如果：

第一、得到的點像位于單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)所在區(qū)域，根據(jù)單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)坐標，得到點像偏離像面中心方向，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)所在區(qū)域，進入步驟b；

第二、得到的點像位于四象限探測器(66)所在區(qū)域，直接進入步驟b；

步驟b、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結(jié)束后點像偏離四象限探測器(66)像面中心位置Δx和Δy，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)像面中心位置；

步驟c、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化ΔC1，以及第二電容傳感器(424)的電容變化ΔC2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ1和同時讀取第一激光干涉儀(427)得到的位移變化Δx1，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化Δx2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ2和進而得到被測物(5)表面的角度變化Δα和Δβ；其中，Δθ1＝f1(ΔC1,ΔC2)，Δθ2＝f3(Δx1,Δx2)，和f1、f2、f3、f4表示4個函數(shù)。

4.在權(quán)利要求2所述便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直裝置上實現(xiàn)的便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統(tǒng)(7)僅包括波前探測分光鏡(71)和空氣擾動波前探測器(72)；

其特征在于，包括以下步驟：

步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；

步驟b、點亮光源(1)，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B，空氣擾動波前探測器(72)分別得到GA和GB兩組數(shù)據(jù)；

步驟c、G1＝GA-GB，得到空氣擾動造成的波前變化；

步驟d、按照f5(G1)調(diào)整透射式液晶空間光調(diào)制器(83)參數(shù)，點亮補償光源(81)，補償空氣擾動；

步驟e、點亮光源(1)，反饋成像系統(tǒng)(6)成像，如果：

第一、得到的點像位于單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)所在區(qū)域，根據(jù)單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)坐標，得到點像偏離像面中心方向，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)所在區(qū)域，進入步驟f；

第二、得到的點像位于四象限探測器(66)所在區(qū)域，直接進入步驟f；

步驟f、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結(jié)束后點像偏離四象限探測器(66)像面中心位置Δx和Δy，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)像面中心位置；

步驟g、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化ΔC1，以及第二電容傳感器(424)的電容變化ΔC2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ1和同時讀取第一激光干涉儀(427)得到的位移變化Δx1，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化Δx2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ2和進而得到被測物(5)表面的角度變化Δα和Δβ；其中，Δθ1＝f1(ΔC1,ΔC2)，Δθ2＝f3(Δx1,Δx2)，和f1、f2、f3、f4表示4個函數(shù)。

5.在權(quán)利要求2所述便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直裝置上實現(xiàn)的便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統(tǒng)(7)僅包括波前探測分光鏡(71)和反射鏡形變波前探測器(73)；

其特征在于，包括以下步驟：

步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；

步驟b、點亮光源(1)，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B，反射鏡形變波前探測器(73)分別得到GC和GD兩組數(shù)據(jù)；

步驟c、G2＝GC-GD，得到空氣擾動和反射鏡形變共同造成的波前變化；

步驟d、按照f5(G2)調(diào)整透射式液晶空間光調(diào)制器(83)參數(shù)，點亮補償光源(81)，補償空氣擾動和反射鏡形變；

步驟e、反饋成像系統(tǒng)(6)成像，如果：

第一、得到的點像位于單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)所在區(qū)域，根據(jù)單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)坐標，得到點像偏離像面中心方向，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)所在區(qū)域，進入步驟f；

第二、得到的點像位于四象限探測器(66)所在區(qū)域，直接進入步驟f；

步驟f、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結(jié)束后點像偏離四象限探測器(66)像面中心位置Δx和Δy，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)像面中心位置；

步驟g、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化ΔC1，以及第二電容傳感器(424)的電容變化ΔC2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ1和同時讀取第一激光干涉儀(427)得到的位移變化Δx1，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化Δx2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ2和進而得到被測物(5)表面的角度變化Δα和Δβ；其中，Δθ1＝f1(ΔC1,ΔC2)，Δθ2＝f3(Δx1,Δx2)，和f1、f2、f3、f4表示4個函數(shù)。

6.在權(quán)利要求2所述便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直裝置上實現(xiàn)的便攜式陣列調(diào)零高動態(tài)精度大工作距自準直方法，要求波前探測系統(tǒng)(7)同時包括波前探測分光鏡(71)、空氣擾動波前探測器(72)和反射鏡形變波前探測器(73)；

其特征在于，包括以下步驟：

步驟a、選取表面垂直于光軸方向的參考物；

步驟b、點亮光源(1)，將步驟a所選擇的參考物分別放置在工作位置A和近工作位置B，空氣擾動波前探測器(72)分別得到GA和GB兩組數(shù)據(jù)，反射鏡形變波前探測器(73)分別得到GC和GD兩組數(shù)據(jù)；

步驟c、G1＝GA-GB，得到空氣擾動造成的波前變化；G2＝GC-GD，得到空氣擾動和反射鏡形變共同造成的波前變化；G＝G2-G1，得到反射鏡形變造成的波前變化；

步驟d、

按照f5(G1)調(diào)整透射式液晶空間光調(diào)制器(83)參數(shù)，點亮補償光源(81)，補償空氣擾動；

或

按照f5(G2)調(diào)整透射式液晶空間光調(diào)制器(83)參數(shù)，點亮補償光源(81)，補償空氣擾動和反射鏡形變；

或

按照f5(G)調(diào)整透射式液晶空間光調(diào)制器(83)參數(shù)，點亮補償光源(81)，補償反射鏡形變；

步驟e、反饋成像系統(tǒng)(6)成像，如果：

第一、得到的點像位于單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)所在區(qū)域，根據(jù)單像素光電轉(zhuǎn)換器(67)坐標，得到點像偏離像面中心方向，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)所在區(qū)域，進入步驟f；

第二、得到的點像位于四象限探測器(66)所在區(qū)域，直接進入步驟f；

步驟f、四象限探測器(66)成像，得到步驟a結(jié)束后點像偏離四象限探測器(66)像面中心位置Δx和Δy，利用第一驅(qū)動器(411)和第二驅(qū)動器(412)調(diào)整反射鏡(3)角度，使點像回到四象限探測器(66)像面中心位置；

步驟g、讀取第一電容傳感器(423)的電容變化ΔC1，以及第二電容傳感器(424)的電容變化ΔC2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ1和同時讀取第一激光干涉儀(427)得到的位移變化Δx1，以及第二激光干涉儀(428)得到的位移變化Δx2，再轉(zhuǎn)換為反射鏡(3)的角度變化Δθ2和進而得到被測物(5)表面的角度變化Δα和Δβ；其中，Δθ1＝f1(ΔC1,ΔC2)，Δθ2＝f3(Δx1,Δx2)，和f1、f2、f3、f4表示4個函數(shù)。