技術總結
本發(fā)明提供一種線條粗糙度的測量方法及系統(tǒng)，確定多個像素閾值，并獲得每個像素閾值下的邊緣分布，在對邊緣分布進行分析后，獲得每個像素閾值下的線條粗糙度，通過對所有像素閾值下的線條粗糙度進行比較，選擇線條粗糙度連續(xù)變化時的最小值作為待測結構的線條粗糙度。在該方法中，采用多像素閾值的方法，每次測試中對所有像素閾值下的線條粗糙度進行比較，選擇線條粗糙度連續(xù)變化時的最小值作為待測結構的線條粗糙度，該線條粗糙度為最佳像素閾值下的測量值，測試結果更具有準確性，對于不同批次產(chǎn)品的測量，最佳像素閾值下的測量值為動態(tài)獲得的，測試結果具有準確性和穩(wěn)定性，能夠真實反映刻蝕工藝是否達標，利于提高產(chǎn)品的良率和性能。

技術研發(fā)人員：張利斌;韋亞一
受保護的技術使用者：中國科學院微電子研究所
文檔號碼：201610645840
技術研發(fā)日：2016.08.08
技術公布日：2017.01.25