本發(fā)明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術(shù)：

以往以來(lái)，公知有例如對(duì)IC器件等電子部件的電特性進(jìn)行檢查的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置中組裝有用于將IC器件輸送至檢查部的保持部的電子部件輸送裝置。在進(jìn)行IC器件的檢查時(shí)，將IC器件配置于保持部，使被設(shè)置于保持部的多個(gè)探針與IC器件的各端子接觸。在該IC器件的檢查中存在：將IC器件冷卻至規(guī)定溫度而執(zhí)行的低溫檢查、以及將IC器件加熱至規(guī)定溫度而執(zhí)行的高溫檢查。

另外，在專利文獻(xiàn)1中公開有一種IC機(jī)械手，該IC機(jī)械手具有在進(jìn)行IC器件的檢查的情況下吸附并把持IC器件的2個(gè)輸送手。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平8－105937號(hào)公報(bào)

然而，在專利文獻(xiàn)1所記載的裝置中，無(wú)法進(jìn)行IC器件的低溫檢查與高溫檢查這兩方。

另外，在專利文獻(xiàn)1所記載的裝置中，無(wú)法利用輸送手來(lái)把持在對(duì)IC器件進(jìn)行載置及輸送的電子部件載置部的規(guī)定位置上載置著的IC器件、并使該IC器件載置于該電子部件載置部的其他位置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本應(yīng)用例所涉及的電子部件輸送裝置的特征在于，具有：第一輸送部，其能夠輸送電子部件并使上述電子部件成為第一溫度；以及第二輸送部，其能夠輸送上述電子部件并使上述電子部件成為與上述第一溫度不同的第二溫度。

由此，在進(jìn)行電子部件的檢查的情況下，能夠在第一溫度與第二溫度的每一個(gè)下進(jìn)行。另外，能夠減少第一溫度與第二溫度的溫度切換設(shè)定工時(shí)、溫度穩(wěn)定之前的等待時(shí)間。

應(yīng)用例2

在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一輸送部具有：第一電子部件載置部，其能夠載置上述電子部件而使該電子部件移動(dòng)，并能夠使上述電子部件成為上述第一溫度；以及第一電子部件把持部，其能夠把持上述電子部件而使該電子部件移動(dòng)，并能夠使上述電子部件成為上述第一溫度，上述第二輸送部具有：第二電子部件載置部，其能夠載置上述電子部件而使該電子部件移動(dòng)，并能夠使上述電子部件成為上述第二溫度；以及第二電子部件把持部，其能夠把持上述電子部件而使該電子部件移動(dòng)，并能夠使上述電子部件成為上述第二溫度。

由此，在進(jìn)行電子部件的檢查的情況下，能夠在第一溫度與第二溫度的每一個(gè)下進(jìn)行。

應(yīng)用例3

在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具備：電子部件載置部，其具有能夠使上述電子部件成為上述第一溫度的第一電子部件載置部溫度設(shè)定部、以及能夠使上述電子部件成為上述第二溫度的第二電子部件載置部溫度設(shè)定部，并能夠載置上述電子部件而使該電子部件移動(dòng)；以及電子部件把持部，其具有能夠使上述電子部件成為上述第一溫度的第一電子部件把持部溫度設(shè)定部、以及能夠使上述電子部件成為上述第二溫度的第二電子部件把持部溫度設(shè)定部，并能夠把持上述電子部件而使該電子部件移動(dòng)，上述第一輸送部具有上述第一電子部件載置部溫度設(shè)定部和上述第一電子部件把持部溫度設(shè)定部，上述第二輸送部具有上述第二電子部件載置部溫度設(shè)定部和上述第二電子部件把持部溫度設(shè)定部。

由此，利用電子部件載置部以及電子部件把持部，能夠?qū)㈦娮硬考斔椭烈?guī)定的位置。

另外，利用第一電子部件把持部溫度設(shè)定部以及第一電子部件載置部溫度設(shè)定部，能夠使電子部件成為第一溫度，利用第二電子部件把持部溫度設(shè)定部以及第二電子部件載置部溫度設(shè)定部，能夠使電子部件成為第二溫度。

應(yīng)用例4

在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選具有多個(gè)上述電子部件載置部，具有多個(gè)上述電子部件把持部。

由此，在進(jìn)行電子部件的檢查的情況下，能夠在第一溫度與第二溫度的每一個(gè)下進(jìn)行。

應(yīng)用例5

在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選在利用上述第一輸送部輸送上述電子部件后，利用上述第二輸送部來(lái)輸送上述電子部件。

由此，在第一溫度比第二溫度低的情況下，電子部件在被設(shè)定為第二溫度的狀態(tài)下輸送至規(guī)定的位置，由此能夠防止電子部件的結(jié)露。

應(yīng)用例6

在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一溫度比上述第二溫度低。

由此，在由第一輸送部輸送電子部件后、利用第二輸送部來(lái)輸送電子部件的情況下，電子部件在被設(shè)定為第二溫度的狀態(tài)下輸送至規(guī)定的位置，由此能夠防止電子部件的結(jié)露。

應(yīng)用例7

在上述應(yīng)用例所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選當(dāng)以上述第一溫度進(jìn)行上述電子部件的檢查且在上述檢查中已合格的情況下，以上述第二溫度進(jìn)行上述電子部件的檢查。

由此，在第一溫度比第二溫度低的情況下，之后以第二溫度進(jìn)行電子部件的檢查，從而能夠在將電子部件輸送至規(guī)定位置的情況下防止電子部件的結(jié)露。

應(yīng)用例8

上述應(yīng)用例所記載的電子部件檢查裝置的特征在于，具有：第一輸送部，其能夠輸送電子部件并使上述電子部件成為第一溫度；第二輸送部，其能夠輸送上述電子部件并使上述電子部件成為與上述第一溫度不同的第二溫度；以及檢查部，其對(duì)上述電子部件進(jìn)行檢查。

由此，能夠在第一溫度與第二溫度的每一個(gè)下進(jìn)行電子部件的檢查。另外，能夠減少第一溫度與第二溫度的溫度切換設(shè)定工時(shí)、溫度穩(wěn)定之前的等待時(shí)間。

應(yīng)用例9

在本應(yīng)用例所涉及的電子部件檢查裝置中，優(yōu)選在上述檢查部設(shè)置有：能夠使上述電子部件成為上述第一溫度的第一溫度設(shè)定部；以及能夠使上述電子部件成為上述第二溫度的第二溫度設(shè)定部。

由此，能夠在第一溫度與第二溫度的每一個(gè)下進(jìn)行電子部件的檢查。

應(yīng)用例10

本應(yīng)用例所涉及的電子部件輸送裝置的特征在于，具備：電子部件載置部，其具有載置電子部件的第一載置部以及載置上述電子部件的第二載置部，并能夠輸送上述電子部件；以及電子部件把持部，其能夠從上述第一載置部把持上述電子部件并將該電子部件載置于上述第二載置部，上述第二載置部與上述第一載置部不同。

由此，在進(jìn)行電子部件的檢查的情況下，例如，能夠?qū)⒆畛醣惠d置于第一載置部且在規(guī)定的條件下檢查結(jié)束了的檢查后的電子部件載置于第二載置部，并將檢查前的另一電子部件載置于第一載置部。

因此，能夠?qū)崿F(xiàn)因能夠進(jìn)行檢查條件不同的設(shè)定而產(chǎn)生的檢查自由度的提高，特別是對(duì)小批量的情況等比較有利。另外，能夠減少對(duì)檢查條件進(jìn)行變更的設(shè)定工時(shí)、檢查條件(例如，溫度條件等)穩(wěn)定之前的等待時(shí)間。

另外，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的兩個(gè)條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使兩個(gè)電子部件在相互不同的條件下同時(shí)進(jìn)行檢查。由此，能夠提高生產(chǎn)率。

應(yīng)用例11

在應(yīng)用例10所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一載置部與上述第二載置部在上述電子部件載置部移動(dòng)的方向上排列。

由此，通過(guò)使電子部件載置部移動(dòng)，電子部件把持部能夠?qū)⒈惠d置于第一載置部的電子部件載置于第二載置部。

應(yīng)用例12

在應(yīng)用例10或者11所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述電子部件載置部具有載置上述電子部件的第三載置部，上述第三載置部與上述第一載置部以及上述第二載置部不同。

由此，電子部件把持部能夠?qū)⒈惠d置于第二載置部的電子部件載置于第三載置部。由此，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的3個(gè)條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使3個(gè)電子部件在相互不同的條件下同時(shí)進(jìn)行檢查，由此能夠提高生產(chǎn)率。

應(yīng)用例13

在應(yīng)用例12所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述電子部件把持部能夠從上述第二載置部把持上述電子部件并將該電子部件載置于上述第三載置部。

由此，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的3個(gè)條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使3個(gè)電子部件在相互不同的條件下同時(shí)進(jìn)行檢查，由此能夠提高生產(chǎn)率。

應(yīng)用例14

在應(yīng)用例10～13中的任一個(gè)例子所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述電子部件把持部具有把持上述電子部件的第一把持部以及把持上述電子部件的第二把持部，上述第一把持部與上述第二把持部不同。

由此，電子部件把持部能夠利用第一把持部來(lái)把持被載置于第一載置部的電子部件，并利用第二把持部來(lái)把持被載置于第二載置部的電子部件。

應(yīng)用例15

在應(yīng)用例14所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一把持部與上述第二把持部在上述電子部件載置部移動(dòng)的方向上排列。

由此，電子部件把持部能夠利用第一把持部來(lái)把持被載置于第一載置部的電子部件，并利用第二把持部來(lái)把持被載置于第二載置部的電子部件。

應(yīng)用例16

在應(yīng)用例14或者15所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一把持部的溫度與上述第二把持部的溫度不同。

由此，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的兩個(gè)溫度條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使兩個(gè)電子部件在相互不同的溫度條件下同時(shí)進(jìn)行檢查。

應(yīng)用例17

在應(yīng)用例14或者15所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一把持部的溫度比上述第二把持部的溫度低。

由此，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的兩個(gè)溫度條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使兩個(gè)電子部件在相互不同的溫度條件下同時(shí)進(jìn)行檢查。

應(yīng)用例18

在應(yīng)用例14～17中的任一個(gè)例子所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述電子部件把持部具有把持上述電子部件的第三把持部，上述第三把持部與上述第一把持部以及上述第二把持部不同。

由此，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的3個(gè)條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使3個(gè)電子部件在相互不同的條件下同時(shí)進(jìn)行檢查。

應(yīng)用例19

在應(yīng)用例18所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第三把持部的溫度與上述第一把持部的溫度以及上述第二把持部的溫度不同。

由此，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的3個(gè)溫度條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使3個(gè)電子部件在相互不同的溫度條件下同時(shí)進(jìn)行檢查。

應(yīng)用例20

在應(yīng)用例18所記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第三把持部的溫度比上述第一把持部的溫度以及上述第二把持部的溫度高。

由此，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的3個(gè)溫度條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使3個(gè)電子部件在相互不同的溫度條件下同時(shí)進(jìn)行檢查。

應(yīng)用例21

本應(yīng)用例所涉及的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：電子部件載置部，其具有載置電子部件的第一載置部以及載置上述電子部件的第二載置部，并能夠輸送上述電子部件；電子部件把持部，其能夠從上述第一載置部把持上述電子部件并將該電子部件載置于上述第二載置部；以及檢查部，其對(duì)上述電子部件進(jìn)行檢查，上述第二載置部與上述第一載置部不同，上述第一載置部載置利用上述檢查部進(jìn)行檢查前的上述電子部件，上述第二載置部載置利用上述檢查部進(jìn)行檢查后的上述電子部件。

由此，在進(jìn)行電子部件的檢查的情況下，例如，能夠?qū)⒆畛醣惠d置于第一載置部且在規(guī)定的條件下檢查結(jié)束了的檢查后的電子部件載置于第二載置部，并將檢查前的另一電子部件載置于第一載置部。

因此，能夠?qū)崿F(xiàn)因能夠進(jìn)行檢查條件不同的設(shè)定而產(chǎn)生的檢查自由度的提高，特別是對(duì)小批量的情況等比較有利。另外，能夠減少對(duì)檢查條件進(jìn)行變更的設(shè)定工時(shí)、檢查條件(例如，溫度條件等)穩(wěn)定之前的等待時(shí)間。

另外，能夠不暫時(shí)回收電子部件而在不同的兩個(gè)條件下進(jìn)行檢查，另外，能夠使兩個(gè)電子部件在相互不同的條件下同時(shí)進(jìn)行檢查。由此，能夠提高生產(chǎn)率。

附圖說(shuō)明

圖1A是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的示意俯視圖。

圖1B是用于對(duì)圖1A的第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。

圖2是圖1A所示的電子部件檢查裝置的框圖。

圖3是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖4是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖5是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖6是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖7是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖8是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖9是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖10是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖11是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖12A是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖12B是用于對(duì)圖12A的第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。

圖13是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖14是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖15是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖16是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖17是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖18是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖19是用于對(duì)電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖20A是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第四實(shí)施方式的示意俯視圖。

圖20B是用于對(duì)圖20A的第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。

圖21是圖20A所示的電子部件檢查裝置的框圖。

圖22A是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖22B是用于對(duì)圖22A的第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。

圖23是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖24是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖25是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖26是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖27是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖28是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖29是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖30是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖31是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖32是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖33是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖34是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖35是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖36是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖37是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖38是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖39是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖40是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖41是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖42是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖43是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖44是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖45是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖46是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖47是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖48是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

圖49是示意地表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第五實(shí)施方式中的第一檢查用器件輸送頭以及檢查部的俯視圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖所示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。

此外，以下，為了便于說(shuō)明，例如如圖1A以及圖20A所示，將相互正交的三個(gè)軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸。另外，包括X軸與Y軸的XY平面為水平，Z軸為鉛直。另外，將與X軸平行的方向也稱為“X方向”，將與Y軸平行的方向也稱為“Y方向”，將與Z軸平行的方向也稱為“Z方向”。另外，將X軸、Y軸以及Z軸的各軸的箭頭方向稱為正側(cè)，將與箭頭相反的方向稱為負(fù)側(cè)。另外，將電子部件的輸送方向的上游側(cè)也簡(jiǎn)稱為“上游側(cè)”，將下游側(cè)也簡(jiǎn)稱為“下游側(cè)”。另外，本申請(qǐng)說(shuō)明書中所說(shuō)的“水平”并不限定于完全的水平，只要不妨礙電子部件的輸送，也包括相對(duì)于水平稍微(例如不足5°左右)傾斜的狀態(tài)。

以下說(shuō)明的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1、1c例如是用于對(duì)BGA(Ball grid array：球柵陣列)封裝體、LGA(Land grid array：格柵陣列)封裝體等IC器件、LCD(Liquid Crystal Display：液晶顯示器)、CIS(CMOS Image Sensor：CMOS圖像傳感器)等電子部件的電特性進(jìn)行檢查/試驗(yàn)(以下簡(jiǎn)稱為“檢查”)的裝置。此外，以下為了便于說(shuō)明，以使用IC器件作為進(jìn)行檢查的上述電子部件的情況為代表性來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，將其設(shè)為“IC器件90”。

第一實(shí)施方式

圖1A是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的示意俯視圖。圖1B是用于對(duì)圖1A的第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。圖2是圖1A所示的電子部件檢查裝置的框圖。

此外，在圖1A中，第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭由于與其他部件重疊，所以用雙點(diǎn)劃線來(lái)進(jìn)行記載。另外，為了便于對(duì)第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明，在圖1B中記載了第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭。

如圖1A所示，檢查裝置1被分為：托盤供給區(qū)域A1、器件供給區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“供給區(qū)域”)A2、檢查區(qū)域A3、器件回收區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“回收區(qū)域”)A4、以及托盤除去區(qū)域A5。上述各區(qū)域相互被未圖示的壁部、閘門等分隔。而且，供給區(qū)域A2成為由壁部、閘門等劃分的第一室R1，另外，檢查區(qū)域A3成為由壁部、閘門等劃分的第二室R2，另外，回收區(qū)域A4成為由壁部、閘門等劃分的第三室R3。另外，第一室R1(供給區(qū)域A2)、第二室R2(檢查區(qū)域A3)以及第三室R3(回收區(qū)域A4)分別構(gòu)成為能夠確保氣密性、隔熱性。由此，第一室R1、第二室R2以及第三室R3分別能夠盡可能地維持濕度、溫度。此外，第一室R1以及第二室R2內(nèi)分別被控制為規(guī)定的濕度以及規(guī)定的溫度。

IC器件90依次經(jīng)過(guò)從托盤供給區(qū)域A1到托盤除去區(qū)域A5的上述各區(qū)域，并在中途的檢查區(qū)域A3進(jìn)行檢查。這樣，檢查裝置1具備：在各區(qū)域內(nèi)對(duì)IC器件90進(jìn)行輸送并具有控制部80的電子部件輸送裝置；在檢查區(qū)域A3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16；以及未圖示的檢查控制部。此外，在檢查裝置1中，由除檢查部16以及檢查控制部之外的結(jié)構(gòu)構(gòu)成電子部件輸送裝置。

托盤供給區(qū)域A1是供給排列有未檢查狀態(tài)下的多個(gè)IC器件90的托盤200的區(qū)域。在托盤供給區(qū)域A1中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤200。

供給區(qū)域A2是將來(lái)自托盤供給區(qū)域A1的托盤200上的多個(gè)IC器件90分別供給至檢查區(qū)域A3的區(qū)域。此外，以橫跨托盤供給區(qū)域A1與供給區(qū)域A2的方式，設(shè)置有一個(gè)一個(gè)地輸送托盤200的第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、第二托盤輸送機(jī)構(gòu)11B。

在供給區(qū)域A2設(shè)置有：第一溫度調(diào)整部(第一均溫板)12a，其是供IC器件90載置的第一載置部；第二溫度調(diào)整部(第二均溫板)12b，其是供IC器件90載置的第二載置部；供給用器件輸送頭13；以及第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15。

第一溫度調(diào)整部12a是對(duì)多個(gè)IC器件90進(jìn)行冷卻而將該IC器件90的溫度調(diào)整(控制)為適合檢查(低溫檢查)的溫度(第一溫度)的裝置(溫度控制部件)。另外，第二溫度調(diào)整部12b是對(duì)多個(gè)IC器件90進(jìn)行加熱而將該IC器件90的溫度調(diào)整(控制)為適合檢查(高溫檢查)的溫度(第二溫度)的裝置(溫度控制部件)。第一溫度調(diào)整部12a與第二溫度調(diào)整部12b沿著Y方向配置并固定。而且，借助第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A從托盤供給區(qū)域A1搬入(輸送來(lái))的托盤200上的IC器件90被輸送并載置于第一溫度調(diào)整部12a或者第二溫度調(diào)整部12b。此外，上述第一溫度比上述第二溫度低(第一溫度與第二溫度不同)。

供給用器件輸送頭13被支承為能夠在供給區(qū)域A2內(nèi)沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，供給用器件輸送頭13能夠承擔(dān)：從托盤供給區(qū)域A1搬入的托盤200與第一溫度調(diào)整部12a或者第二溫度調(diào)整部12b之間的IC器件90的輸送、以及第一溫度調(diào)整部12a或者第二溫度調(diào)整部12b與后述的第一器件供給部14a或者第二器件供給部14b之間的IC器件90的輸送。此外，供給用器件輸送頭13具有多個(gè)手部單元131作為能夠?qū)C器件90進(jìn)行把持的把持部，各手部單元131與后述第一手部單元171a同樣地具備吸附噴嘴，并通過(guò)吸附來(lái)把持IC器件90。另外，在供給用器件輸送頭13的各手部單元131中，也可以構(gòu)成為能夠與第一溫度調(diào)整部12a、第二溫度調(diào)整部12b同樣地對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻或者加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整為適合檢查的溫度。

第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15是使除去了全部IC器件90的狀態(tài)下的空的托盤200沿X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200借助第二托盤輸送機(jī)構(gòu)11B而從供給區(qū)域A2返回到托盤供給區(qū)域A1。

檢查區(qū)域A3是對(duì)IC器件90進(jìn)行檢查的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有：第一器件供給部(第一電子部件載置部)(第一供給往復(fù)裝置)14a，其是能夠載置(配置)IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送(移動(dòng))的第一載置部；第二器件供給部(第二電子部件載置部)(第二供給往復(fù)裝置)14b，其是能夠載置(配置)IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送(移動(dòng))的第二載置部；檢查部16；第一檢查用器件輸送頭(第一電子部件把持部)17a；第二檢查用器件輸送頭(第二電子部件把持部)17b；第一器件回收部(第一回收往復(fù)裝置)18a，其是能夠載置IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送的載置部；以及第二器件回收部(第二回收往復(fù)裝置)18b，其是能夠載置IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送的載置部。

第一器件供給部14a以及第二器件供給部14b分別是將進(jìn)行了溫度調(diào)整(溫度控制)的檢查前的IC器件90輸送至檢查部16附近的裝置。

第一器件供給部14a以及第二器件供給部14b分別具有：載置(配置)IC器件90的配置板142；以及能夠沿X方向移動(dòng)的器件供給部主體141。在配置板142的上表面設(shè)置有多個(gè)兜部145，上述多個(gè)兜部145是收容(保持)IC器件90的凹部。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，兜部145沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。該配置板142以能夠拆裝的方式被設(shè)置于器件供給部主體141。第一器件供給部14a以及第二器件供給部14b分別被支承為能夠在供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間沿著X方向移動(dòng)。另外，第一器件供給部14a與第二器件供給部14b沿著Y方向配置，第一溫度調(diào)整部12a或者第二溫度調(diào)整部12b上的IC器件90被供給用器件輸送頭13輸送并載置于第一器件供給部14a或者第二器件供給部14b。此外，在第一器件供給部14a中，與第一溫度調(diào)整部12a同樣地對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻，從而能夠?qū)⒃揑C器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第一溫度)。另外，在第二器件供給部14b中，與第二溫度調(diào)整部12b同樣地對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱，從而能夠?qū)⒃揑C器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第二溫度)。

此外，由第一器件供給部14a以及第二器件供給部14b構(gòu)成電子部件載置部(供給往復(fù)裝置)。

檢查部16是對(duì)IC器件90的電特性進(jìn)行檢查/試驗(yàn)(進(jìn)行電檢查)的單元、即是在對(duì)IC器件90進(jìn)行檢查的情況下保持該IC器件90的部件。

檢查部16具有：保持IC器件90的保持部件162；以及支承保持部件162的檢查部主體161。保持部件162以能夠拆裝的方式被設(shè)置于檢查部主體161。

在檢查部16的保持部件162的上表面設(shè)置有多個(gè)保持部163，上述多個(gè)保持部163是收容(保持)IC器件90的凹部。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，保持部163沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。IC器件90被收容于保持部163，由此被配置(載置)于檢查部16。

另外，在與檢查部16的各保持部163對(duì)應(yīng)的位置上，分別設(shè)置有在將IC器件90保持于保持部163的狀態(tài)下與該IC器件90的端子電連接的探針。而且，使IC器件90的端子與探針電連接(接觸)，從而經(jīng)由探針進(jìn)行IC器件90的檢查。IC器件90的檢查基于程序來(lái)進(jìn)行，該程序被存儲(chǔ)于與檢查部16連接的未圖示的測(cè)試儀所具備的檢查控制部的存儲(chǔ)部。

另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖1A中下側(cè)的4個(gè)保持部163構(gòu)成第一溫度設(shè)定部166，該第一溫度設(shè)定部166與第一溫度調(diào)整部12a同樣地對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻，從而能夠?qū)⒃揑C器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第一溫度)。另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖1A中上側(cè)的4個(gè)保持部163構(gòu)成第二溫度設(shè)定部167，該第二溫度設(shè)定部167與第二溫度調(diào)整部12b同樣地對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱，從而能夠?qū)⒃揑C器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第二溫度)。

第一檢查用器件輸送頭17a以及第二檢查用器件輸送頭17b分別被支承為能夠在檢查區(qū)域A3內(nèi)沿Y方向以及Z方向移動(dòng)。另外，第一檢查用器件輸送頭17a與第二檢查用器件輸送頭17b沿著Y方向配置。第一檢查用器件輸送頭17a能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2搬入的第一器件供給部14a上的IC器件90輸送并載置在檢查部16上，另外，能夠?qū)z查部16上的IC器件90輸送并載置在第一器件回收部18a上。同樣地，第二檢查用器件輸送頭17b能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2搬入的第二器件供給部14b上的IC器件90輸送并載置在檢查部16上，另外，能夠?qū)z查部16上的IC器件90輸送并載置在第二器件回收部18b上。另外，在對(duì)IC器件90進(jìn)行檢查的情況下，第一檢查用器件輸送頭17a以及第二檢查用器件輸送頭17b分別朝向檢查部16按壓IC器件90，由此使IC器件90與檢查部16抵接。由此，如上所述，將IC器件90的端子與檢查部16的探針電連接。

如圖1B所示，第一檢查用器件輸送頭17a具有能夠把持IC器件90的多個(gè)第一手部單元(第一把持部)171a。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，第一手部單元171a沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。同樣地，第二檢查用器件輸送頭17b具有能夠把持IC器件90的多個(gè)第二手部單元(第二把持部)171b。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，第二手部單元171b沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。

各第一手部單元171a以及各第二手部單元171b的結(jié)構(gòu)相同，因此以下，代表性地對(duì)一個(gè)第一手部單元171a進(jìn)行說(shuō)明。第一手部單元171a具有：保持IC器件90的把持部件173；以及支承把持部件173的手部單元主體172。把持部件173以能夠拆裝的方式被設(shè)置于手部單元主體172。該第一手部單元171a具備吸附噴嘴，并通過(guò)吸附來(lái)把持IC器件90。

另外，在第一檢查用器件輸送頭17a的各第一手部單元171a中，分別與第一溫度調(diào)整部12a同樣地對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻，從而能夠?qū)C器件90調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第一溫度)。

另外，在第二檢查用器件輸送頭17b的各第二手部單元171b中，分別與第二溫度調(diào)整部12b同樣地對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱，從而能夠?qū)C器件90調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第二溫度)。

此外，由第一檢查用器件輸送頭17a以及第二檢查用器件輸送頭17b構(gòu)成電子部件把持部。

第一器件回收部18a以及第二器件回收部18b分別是將在檢查部16的檢查結(jié)束了的IC器件90輸送至回收區(qū)域A4的裝置。

第一器件回收部18a以及第二器件回收部18b分別具有：載置(配置)IC器件90的配置板182；以及能夠沿X方向移動(dòng)的器件回收部主體181。在配置板182的上表面設(shè)置有多個(gè)兜部185，上述多個(gè)兜部185是收容(保持)IC器件90的凹部。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，兜部185沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。該配置板182以能夠拆裝的方式被設(shè)置于器件回收部主體181。第一器件回收部18a以及第二器件回收部18b分別被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間沿著X方向移動(dòng)。另外，第一器件回收部18a與第二器件回收部18b沿著Y方向配置。檢查部16上的IC器件90被第一檢查用器件輸送頭17a輸送并載置于第一器件回收部18a，或者被第二檢查用器件輸送頭17b輸送并載置于第二器件回收部18b。

此外，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為第一器件回收部18a與第一器件供給部14a相互獨(dú)立地移動(dòng)，但并不限定于此，例如，也可以構(gòu)成為第一器件回收部18a與第一器件供給部14a連結(jié)或者一體化形成，從而第一器件回收部18a與第一器件供給部14a一體移動(dòng)。同樣地，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為第二器件回收部18b與第二器件供給部14b相互獨(dú)立地移動(dòng)，但并不限定于此，例如，也可以構(gòu)成為第二器件回收部18b與第二器件供給部14b連結(jié)或者一體化形成，從而第二器件回收部18b與第二器件供給部14b一體移動(dòng)。

回收區(qū)域A4是回收檢查結(jié)束了的IC器件90的區(qū)域。在該回收區(qū)域A4中設(shè)置有：回收用托盤19；回收用器件輸送頭20；以及第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21。另外，在回收區(qū)域A4也準(zhǔn)備有空的托盤200。

回收用托盤19固定在回收區(qū)域A4內(nèi)，并且在本實(shí)施方式中沿著X方向配置有3個(gè)。另外，空的托盤200也沿著X方向配置有3個(gè)。而且，移動(dòng)至回收區(qū)域A4的第一器件回收部18a或者第二器件回收部18b上的IC器件90被輸送并載置于上述回收用托盤19以及空的托盤200中的任一個(gè)。由此，根據(jù)檢查結(jié)果對(duì)IC器件90進(jìn)行回收和分類。

回收用器件輸送頭20被支承為能夠在回收區(qū)域A4內(nèi)沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，回收用器件輸送頭20能夠?qū)C器件90從第一器件回收部18a或者第二器件回收部18b輸送至回收用托盤19、空的托盤200。此外，回收用器件輸送頭20具有多個(gè)手部單元201作為能夠?qū)C器件90進(jìn)行把持的把持部，各手部單元201與上述第一手部單元171a同樣地具備吸附噴嘴，并通過(guò)吸附來(lái)把持IC器件90。

第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21是使從托盤除去區(qū)域A5搬入的空的托盤200沿X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200被配置于對(duì)IC器件90進(jìn)行回收的位置，即能夠成為上述3個(gè)空的托盤200中的任一個(gè)。

托盤除去區(qū)域A5是對(duì)排列有檢查完畢狀態(tài)下的多個(gè)IC器件90的托盤200進(jìn)行回收、除去的區(qū)域。在托盤除去區(qū)域A5中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤200。

另外，以橫跨回收區(qū)域A4與托盤除去區(qū)域A5的方式，設(shè)置有一個(gè)一個(gè)地輸送托盤200的第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B。第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A是將載置有檢查完畢的IC器件90的托盤200從回收區(qū)域A4輸送至托盤除去區(qū)域A5的機(jī)構(gòu)。第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B是將用于對(duì)IC器件90進(jìn)行回收的空的托盤200從托盤除去區(qū)域A5輸送至回收區(qū)域A4的機(jī)構(gòu)。

另外，上述測(cè)試儀的檢查控制部例如基于被存儲(chǔ)于未圖示的存儲(chǔ)部的程序，進(jìn)行被配置于檢查部16的IC器件90的電特性的(電)檢查等。

另外，如圖2所示，檢查裝置1具有：控制部80；與控制部80電連接并進(jìn)行檢查裝置1的各操作的操作部6；對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻的冷卻機(jī)構(gòu)41、42、43以及44；以及對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱的加熱機(jī)構(gòu)51、52、53以及54。

控制部80具有存儲(chǔ)各信息(數(shù)據(jù))的存儲(chǔ)部801等，例如對(duì)第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、第二托盤輸送機(jī)構(gòu)11B、第一溫度調(diào)整部12a、第二溫度調(diào)整部12b、供給用器件輸送頭13、第一器件供給部14a、第二器件供給部14b、第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15、第一檢查用器件輸送頭17a、第二檢查用器件輸送頭17b、第一器件回收部18a、第二器件回收部18b、回收用器件輸送頭20、第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21、第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B、顯示部62、冷卻機(jī)構(gòu)41～44、加熱機(jī)構(gòu)51～54等各部的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。

另外，操作部6具有：進(jìn)行各輸入的輸入部61；以及對(duì)圖像等各信息(數(shù)據(jù))進(jìn)行顯示的顯示部62。作為輸入部61，并沒(méi)有特別限定，例如可舉出鍵盤、鼠標(biāo)等。另外，作為顯示部62，并沒(méi)有特別限定，例如可舉出液晶顯示面板、有機(jī)EL顯示面板等。作業(yè)者(操作者)的操作部6的操作例如通過(guò)操作輸入部61，使光標(biāo)移動(dòng)至在顯示部62上顯示的各操作按鈕(圖標(biāo))的位置并進(jìn)行選擇(點(diǎn)擊)來(lái)實(shí)現(xiàn)。

此外，作為輸入部61，并不限定于上述的結(jié)構(gòu)，例如可舉出按鈕等機(jī)械式的操作按鈕等。另外，作為操作部6，并不限定于上述的結(jié)構(gòu)，例如可舉出觸摸面板等能夠進(jìn)行輸入以及信息的顯示的器件等。

另外，冷卻機(jī)構(gòu)41對(duì)第一溫度調(diào)整部12a進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一溫度調(diào)整部12a而對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。另外，冷卻機(jī)構(gòu)42對(duì)第一器件供給部14a進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一器件供給部14a對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。另外，冷卻機(jī)構(gòu)43對(duì)第一檢查用器件輸送頭17a進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一檢查用器件輸送頭17a對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。另外，冷卻機(jī)構(gòu)44對(duì)檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖1A中下側(cè)的4個(gè)保持部163、即對(duì)第一溫度設(shè)定部166進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一溫度設(shè)定部166對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。

作為冷卻機(jī)構(gòu)41～44，并沒(méi)有特別限定，例如可舉出使制冷劑(例如，由液氮?dú)饣傻牡獨(dú)獾鹊蜏氐臍怏w等)在冷卻對(duì)象物或者被配置于其附近的管體內(nèi)流動(dòng)來(lái)進(jìn)行冷卻的裝置、珀耳貼元件等。

另外，加熱機(jī)構(gòu)51對(duì)第二溫度調(diào)整部12b進(jìn)行加熱，并經(jīng)由該第二溫度調(diào)整部12b對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。另外，加熱機(jī)構(gòu)52對(duì)第二器件供給部14b進(jìn)行加熱，并經(jīng)由該第二器件供給部14b對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。另外，加熱機(jī)構(gòu)53對(duì)第二檢查用器件輸送頭17b進(jìn)行加熱，并經(jīng)由該第二檢查用器件輸送頭17b對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。另外，加熱機(jī)構(gòu)54對(duì)檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖1A中上側(cè)的4個(gè)保持部163、即對(duì)第二溫度設(shè)定部167進(jìn)行加熱，并經(jīng)由該第二溫度設(shè)定部167對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。

作為加熱機(jī)構(gòu)51～54，并沒(méi)有特別限定，例如例舉出具有電熱絲的加熱器等。

在這種檢查裝置1中，能夠并行地進(jìn)行將IC器件90冷卻至規(guī)定溫度來(lái)執(zhí)行的低溫檢查、和將IC器件90加熱至規(guī)定的溫度來(lái)執(zhí)行的高溫檢查的每一個(gè)。

在進(jìn)行低溫檢查的情況下，利用第一器件供給部14a邊輸送由第一溫度調(diào)整部12a冷卻后的IC器件90，邊對(duì)其進(jìn)行冷卻，接著，利用第一檢查用器件輸送頭17a的第一手部單元171a邊把持IC器件90，邊對(duì)其進(jìn)行冷卻。然后，利用第一檢查用器件輸送頭17a來(lái)輸送IC器件90，將IC器件90保持于檢查部16的第一溫度設(shè)定部166，并進(jìn)行低溫檢查。

另外，在進(jìn)行高溫檢查的情況下，利用第二器件供給部14b邊輸送由第二溫度調(diào)整部12b加熱后的IC器件90，邊對(duì)其進(jìn)行加熱，接著，利用第二檢查用器件輸送頭17b的第二手部單元171b邊把持IC器件90，邊對(duì)其進(jìn)行加熱。然后，利用第二檢查用器件輸送頭17b來(lái)輸送IC器件90，將IC器件90保持于檢查部16的第二溫度設(shè)定部167，并進(jìn)行高溫檢查。

此外，由第一器件供給部14a以及第一檢查用器件輸送頭17a等構(gòu)成第一輸送部，該第一輸送部能夠輸送IC器件90并將IC器件90調(diào)整為第一溫度。另外，由第二器件供給部14b以及第二檢查用器件輸送頭17b等構(gòu)成第二輸送部，該第二輸送部能夠輸送IC器件90并將IC器件90調(diào)整為第二溫度。

如以上說(shuō)明的那樣，根據(jù)該檢查裝置1，能夠進(jìn)行IC器件90的低溫檢查以及高溫檢查的每一個(gè)，從而便利性較高。

另外，能夠并行進(jìn)行低溫檢查與高溫檢查，因此能夠提高生產(chǎn)率。

第二實(shí)施方式

圖3～圖11分別是用于對(duì)本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

此外，在圖3～圖11中，第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭由于與其他部件重疊，所以用雙點(diǎn)劃線來(lái)進(jìn)行記載。

以下，對(duì)第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，但以與上述第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，省略相同的事項(xiàng)的說(shuō)明。

在第二實(shí)施方式的檢查裝置1中，針對(duì)IC器件90，首先進(jìn)行低溫檢查，接著進(jìn)行高溫檢查，之后將上述檢查結(jié)束了的IC器件90輸送(回收)至回收區(qū)域A4。因此，在進(jìn)行低溫檢查以及高溫檢查的情況下，能夠提高生產(chǎn)率。另外，由于IC器件90不是以低溫的狀態(tài)而是以高溫的狀態(tài)被輸送至回收區(qū)域A4，所以能夠防止IC器件90的結(jié)露。以下，對(duì)檢查裝置1的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

首先，如圖3所示，將IC器件90配置于第一器件供給部14a的圖3中上側(cè)的4個(gè)兜部145并對(duì)其進(jìn)行冷卻。此外，也可以將IC器件90配置于第一器件供給部14a的圖3中下側(cè)的4個(gè)兜部145。

接下來(lái)，如圖4所示，利用第一器件供給部14a邊冷卻IC器件90，邊將其輸送至與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置。

接下來(lái)，如圖5所示，利用第一檢查用器件輸送頭17a的第一手部單元171a來(lái)把持IC器件90，并對(duì)其進(jìn)行冷卻。

接下來(lái)，如圖6所示，利用第一檢查用器件輸送頭17a邊冷卻IC器件90，邊將其輸送至檢查部16的第一溫度設(shè)定部166，并進(jìn)行低溫檢查。

在該低溫檢查之后，進(jìn)行高溫檢查，但是，雖然可以對(duì)低溫檢查結(jié)束了的全部的IC器件90進(jìn)行高溫檢查，但優(yōu)選僅對(duì)低溫檢查中合格了的IC器件90進(jìn)行高溫檢查，對(duì)不合格的IC器件90不進(jìn)行高溫檢查。由此，能夠縮短高溫檢查所需要的時(shí)間。

接下來(lái)，如圖7所示，利用第二檢查用器件輸送頭17b的第二手部單元171b來(lái)把持IC器件90，并對(duì)其進(jìn)行加熱。此外，這里，也可以保持原樣地利用第一檢查用器件輸送頭17a的第一手部單元171a來(lái)把持IC器件90。另外，第二器件供給部14b移動(dòng)至與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置。

接下來(lái)，如圖8所示，利用第二檢查用器件輸送頭17b邊加熱IC器件90，邊將其輸送至與第二器件供給部14b對(duì)應(yīng)的位置，并配置于第二器件供給部14b的兜部145。然后，利用第二器件供給部14b將IC器件90加熱至規(guī)定的溫度。

接下來(lái)，如圖9所示，利用第二檢查用器件輸送頭17b的第二手部單元171b邊把持并加熱IC器件90，邊將其輸送至檢查部16的第二溫度設(shè)定部167，并進(jìn)行高溫檢查。另外，第二器件回收部18b移動(dòng)至與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置。

接下來(lái)，如圖10所示，利用第二檢查用器件輸送頭17b將IC器件90輸送至與第二器件回收部18b對(duì)應(yīng)的位置，并配置于第二器件回收部18b的兜部185。然后，如圖11所示，利用第二器件回收部18b將IC器件90輸送至回收區(qū)域A4。此外，該IC器件90的朝向回收區(qū)域A4的輸送也可以由第一器件回收部18a進(jìn)行。

如以上說(shuō)明的那樣，根據(jù)該檢查裝置1，能夠進(jìn)行IC器件90的低溫檢查以及高溫檢查的每一個(gè)，從而便利性較高。

另外，對(duì)于一個(gè)IC器件90，在進(jìn)行低溫檢查以及高溫檢查的情況下，能夠不暫時(shí)回收IC器件90而進(jìn)行其低溫檢查以及高溫檢查，由此能夠提高生產(chǎn)率。

第三實(shí)施方式

圖12A～圖19分別是用于對(duì)本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

此外，在圖12A～圖19中，第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭由于與其他部件重疊，所以用雙點(diǎn)劃線進(jìn)行記載。另外，為了便于對(duì)圖12A中的第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明，在圖12B中記載了第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭。

以下，對(duì)第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，但以與上述第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，省略相同的事項(xiàng)的說(shuō)明。

如圖12A以及圖12B所示，在第三實(shí)施方式的檢查裝置1中，第一檢查用器件輸送頭17a的8個(gè)第一手部單元171a中的、圖12A以及圖12B中下側(cè)的4個(gè)第一手部單元171a構(gòu)成器件輸送頭第一溫度設(shè)定部(第一電子部件把持部溫度設(shè)定部)176，該器件輸送頭第一溫度設(shè)定部176能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第一溫度)。另外，第一檢查用器件輸送頭17a的8個(gè)第一手部單元171a中的、圖12A以及圖12B中上側(cè)的4個(gè)第一手部單元171a構(gòu)成器件輸送頭第二溫度設(shè)定部(第二電子部件把持部溫度設(shè)定部)177，該器件輸送頭第二溫度設(shè)定部177能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第二溫度)。

同樣地，第二檢查用器件輸送頭17b的8個(gè)第二手部單元171b中的、圖12A以及圖12B中下側(cè)的4個(gè)第二手部單元171b構(gòu)成器件輸送頭第一溫度設(shè)定部(第一電子部件把持部溫度設(shè)定部)176，該器件輸送頭第一溫度設(shè)定部176能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第一溫度)。另外，第二檢查用器件輸送頭17b的8個(gè)第二手部單元171b中的、圖12A以及圖12B中上側(cè)的4個(gè)第二手部單元171b構(gòu)成器件輸送頭第二溫度設(shè)定部(第二電子部件把持部溫度設(shè)定部)177，該器件輸送頭第二溫度設(shè)定部177能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第二溫度)。

另外，第一器件供給部14a的8個(gè)兜部145中的、圖12A以及圖12B中下側(cè)的4個(gè)兜部145構(gòu)成器件供給部第一溫度設(shè)定部(第一電子部件載置部溫度設(shè)定部)146，該器件供給部第一溫度設(shè)定部146能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而能夠?qū)⒃揑C器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第一溫度)。另外，第一器件供給部14a的8個(gè)兜部145中的、圖12A以及圖12B中上側(cè)的4個(gè)兜部145構(gòu)成器件供給部第二溫度設(shè)定部(第二電子部件載置部溫度設(shè)定部)147，該器件供給部第二溫度設(shè)定部147能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第二溫度)。

同樣地，第二器件供給部14b的8個(gè)兜部145中的、圖12A以及圖12B中下側(cè)的4個(gè)兜部145構(gòu)成器件供給部第一溫度設(shè)定部(第一電子部件載置部溫度設(shè)定部)146，該器件供給部第一溫度設(shè)定部146能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第一溫度)。另外，第二器件供給部14b的8個(gè)兜部145中的、圖12A以及圖12B中上側(cè)的4個(gè)兜部145構(gòu)成器件供給部第二溫度設(shè)定部(第二電子部件載置部溫度設(shè)定部)147，該器件供給部第二溫度設(shè)定部147能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度(第二溫度)。

此外，由器件供給部第一溫度設(shè)定部146以及器件輸送頭第一溫度設(shè)定部176等構(gòu)成第一輸送部，該第一輸送部能夠輸送IC器件90并將IC器件90設(shè)定為第一溫度。另外，由器件供給部第二溫度設(shè)定部147以及器件輸送頭第二溫度設(shè)定部177等構(gòu)成第二輸送部，該第二輸送部能夠輸送IC器件90并將IC器件90設(shè)定為第二溫度。

在該檢查裝置1中，針對(duì)IC器件90，首先進(jìn)行低溫檢查，接著進(jìn)行高溫檢查，之后將上述檢查結(jié)束了的IC器件90輸送(回收)至回收區(qū)域A4。因此，在進(jìn)行低溫檢查以及高溫檢查的情況下，能夠提高生產(chǎn)率。另外，由于IC器件90不是以低溫的狀態(tài)而是以高溫的狀態(tài)被輸送至回收區(qū)域A4，所以能夠防止IC器件90的結(jié)露。以下，對(duì)檢查裝置1的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明，但是這里，代表性地對(duì)利用第一器件供給部14a以及第一檢查用器件輸送頭17a來(lái)進(jìn)行上述低溫檢查以及高溫檢查中的IC器件90的輸送等的情況進(jìn)行說(shuō)明。

首先，如圖12A以及圖12B所示，將IC器件90配置于第一器件供給部14a的器件供給部第一溫度設(shè)定部146，并對(duì)其進(jìn)行冷卻。

接下來(lái)，如圖13所示，利用第一器件供給部14a邊冷卻IC器件90，邊將其輸送至與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置。

接下來(lái)，如圖14所示，利用第一檢查用器件輸送頭17a的器件輸送頭第一溫度設(shè)定部176邊把持并冷卻IC器件90，邊將其輸送至檢查部16的第一溫度設(shè)定部166，并進(jìn)行低溫檢查。

在該低溫檢查之后，進(jìn)行高溫檢查，但是，雖然可以對(duì)低溫檢查結(jié)束了的全部IC器件90進(jìn)行高溫檢查，但優(yōu)選僅對(duì)低溫檢查中合格了的IC器件90進(jìn)行高溫檢查，對(duì)不合格的IC器件90不進(jìn)行高溫檢查。由此，能夠縮短高溫檢查所需要的時(shí)間。

接下來(lái)，如圖15所示，利用第一檢查用器件輸送頭17a將IC器件90輸送至與第一器件供給部14a對(duì)應(yīng)的位置，并配置于第一器件供給部14a的器件供給部第二溫度設(shè)定部147。然后，利用器件供給部第二溫度設(shè)定部147將IC器件90加熱至規(guī)定的溫度。此外，也可以省略由該器件供給部第二溫度設(shè)定部147進(jìn)行的IC器件90的加熱，而僅利用后述第一檢查用器件輸送頭17a的器件輸送頭第二溫度設(shè)定部177對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。

接下來(lái)，如圖16所示，利用第一檢查用器件輸送頭17a的器件輸送頭第二溫度設(shè)定部177來(lái)把持并加熱IC器件90，同時(shí)如圖17所示，將該IC器件90輸送至檢查部16的第二溫度設(shè)定部167，并進(jìn)行高溫檢查。另外，第一器件回收部18a移動(dòng)至與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置。

接下來(lái)，如圖18所示，利用第一檢查用器件輸送頭17a將IC器件90輸送至與第一器件回收部18a對(duì)應(yīng)的位置，并配置于第一器件回收部18a的兜部185。然后，如圖19所示，利用第一器件回收部18a將IC器件90輸送至回收區(qū)域A4。

以上，對(duì)利用第一器件供給部14a以及第一檢查用器件輸送頭17a來(lái)進(jìn)行低溫檢查以及高溫檢查中的IC器件90的輸送等的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但也能夠利用第二器件供給部14b以及第二檢查用器件輸送頭17b來(lái)同樣地進(jìn)行低溫檢查以及高溫檢查中的IC器件90的輸送等。

另外，也能夠并行地進(jìn)行：利用第一器件供給部14a以及第一檢查用器件輸送頭17a來(lái)輸送IC器件90從而執(zhí)行的低溫檢查以及高溫檢查、以及利用第二器件供給部14b以及第二檢查用器件輸送頭17b來(lái)輸送IC器件90從而執(zhí)行的低溫檢查以及高溫檢查。由此，能夠提高生產(chǎn)率。

如以上說(shuō)明的那樣，根據(jù)該檢查裝置1，能夠進(jìn)行IC器件90的低溫檢查以及高溫檢查的每一個(gè)，從而便利性較高。

另外，對(duì)于一個(gè)IC器件90，在進(jìn)行低溫檢查以及高溫檢查的情況下，能夠不暫時(shí)回收IC器件90而進(jìn)行其低溫檢查以及高溫檢查，由此能夠提高生產(chǎn)率。

此外，在上述第二、第三實(shí)施方式中，先進(jìn)行低溫檢查，后進(jìn)行高溫檢查，但在本發(fā)明中并不限定于此，也可以先進(jìn)行高溫檢查，后進(jìn)行低溫檢查。

第四實(shí)施方式

圖20A是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第四實(shí)施方式的示意俯視圖。圖20B是用于對(duì)圖20A的第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。圖21是圖20A所示的電子部件檢查裝置的框圖。圖22～圖48分別是用于對(duì)圖20A所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的圖。

此外，在圖20A中，第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭由于與其他部件重疊，所以用雙點(diǎn)劃線進(jìn)行記載(對(duì)于圖22A～圖48也是同樣的)。另外，在圖20A中，為了便于對(duì)第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭進(jìn)行說(shuō)明，從而在圖20B中記載了第一檢查用器件輸送頭以及第二檢查用器件輸送頭(對(duì)于圖22A，也同樣在圖22B中進(jìn)行了記載)。

另外，在圖22A～圖48中，僅記載了電子部件檢查裝置的動(dòng)作的說(shuō)明所需的部件。

另外，檢查裝置1c構(gòu)成為能夠進(jìn)行：將IC器件90冷卻至規(guī)定溫度(第一溫度)來(lái)執(zhí)行的低溫檢查、將IC器件90加熱至規(guī)定溫度(第三溫度)來(lái)執(zhí)行的高溫檢查、以及在常溫(第二溫度)下執(zhí)行的常溫檢查。此外，上述第一溫度比上述第二溫度低，上述第二溫度比上述第三溫度低。

如圖20A以及圖20B所示，檢查裝置1c被分為：托盤供給區(qū)域A1、器件供給區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“供給區(qū)域”)A2、檢查區(qū)域A3、器件回收區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“回收區(qū)域”)A4、以及托盤除去區(qū)域A5。上述各區(qū)域相互被未圖示的壁部、閘門等分隔。而且，供給區(qū)域A2成為由壁部、閘門等劃分的第一室R1，另外，檢查區(qū)域A3成為由壁部、閘門等劃分的第二室R2，另外，回收區(qū)域A4成為由壁部、閘門等劃分的第三室R3。另外，第一室R1(供給區(qū)域A2)、第二室R2(檢查區(qū)域A3)以及第三室R3(回收區(qū)域A4)分別構(gòu)成為能夠確保氣密性、隔熱性。由此，第一室R1、第二室R2以及第三室R3分別能夠盡可能地維持濕度、溫度。此外，第一室R1以及第二室R2內(nèi)分別被控制為規(guī)定的濕度以及規(guī)定的溫度。

IC器件90依次經(jīng)過(guò)從托盤供給區(qū)域A1到托盤除去區(qū)域A5的上述各區(qū)域，并在中途的檢查區(qū)域A3進(jìn)行檢查。這樣，檢查裝置1c具備：在各區(qū)域?qū)C器件90進(jìn)行輸送并具有控制部80的電子部件輸送裝置；在檢查區(qū)域A3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16、以及未圖示的檢查控制部。此外，在檢查裝置1c中，由除檢查部16以及檢查控制部之外的結(jié)構(gòu)構(gòu)成電子部件輸送裝置。

托盤供給區(qū)域A1是供給排列有未檢查狀態(tài)下的多個(gè)IC器件90的托盤200的區(qū)域。在托盤供給區(qū)域A1中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤200。

供給區(qū)域A2是將來(lái)自托盤供給區(qū)域A1的托盤200上的多個(gè)IC器件90分別供給至檢查區(qū)域A3的區(qū)域。此外，以橫跨托盤供給區(qū)域A1與供給區(qū)域A2的方式，設(shè)置有一個(gè)一個(gè)地輸送托盤200的第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、第二托盤輸送機(jī)構(gòu)11B。

在供給區(qū)域A2設(shè)置有：第一溫度調(diào)整部(第一均溫板)12c，其是供IC器件90載置的第一載置部；第二溫度調(diào)整部(第二均溫板)12d，其是供IC器件90載置的第二載置部；供給用器件輸送頭13；以及第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15。

第一溫度調(diào)整部12c以及第二溫度調(diào)整部12d分別是對(duì)多個(gè)IC器件90進(jìn)行冷卻或者加熱而將該IC器件90的溫度調(diào)整(控制)為適合檢查的溫度的裝置(溫度控制部件)。第一溫度調(diào)整部12c與第二溫度調(diào)整部12d沿著Y方向配置并固定。而且，借助第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A從托盤供給區(qū)域A1搬入(輸送來(lái))的托盤200上的IC器件90被輸送并載置于第一溫度調(diào)整部12c或者第二溫度調(diào)整部12d。此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)分別將第一溫度調(diào)整部12c以及第二溫度調(diào)整部12d應(yīng)用于冷卻IC器件90的裝置的情況進(jìn)行說(shuō)明。

供給用器件輸送頭13被支承為能夠在供給區(qū)域A2內(nèi)沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，供給用器件輸送頭13能夠承擔(dān)：從托盤供給區(qū)域A1搬入的托盤200與第一溫度調(diào)整部12c或者第二溫度調(diào)整部12d之間的IC器件90的輸送、以及第一溫度調(diào)整部12c或者第二溫度調(diào)整部12d與后述的第一器件供給部14c或者第二器件供給部14d之間的IC器件90的輸送。此外，供給用器件輸送頭13具有多個(gè)手部單元131作為能夠?qū)C器件90進(jìn)行把持的臂(把持部)，各手部單元131與后述的第一手部單元171c同樣地具備吸附噴嘴，并通過(guò)吸附來(lái)把持IC器件90。另外，在供給用器件輸送頭13的各手部單元131中，也可以構(gòu)成為能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻或者加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整為適合檢查的溫度。

第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15是使除去了全部IC器件90的狀態(tài)下的空的托盤200沿X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200借助第二托盤輸送機(jī)構(gòu)11B而從供給區(qū)域A2返回到托盤供給區(qū)域A1。

檢查區(qū)域A3是對(duì)IC器件90進(jìn)行檢查的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有：第一器件供給部(第一往復(fù)裝置)(第一供給往復(fù)裝置)14c，其是能夠載置(配置)IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送(移動(dòng))的第一電子部件載置部(電子部件載置部)；第二器件供給部(第二往復(fù)裝置)(第二供給往復(fù)裝置)14d，其是能夠載置(配置)IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送(移動(dòng))的第二電子部件載置部(電子部件載置部)；檢查部16；第一檢查用器件輸送頭(第一臂)17c，其是第一電子部件把持部(電子部件把持部)；第二檢查用器件輸送頭(第二臂)17d，其是第二電子部件把持部(電子部件把持部)；第一器件回收部(第一回收往復(fù)裝置)18c，其是能夠載置IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送的載置部；以及第二器件回收部(第二回收往復(fù)裝置)18d，其是能夠載置IC器件90而對(duì)其進(jìn)行輸送的載置部。

第一器件供給部14c以及第二器件供給部14d分別是將檢查前的IC器件90輸送至檢查部16附近的裝置。

第一器件供給部14c以及第二器件供給部14d分別具有：載置(配置)IC器件90的配置板142；以及能夠沿X方向移動(dòng)的器件供給部主體141。在配置板142的上表面設(shè)置有多個(gè)兜部145，上述多個(gè)兜部145是收容(保持)IC器件90的凹部。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，兜部145沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。該配置板142以能夠拆裝的方式被設(shè)置于器件供給部主體141。第一器件供給部14c以及第二器件供給部14d分別被支承為能夠在供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間沿著X方向移動(dòng)。另外，第一器件供給部14c與第二器件供給部14d沿著Y方向配置，第一溫度調(diào)整部12c或者第二溫度調(diào)整部12d上的IC器件90被供給用器件輸送頭13輸送并被載置于第一器件供給部14c或者第二器件供給部14d。

這里，如圖22A所示，第一器件供給部14c的8個(gè)兜部145中的、圖22A中左側(cè)的2個(gè)兜部145是第一載置部261，圖22A中左起第二組的2個(gè)兜部145是第二載置部262，圖22A中左起第三組的2個(gè)兜部145是第三載置部263，圖22A中右側(cè)的2個(gè)兜部145是第四載置部264。該第一載置部261、第二載置部262、第三載置部263、以及第四載置部264沿X方向排列。對(duì)于第二器件供給部14d也是同樣的。

此外，在第一器件供給部14c以及第二器件供給部14d中，也可以構(gòu)成為能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻或者加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合檢查的溫度。

在該情況下，例如，第一器件供給部14c的第一載置部261構(gòu)成器件供給部第一溫度設(shè)定部，該器件供給部第一溫度設(shè)定部能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合低溫檢查的溫度(第一溫度)。

另外，第二載置部262構(gòu)成器件供給部第二溫度設(shè)定部，該器件供給部第二溫度設(shè)定部不對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻和加熱的任一種，而使該IC器件90的溫度(能夠設(shè)定)為適合常溫檢查的溫度(第二溫度)。此外，第二載置部262例如也可以構(gòu)成為能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻以及加熱，并能夠通過(guò)該冷卻、加熱將IC器件90的溫度調(diào)整為適合常溫檢查的溫度。

另外，第三載置部263構(gòu)成器件供給部第三溫度設(shè)定部，該器件供給部第三溫度設(shè)定部能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合高溫檢查的溫度(第三溫度)。另外，第一器件供給部14C的8個(gè)載置部中的、圖22A中右側(cè)的2個(gè)第四載置部264在本實(shí)施方式中未被使用，但也能夠形成使用它們的結(jié)構(gòu)。

檢查部16是對(duì)IC器件90的電特性進(jìn)行檢查/試驗(yàn)(進(jìn)行電檢查)的單元、即是在對(duì)IC器件90進(jìn)行檢查的情況下保持該IC器件90的部件。

如圖20A所示，檢查部16具有：保持IC器件90的保持部件162；以及支承保持部件162的檢查部主體161。保持部件162以能夠拆裝的方式被設(shè)置于檢查部主體161。

在檢查部16的保持部件162的上表面設(shè)置有多個(gè)保持部163，上述多個(gè)保持部163是收容(保持)IC器件90的凹部。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，保持部163沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。IC器件90被收容于保持部163，由此被配置(載置)于檢查部16。

另外，在與檢查部16的各保持部163對(duì)應(yīng)的位置上，分別設(shè)置有在將IC器件90保持于保持部163的狀態(tài)下與該IC器件90的端子電連接的探針。而且，使IC器件90的端子與探針電連接(接觸)，從而經(jīng)由探針進(jìn)行IC器件90的檢查。IC器件90的檢查基于程序來(lái)進(jìn)行，該程序被存儲(chǔ)于與檢查部16連接的未圖示的測(cè)試儀所具備的檢查控制部的存儲(chǔ)部。

另外，如圖22A所示，檢查部16的8個(gè)保持部163中的、圖22A中左側(cè)的2個(gè)保持部163構(gòu)成第一溫度設(shè)定部166，該第一溫度設(shè)定部166能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合低溫檢查的溫度(第一溫度)。

另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的、圖22A中左起第二組的2個(gè)保持部163構(gòu)成第二溫度設(shè)定部167，該第二溫度設(shè)定部167不對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻和加熱的任一種，而使該IC器件90的溫度(能夠設(shè)定)為適合常溫檢查的溫度(第二溫度)。此外，第二溫度設(shè)定部167例如也可以構(gòu)成為能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻以及加熱，并能夠通過(guò)該冷卻、加熱將IC器件90的溫度調(diào)整為適合常溫檢查的溫度。

另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的、圖22A中左起第三組的2個(gè)保持部163構(gòu)成第三溫度設(shè)定部168，該第三溫度設(shè)定部168能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合高溫檢查的溫度(第三溫度)。

另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的、圖22A中右側(cè)的2個(gè)保持部163在本實(shí)施方式中未被使用，但也能夠形成使用它們的構(gòu)成。

如圖20A以及圖20B所示，第一檢查用器件輸送頭17c以及第二檢查用器件輸送頭17d分別被支承為能夠在檢查區(qū)域A3內(nèi)沿Y方向以及Z方向移動(dòng)。另外，第一檢查用器件輸送頭17c與第二檢查用器件輸送頭17d沿著Y方向配置。第一檢查用器件輸送頭17c能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2搬入的第一器件供給部14c上的IC器件90輸送并載置在檢查部16上，另外，能夠?qū)z查部16上的IC器件90輸送并載置在第一器件回收部18c上。同樣地，第二檢查用器件輸送頭17d能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2搬入的第二器件供給部14d上的IC器件90輸送并載置在檢查部16上，另外，能夠?qū)z查部16上的IC器件90輸送并載置在第二器件回收部18d上。另外，在對(duì)IC器件90進(jìn)行檢查的情況下，第一檢查用器件輸送頭17c以及第二檢查用器件輸送頭17d分別朝向檢查部16按壓IC器件90，由此使IC器件90與檢查部16抵接。由此，如上所述，將IC器件90的端子與檢查部16的探針電連接。

第一檢查用器件輸送頭17c具有能夠?qū)C器件90進(jìn)行把持的多個(gè)第一手部單元171c。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，第一手部單元171c沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。同樣地，第二檢查用器件輸送頭17d具有能夠?qū)C器件90進(jìn)行把持的多個(gè)第二手部單元171d。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，第二手部單元171d沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。

各第一手部單元171c以及各第二手部單元171d的結(jié)構(gòu)相同，因此以下，代表性地對(duì)一個(gè)第一手部單元171c進(jìn)行說(shuō)明。如圖22B所示，第一手部單元171c具有：保持IC器件90的把持部件173；以及支承把持部件173的手部單元主體172。把持部件173以能夠拆裝的方式被設(shè)置于手部單元主體172。該第一手部單元171c具備吸附噴嘴，并通過(guò)吸附來(lái)把持IC器件90。

另外，如圖22B所示，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖22B中左側(cè)的2個(gè)第一手部單元171c是第一把持部271，并構(gòu)成手部單元第一溫度設(shè)定部(第一臂溫度設(shè)定部)176c，該手部單元第一溫度設(shè)定部176c能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合低溫檢查的溫度(第一溫度)。

另外，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖22B中左起第二組的2個(gè)第一手部單元171c構(gòu)成手部單元第二溫度設(shè)定部177c，該手部單元第二溫度設(shè)定部177c是第二把持部272，其不對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻和加熱的任一種，而使該IC器件90的溫度(能夠設(shè)定)為適合常溫檢查的溫度(第二溫度)。此外，第二把持部272(手部單元第二溫度設(shè)定部177c)例如也可以構(gòu)成為能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻以及加熱，并能夠通過(guò)該冷卻、加熱將IC器件90的溫度調(diào)整為適合常溫檢查的溫度。

另外，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖22B中左起第三組的2個(gè)第一手部單元171c是第三把持部273，并構(gòu)成手部單元第三溫度設(shè)定部(第三臂溫度設(shè)定部)178c，該手部單元第三溫度設(shè)定部178c能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合高溫檢查的溫度(第三溫度)。

另外，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖22B中右側(cè)的2個(gè)第一手部單元171c是第四把持部274，其在本實(shí)施方式中未被使用，但也能夠形成使用它們的結(jié)構(gòu)。

上述第一把持部271、第二把持部272、第三把持部273、以及第四把持部274沿X方向排列。

對(duì)于第二檢查用器件輸送頭17d也是同樣的。

此外，在圖23～圖38中，若用“○”來(lái)記載第一把持部271，則與其他部件重疊而變得難以看到，因此使用與手部單元第一溫度設(shè)定部176c共用的雙點(diǎn)劃線來(lái)進(jìn)行記載。對(duì)于第二把持部272、第三把持部273以及第四把持部274也是同樣的。

如圖20A所示，第一器件回收部18c以及第二器件回收部18d分別是將在檢查部16的檢查結(jié)束了的IC器件90輸送至回收區(qū)域A4的裝置。

第一器件回收部18c以及第二器件回收部18d分別具有：載置(配置)IC器件90的配置板182；以及能夠沿X方向移動(dòng)的器件回收部主體181。在配置板182的上表面設(shè)置有多個(gè)兜部185，上述多個(gè)兜部185是收容(保持)IC器件90的凹部。此外，在圖示的結(jié)構(gòu)中，兜部185沿X方向排列有4個(gè)，沿Y方向排列有2個(gè)，合計(jì)以矩陣狀排列有8個(gè)。該配置板182以能夠拆裝的方式被設(shè)置于器件回收部主體181。第一器件回收部18c以及第二器件回收部18d分別被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間沿著X方向移動(dòng)。另外，第一器件回收部18c與第二器件回收部18d沿著Y方向配置。檢查部16上的IC器件90被第一檢查用器件輸送頭17c輸送并載置于第一器件回收部18c，或者被第二檢查用器件輸送頭17d輸送并載置于第二器件回收部18d。

此外，在圖20A中，為了容易判別第一器件回收部18c與第一器件供給部14c，以使它們相互獨(dú)立的方式進(jìn)行圖示，但可以構(gòu)成為第一器件回收部18c與第一器件供給部14c如該圖示那樣相互獨(dú)立地移動(dòng)，另外，還可以構(gòu)成為第一器件回收部18c與第一器件供給部14c連結(jié)或者一體化形成，從而第一器件回收部18c與第一器件供給部14c一體移動(dòng)。對(duì)于第二器件回收部18d與第二器件供給部14d也是同樣的。

回收區(qū)域A4是回收檢查結(jié)束了的IC器件90的區(qū)域。在該回收區(qū)域A4設(shè)置有：回收用托盤19；回收用器件輸送頭20；以及第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21。另外，在回收區(qū)域A4也準(zhǔn)備有空的托盤200。

回收用托盤19被固定在回收區(qū)域A4內(nèi)，并且在本實(shí)施方式中沿著X方向配置有3個(gè)。另外，空的托盤200也沿著X方向配置有3個(gè)。而且，移動(dòng)至回收區(qū)域A4的第一器件回收部18c或者第二器件回收部18d上的IC器件90被輸送并載置于上述回收用托盤19以及空的托盤200中的任一個(gè)。由此，根據(jù)檢查結(jié)果對(duì)IC器件90進(jìn)行回收和分類。

回收用器件輸送頭20被支承為能夠在回收區(qū)域A4內(nèi)沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，回收用器件輸送頭20能夠?qū)C器件90從第一器件回收部18c或者第二器件回收部18d輸送至回收用托盤19、空的托盤200。此外，回收用器件輸送頭20具有多個(gè)手部單元201作為能夠?qū)C器件90進(jìn)行把持的臂(把持部)，各手部單元201與上述第一手部單元171c同樣地具備吸附噴嘴，并通過(guò)吸附來(lái)把持IC器件90。

第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21是使從托盤除去區(qū)域A5搬入的空的托盤200沿X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200被配置于對(duì)IC器件90進(jìn)行回收的位置，即能夠成為上述3個(gè)空的托盤200中的任一個(gè)。

托盤除去區(qū)域A5是對(duì)排列有檢查完畢狀態(tài)下的多個(gè)IC器件90的托盤200進(jìn)行回收、除去的區(qū)域。在托盤除去區(qū)域A5中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤200。

另外，以橫跨回收區(qū)域A4與托盤除去區(qū)域A5的方式，設(shè)置有一個(gè)一個(gè)地輸送托盤200的第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B。第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A是將載置有檢查完畢的IC器件90的托盤200從回收區(qū)域A4輸送至托盤除去區(qū)域A5的機(jī)構(gòu)。第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B是將用于對(duì)IC器件90進(jìn)行回收的空的托盤200從托盤除去區(qū)域A5輸送至回收區(qū)域A4的機(jī)構(gòu)。

另外，上述測(cè)試儀的檢查控制部例如基于被存儲(chǔ)于未圖示的存儲(chǔ)部的程序，進(jìn)行被配置于檢查部16的IC器件90的電特性的(電)檢查等。

另外，如圖21所示，檢查裝置1c具有：控制部80；與控制部80電連接并進(jìn)行檢查裝置1c的各操作的操作部6；對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻的冷卻機(jī)構(gòu)41、42、43、44以及45；以及對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱的加熱機(jī)構(gòu)51、52以及53。

控制部80具有存儲(chǔ)各信息(數(shù)據(jù))的存儲(chǔ)部801等，并例如對(duì)第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、第二托盤輸送機(jī)構(gòu)11B、第一溫度調(diào)整部12c、第二溫度調(diào)整部12d、供給用器件輸送頭13、第一器件供給部14c、第二器件供給部14d、第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15、第一檢查用器件輸送頭17c、第二檢查用器件輸送頭17d、第一器件回收部18c、第二器件回收部18d、回收用器件輸送頭20、第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21、第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B、顯示部62、冷卻機(jī)構(gòu)41～45、加熱機(jī)構(gòu)51～53等各部的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。

另外，操作部6具有：進(jìn)行各輸入的輸入部61；以及對(duì)圖像等各信息(數(shù)據(jù))進(jìn)行顯示的顯示部62。作為輸入部61，并沒(méi)有特別限定，例如可舉出鍵盤、鼠標(biāo)等。另外，作為顯示部62，并沒(méi)有特別限定，例如可舉出液晶顯示面板、有機(jī)EL顯示面板等。作業(yè)者(操作者)的操作部6的操作例如通過(guò)操作輸入部61，使光標(biāo)移動(dòng)至在顯示部62上顯示的各操作按鈕(圖標(biāo))的位置并進(jìn)行選擇(點(diǎn)擊)來(lái)實(shí)現(xiàn)。

此外，作為輸入部61，并不限定于上述的結(jié)構(gòu)，例如可舉出按鈕等機(jī)械式的操作按鈕等。另外，作為操作部6，并不限定于上述的結(jié)構(gòu)，例如可舉出觸摸面板等能夠進(jìn)行輸入以及信息的顯示的器件等。

另外，冷卻機(jī)構(gòu)41對(duì)第一溫度調(diào)整部12c進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一溫度調(diào)整部12c而對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。另外，冷卻機(jī)構(gòu)42對(duì)第二溫度調(diào)整部12d進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第二溫度調(diào)整部12d對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。另外，冷卻機(jī)構(gòu)43對(duì)第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271(手部單元第一溫度設(shè)定部176c)進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一把持部271對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。另外，冷卻機(jī)構(gòu)44對(duì)第二檢查用器件輸送頭17d的第一把持部271(手部單元第一溫度設(shè)定部176c)進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一把持部271對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。另外，冷卻機(jī)構(gòu)45對(duì)檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖22A中左側(cè)的2個(gè)保持部163、即對(duì)第一溫度設(shè)定部166進(jìn)行冷卻，并經(jīng)由該第一溫度設(shè)定部166對(duì)IC器件90進(jìn)行冷卻。

作為冷卻機(jī)構(gòu)41～45，并沒(méi)有特別限定，例如可舉出使制冷劑(例如，由液氮?dú)饣傻牡獨(dú)獾鹊蜏氐臍怏w等)在冷卻對(duì)象物或者被配置于其附近的管體內(nèi)流動(dòng)來(lái)進(jìn)行冷卻的裝置、珀耳貼元件等。

另外，加熱機(jī)構(gòu)51對(duì)第一檢查用器件輸送頭17c的第三把持部273(手部單元第三溫度設(shè)定部178c)進(jìn)行加熱，并經(jīng)由該第三把持部273對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。另外，加熱機(jī)構(gòu)52對(duì)第二檢查用器件輸送頭17d的第三把持部273(手部單元第三溫度設(shè)定部178c)進(jìn)行加熱，并經(jīng)由該第三把持部273對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。另外，加熱機(jī)構(gòu)53對(duì)檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖22A中左起第三組的2個(gè)保持部163、即對(duì)第三溫度設(shè)定部168進(jìn)行加熱，并經(jīng)由該第三溫度設(shè)定部168對(duì)IC器件90進(jìn)行加熱。

作為加熱機(jī)構(gòu)51～53，并沒(méi)有特別限定，例如可舉出具有電熱絲的加熱器等。

接下來(lái)，對(duì)檢查裝置1c的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明，但是這里，代表性地對(duì)利用第一器件供給部14c、第一檢查用器件輸送頭17c以及第一器件回收部18c來(lái)進(jìn)行IC器件90的輸送等的情況進(jìn)行說(shuō)明。

此外，所檢查的IC器件90通過(guò)第一器件供給部14c以及第一檢查用器件輸送頭17c而被依次被輸送至檢查部16，但是這里，將最初(第一個(gè))被檢查(輸送)的IC器件90稱為“第一個(gè)IC器件901”或者“IC器件901”，將第二個(gè)被檢查的IC器件90稱為“第二個(gè)IC器件902”或者“IC器件902”，將第三個(gè)被檢查的IC器件90稱為“第三個(gè)IC器件903”或者“IC器件903”，將第四個(gè)被檢查的IC器件90稱為“第四個(gè)IC器件904”或者“IC器件904”，將第五個(gè)被檢查的IC器件90稱為“第五個(gè)IC器件905”或者“IC器件905”。另外，在不進(jìn)行第一個(gè)、第二個(gè)、第三個(gè)、第四個(gè)、第五個(gè)等的區(qū)別的情況下，稱為“IC器件90”。另外，在圖22A～圖48中，用“I”表示IC器件901，用“II”表示IC器件902，用“III”表示IC器件903，用“IV”表示IC器件904，用“V”表示IC器件905。

首先，如圖22A以及圖22B所示，第一個(gè)IC器件901被供給用器件輸送頭13載置(配置)于第一器件供給部14c的第一載置部261。即，在第一載置部261上載置檢查前的IC器件901。優(yōu)選已利用第一溫度調(diào)整部12c或者第二溫度調(diào)整部12d對(duì)該IC器件901進(jìn)行了冷卻，但也可以不進(jìn)行冷卻。此外，對(duì)于后述的IC器件902以及IC器件903也是同樣的。

接下來(lái)，如圖23所示，利用第一器件供給部14c將IC器件901輸送至與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166對(duì)應(yīng)的位置、即輸送至第一器件供給部14c的第一載置部261與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166沿Y方向排列的位置。

接下來(lái)，利用第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271來(lái)把持IC器件901，并對(duì)其進(jìn)行冷卻。

接下來(lái)，如圖24所示，利用第一把持部271邊冷卻由該第一把持部271把持的IC器件901，邊將其輸送至檢查部16的第一溫度設(shè)定部166。然后，對(duì)IC器件901進(jìn)行低溫檢查。

此外，針對(duì)IC器件901，此后預(yù)定進(jìn)行常溫檢查，但是，雖然可以對(duì)低溫檢查結(jié)束了的全部IC器件901進(jìn)行常溫檢查，但優(yōu)選僅對(duì)低溫檢查中合格了的IC器件901進(jìn)行常溫檢查，對(duì)不合格的IC器件901不進(jìn)行常溫檢查。由此，能夠省略不必要的檢查。

另一方面，如圖25所示，第一器件供給部14c為了接受第二個(gè)IC器件902而向X方向負(fù)側(cè)移動(dòng)。

接下來(lái)，如圖26所示，第二個(gè)IC器件902被供給用器件輸送頭13載置于第一器件供給部14c的第一載置部261。

接下來(lái)，如圖27所示，第一器件供給部14c向X方向正側(cè)移動(dòng)，并在第一器件供給部14c的第二載置部262與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166沿Y方向排列的位置上停止。

接下來(lái)，如圖28所示，由第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271把持的IC器件901被輸送并放至第一器件供給部14c的第二載置部262，并且被載置于該第二載置部262。即，在第二載置部262上載置低溫檢查后的IC器件901。

接下來(lái)，如圖29所示，第一器件供給部14c向X方向正側(cè)移動(dòng)，并且在第一器件供給部14c的第一載置部261與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166沿Y方向排列、第二載置部262與第二溫度設(shè)定部167沿Y方向排列的位置上停止。

接下來(lái)，利用第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271來(lái)把持第二個(gè)IC器件902，并對(duì)其進(jìn)行冷卻，與此同時(shí)利用第二把持部272來(lái)把持第一個(gè)IC器件901。

接下來(lái)，如圖30所示，由第一把持部271把持的IC器件902邊被該第一把持部271冷卻，邊被該第一把持部271輸送至檢查部16的第一溫度設(shè)定部166，與此同時(shí)，由第二把持部272把持的IC器件901被該第二把持部272輸送至檢查部16的第二溫度設(shè)定部167。然后，對(duì)IC器件901進(jìn)行常溫檢查，對(duì)IC器件902進(jìn)行低溫檢查。

此外，對(duì)于IC器件901，此后預(yù)定進(jìn)行高溫檢查，但是，雖然可以對(duì)常溫檢查結(jié)束了的全部IC器件901進(jìn)行高溫檢查，但優(yōu)選僅對(duì)常溫檢查中合格了的IC器件901進(jìn)行高溫檢查，對(duì)不合格的IC器件901不進(jìn)行高溫檢查。另外，對(duì)于IC器件902，此后預(yù)定進(jìn)行常溫檢查，但是，雖然可以對(duì)低溫檢查結(jié)束了的全部IC器件902進(jìn)行常溫檢查，但優(yōu)選僅對(duì)低溫檢查中合格了的IC器件902進(jìn)行常溫檢查，對(duì)不合格的IC器件902不進(jìn)行常溫檢查。由此，能夠省略不必要的檢查。

另一方面，如圖31所示，第一器件供給部14c為了接受第三個(gè)IC器件903而向X方向負(fù)側(cè)移動(dòng)。

接下來(lái)，如圖32所示，第三個(gè)IC器件903被供給用器件輸送頭13載置于第一器件供給部14c的第一載置部261。

接下來(lái)，如圖33所示，第一器件供給部14c向X方向正側(cè)移動(dòng)，并在第一器件供給部14c的第二載置部262與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166沿Y方向排列的位置上停止。

接下來(lái)，如圖34所示，由第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271把持的IC器件902被輸送并放至第一器件供給部14c的第二載置部262，并且被載置于第二載置部262，同樣地，由第二把持部272把持的IC器件901被輸送并放至第三載置部263，并且被載置于該第三載置部263。即，在第二載置部262上載置低溫檢查后的IC器件902，在第三載置部263上載置常溫檢查后的IC器件901。

接下來(lái)，如圖35所示，第一器件供給部14c向X方向正側(cè)移動(dòng)，并且在第一器件供給部14c的第一載置部261與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166沿Y方向排列、第二載置部262與第二溫度設(shè)定部167沿Y方向排列、第三載置部263與第三溫度設(shè)定部168沿Y方向排列的位置上停止。

接下來(lái)，利用第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271來(lái)把持第三個(gè)IC器件903，并對(duì)其進(jìn)行冷卻，與此同時(shí)利用第二把持部272來(lái)把持第二個(gè)IC器件902，同時(shí)利用第三把持部273來(lái)把持第一個(gè)IC器件901，并對(duì)其進(jìn)行加熱。

接下來(lái)，如圖36所示，由第一把持部271把持的IC器件903邊被該第一把持部271冷卻，邊被該第一把持部271輸送至檢查部16的第一溫度設(shè)定部166，與此同時(shí)，由第二把持部272把持的IC器件902被該第二把持部272輸送至檢查部16的第二溫度設(shè)定部167，同時(shí)，由第三把持部273把持的IC器件901邊被該第三把持部273加熱，邊被該第三把持部273輸送至第三溫度設(shè)定部168。然后，對(duì)IC器件901進(jìn)行高溫檢查，對(duì)IC器件902進(jìn)行常溫檢查，對(duì)IC器件903進(jìn)行低溫檢查。

此外，對(duì)于IC器件902，此后預(yù)定進(jìn)行高溫檢查，但是，雖然可以對(duì)常溫檢查結(jié)束了的全部IC器件902進(jìn)行高溫檢查，但優(yōu)選僅對(duì)常溫檢查中合格了的IC器件902進(jìn)行高溫檢查，對(duì)不合格的IC器件902不進(jìn)行高溫檢查。另外，對(duì)于IC器件903，此后預(yù)定進(jìn)行常溫檢查，但是，雖然可以對(duì)低溫檢查結(jié)束了的全部IC器件903進(jìn)行常溫檢查，但優(yōu)選僅對(duì)低溫檢查中合格了的IC器件903進(jìn)行常溫檢查，對(duì)不合格的IC器件903不進(jìn)行常溫檢查。由此，能夠省略不必要的檢查。

另一方面，如圖37所示，第一器件回收部18c為了對(duì)檢查結(jié)束了的IC器件901進(jìn)行回收而向X方向負(fù)側(cè)、即向與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置移動(dòng)。

接下來(lái)，如圖37所示，利用第一檢查用器件輸送頭17c將IC器件901輸送至與第一器件回收部18c對(duì)應(yīng)的位置，并被載置于該第一器件回收部18c的8個(gè)兜部185中的圖37中左起第三個(gè)兜部185。而且，如圖38所示，利用第一器件回收部18c將IC器件901輸送至回收區(qū)域A4。

與上述同樣地，第一器件供給部14c接著向X方向負(fù)側(cè)移動(dòng)，接受第四個(gè)IC器件904，并接著向X方向正側(cè)移動(dòng)，如圖39所示，由第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271把持的IC器件903被放至第一器件供給部14c的第二載置部262，并被載置于該第二載置部262，同樣地，由第二把持部272把持的IC器件902被放至第三載置部263，并被載置于該第三載置部263。

接下來(lái)，如圖40所示，第一器件供給部14c向X方向正側(cè)移動(dòng)，并在第一器件供給部14c的第一載置部261與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166沿Y方向排列的位置上停止。

接下來(lái)，利用第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271來(lái)把持第四個(gè)IC器件904，并對(duì)其進(jìn)行冷卻，與此同時(shí)利用第二把持部272來(lái)把持第三個(gè)IC器件903，同時(shí)利用第三把持部273來(lái)把持第二個(gè)IC器件902，并對(duì)其進(jìn)行加熱。

接下來(lái)，如圖41所示，由第一把持部271把持的IC器件904邊被該第一把持部271冷卻，邊被該第一把持部271輸送至檢查部16的第一溫度設(shè)定部166，與此同時(shí)，由第二把持部272把持的IC器件903被該第二把持部272輸送至檢查部16的第二溫度設(shè)定部167，同時(shí)，由第三把持部273把持的IC器件902邊被該第三把持部273加熱，邊被該第三把持部273輸送至第三溫度設(shè)定部168。然后，對(duì)IC器件902進(jìn)行高溫檢查，對(duì)IC器件903進(jìn)行常溫檢查，對(duì)IC器件904進(jìn)行低溫檢查。

另一方面，如圖42所示，第一器件回收部18c為了對(duì)檢查結(jié)束了的IC器件902進(jìn)行回收而向X方向負(fù)側(cè)、即向與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置移動(dòng)。

接下來(lái)，如圖42所示，利用第一檢查用器件輸送頭17c將IC器件902輸送至與第一器件回收部18c對(duì)應(yīng)的位置，并被載置于該第一器件回收部18c的8個(gè)兜部185中的圖42中左起第三個(gè)兜部185。然后，如圖43所示，利用第一器件回收部18c將IC器件902輸送至回收區(qū)域A4。

與上述同樣地，第一器件供給部14c接著向X方向負(fù)側(cè)移動(dòng)，接受第五個(gè)IC器件905，并接著向X方向正側(cè)移動(dòng)，如圖44所示，由第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271把持的IC器件904被放至第一器件供給部14c的第二載置部262，并被載置于該第二載置部262，同樣地，由第二把持部272把持的IC器件903被放至第三載置部263，并被載置于該第三載置部263。

接下來(lái)，如圖45所示，第一器件供給部14c向X方向正側(cè)移動(dòng)，并在第一器件供給部14c的第一載置部261與檢查部16的第一溫度設(shè)定部166沿Y方向排列的位置上停止。

接下來(lái)，利用第一檢查用器件輸送頭17c的第一把持部271來(lái)把持第五個(gè)IC器件905，并對(duì)其進(jìn)行冷卻，與此同時(shí)，利用第二把持部272來(lái)把持第四個(gè)IC器件904，同時(shí)利用第三把持部273來(lái)把持第三個(gè)IC器件903，并對(duì)其進(jìn)行加熱。

接下來(lái)，如圖46所示，由第一把持部271把持的IC器件905邊被第一把持部271冷卻，邊被該第一把持部271輸送至檢查部16的第一溫度設(shè)定部166，與此同時(shí)，由第二把持部272把持的IC器件904被該第二把持部272輸送至檢查部16的第二溫度設(shè)定部167，同時(shí)，由第三把持部273把持的IC器件903邊被該第三把持部273加熱，邊被該第三把持部273輸送至第三溫度設(shè)定部168。然后，對(duì)IC器件903進(jìn)行高溫檢查，對(duì)IC器件904進(jìn)行常溫檢查，對(duì)IC器件905進(jìn)行低溫檢查。

另一方面，如圖47所示，第一器件回收部18c為了對(duì)檢查結(jié)束了的IC器件903進(jìn)行回收，向X方向負(fù)側(cè)、即向與檢查部16對(duì)應(yīng)的位置移動(dòng)。

接下來(lái)，如圖47所示，利用第一檢查用器件輸送頭17c將IC器件903輸送至與第一器件回收部18c對(duì)應(yīng)的位置，并被載置于該第一器件回收部18c的8個(gè)兜部185中的圖47中左起第三個(gè)兜部185。然后，如圖48所示，利用第一器件回收部18c將IC器件903輸送至回收區(qū)域A4。

以下重復(fù)進(jìn)行相同的動(dòng)作。

這里，如上所述，在僅對(duì)低溫檢查中合格了的IC器件90進(jìn)行常溫檢查、另外僅對(duì)低溫檢查以及常溫檢查中合格了的IC器件90進(jìn)行高溫檢查時(shí)，例如當(dāng)IC器件902在常溫檢查中不合格(低溫檢查中合格)的情況下，該IC器件902被載置于第一器件回收部18c的8個(gè)兜部185中的圖37中左起第二個(gè)兜部185，并被第一器件回收部18c輸送至回收區(qū)域A4。另外，當(dāng)IC器件903在低溫檢查中不合格的情況下，該IC器件903被載置于第一器件回收部18c的8個(gè)兜部185中的圖37中左側(cè)的兜部185，并被第一器件回收部18c輸送至回收區(qū)域A4。在該情況下，在第一器件回收部18c的8個(gè)兜部185中的圖37中左側(cè)的兜部185，載置低溫檢查中不合格的IC器件90，在圖37中左起第二個(gè)兜部185，載置低溫檢查中合格且常溫檢查中不合格的IC器件90，在圖37中左起第三個(gè)兜部185，載置低溫檢查以及常溫檢查中合格且高溫檢查中合格或者不合格的IC器件90。

以上，對(duì)利用第一器件供給部14c、第一檢查用器件輸送頭17c以及第一器件回收部18c來(lái)執(zhí)行IC器件90的輸送等的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但也能夠利用第二器件供給部14d、第二檢查用器件輸送頭17d以及第二器件回收部18d來(lái)同樣地執(zhí)行IC器件90的輸送等。

另外，也能夠并行地進(jìn)行：利用第一器件供給部14c、第一檢查用器件輸送頭17c以及第一器件回收部18c來(lái)輸送IC器件90從而執(zhí)行的檢查、以及利用第二器件供給部14d、第二檢查用器件輸送頭17d以及第二器件回收部18d來(lái)輸送IC器件90從而執(zhí)行的檢查。由此，能夠提高生產(chǎn)率。

如以上說(shuō)明的那樣，根據(jù)該檢查裝置1c，能夠進(jìn)行IC器件90的低溫檢查、常溫檢查以及高溫檢查的每一個(gè)，從而便利性較高。

另外，在對(duì)一個(gè)IC器件90進(jìn)行低溫檢查、常溫檢查以及高溫檢查的情況下，能夠不暫時(shí)回收IC器件90而進(jìn)行其低溫檢查、常溫檢查以及高溫檢查，由此能夠提高生產(chǎn)率。

另外，由于同時(shí)進(jìn)行第一個(gè)IC器件901的常溫檢查、第二個(gè)IC器件902的低溫檢查，另外同時(shí)進(jìn)行第一個(gè)IC器件901的高溫檢查、第二個(gè)IC器件902的常溫檢查、以及第三個(gè)IC器件903的低溫檢查，所以能夠提高生產(chǎn)率。

另外，IC器件90的檢查的順序是最初進(jìn)行低溫檢查，第二個(gè)進(jìn)行常溫檢查，第三個(gè)進(jìn)行高溫檢查，由于IC器件90不是以低溫的狀態(tài)而是以高溫的狀態(tài)被輸送至回收區(qū)域A4，所以能夠防止IC器件90的結(jié)露。

另外，在低溫檢查與高溫檢查之間存在常溫檢查，因此，IC器件90不從低溫變?yōu)楦邷囟窃跁簳r(shí)變?yōu)槌睾笞優(yōu)楦邷?，因此能夠抑制IC器件90的急劇的溫度變化。

此外，低溫檢查、常溫檢查、以及高溫檢查的順序并不限定于本實(shí)施方式的順序，也可以是任何的順序。

另外，雖然也可以省略低溫檢查、常溫檢查、以及高溫檢查的其中一個(gè)，但優(yōu)選進(jìn)行低溫檢查。換言之，優(yōu)選不省略低溫檢查。

第五實(shí)施方式

圖49是示意地表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第五實(shí)施方式中的第一檢查用器件輸送頭以及檢查部的俯視圖。

以下，對(duì)第五實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，但以與上述第四實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，省略相同的事項(xiàng)的說(shuō)明。

如圖49所示，在第五實(shí)施方式的檢查裝置1c中，檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖49中左側(cè)的2個(gè)保持部163構(gòu)成第一溫度設(shè)定部281，該第一溫度設(shè)定部281能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合低溫檢查的溫度(第一溫度)。

另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖49中左起第二組的2個(gè)保持部163構(gòu)成第二溫度設(shè)定部282，該第二溫度設(shè)定部282能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合高溫檢查的溫度(第二溫度)。

另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖49中左起第三組的2個(gè)保持部163構(gòu)成第一溫度設(shè)定部283，該第一溫度設(shè)定部283能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合低溫檢查的溫度(第一溫度)。

另外，檢查部16的8個(gè)保持部163中的圖49中右側(cè)的2個(gè)保持部163構(gòu)成第二溫度設(shè)定部284，該第二溫度設(shè)定部284能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合高溫檢查的溫度(第二溫度)。

即，在檢查部16中，由第一溫度設(shè)定部281與第二溫度設(shè)定部282構(gòu)成的第一單元285、以及由第一溫度設(shè)定部283與第二溫度設(shè)定部284構(gòu)成的第二單元286沿X方向排列。

另外，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖49中左側(cè)的2個(gè)第一手部單元171c是第一把持部291，并構(gòu)成手部單元第一溫度設(shè)定部(第一臂溫度設(shè)定部)251，該手部單元第一溫度設(shè)定部251能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合低溫檢查的溫度(第一溫度)。

另外，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖49中左起第二組的2個(gè)第一手部單元171c是第二把持部292，并構(gòu)成手部單元第二溫度設(shè)定部(第二臂溫度設(shè)定部)252，該手部單元第二溫度設(shè)定部252能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合高溫檢查的溫度(第二溫度)。

另外，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖49中左起第三組的2個(gè)第一手部單元171c是第一把持部293，并構(gòu)成手部單元第一溫度設(shè)定部(第一臂溫度設(shè)定部)253，該手部單元第一溫度設(shè)定部253能夠?qū)C器件90進(jìn)行冷卻，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合低溫檢查的溫度(第一溫度)。

另外，第一檢查用器件輸送頭17c的8個(gè)第一手部單元171c中的、圖49中右側(cè)的2個(gè)第一手部單元171c是第二把持部294，并構(gòu)成手部單元第二溫度設(shè)定部(第二臂溫度設(shè)定部)254，該手部單元第二溫度設(shè)定部254能夠?qū)C器件90進(jìn)行加熱，從而將該IC器件90的溫度調(diào)整(能夠設(shè)定)為適合高溫檢查的溫度(第二溫度)。

即，在第一檢查用器件輸送頭17c中，由第一把持部291(手部單元第一溫度設(shè)定部251)與第二把持部292(手部單元第二溫度設(shè)定部252)構(gòu)成的第一單元295、以及由第一把持部293(手部單元第一溫度設(shè)定部253)與第二把持部294(手部單元第二溫度設(shè)定部254)構(gòu)成的第二單元296沿X方向排列。

在該第一單元295與第二單元296中，形成相同的動(dòng)作，另外，該動(dòng)作與第四實(shí)施方式中省略了常溫檢查的情況相同。由此，與一個(gè)單元的情況相比，能夠使生產(chǎn)率為2倍。

此外，對(duì)于第二檢查用器件輸送頭17d也是同樣的。

根據(jù)以上的第五實(shí)施方式的檢查裝置1c，也能夠發(fā)揮與上述第四實(shí)施方式相同的效果。

此外，在本實(shí)施方式中，針對(duì)檢查部16、第一檢查用器件輸送頭17c以及第二檢查用器件輸送頭17d，上述單元的數(shù)量分別為兩個(gè)，但也可以為3個(gè)以上。

另外，在上述第四實(shí)施方式中，也可以與本實(shí)施方式同樣地，針對(duì)檢查部16、第一檢查用器件輸送頭17c以及第二檢查用器件輸送頭17d分別設(shè)置多個(gè)單元。

以上，基于圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于此，能夠?qū)⒏鞑康慕Y(jié)構(gòu)置換為具有相同功能的任意的結(jié)構(gòu)。另外，也可以附加其他任意的結(jié)構(gòu)物。

另外，本發(fā)明也可以將上述各實(shí)施方式中的任意的2個(gè)以上的結(jié)構(gòu)(特征)進(jìn)行組合。

附圖標(biāo)記的說(shuō)明

1…檢查裝置(電子部件檢查裝置)；11A…第一托盤輸送機(jī)構(gòu)；11B…第二托盤輸送機(jī)構(gòu)；12a…第一溫度調(diào)整部(第一均溫板)；12b…第二溫度調(diào)整部(第二均溫板)；13…供給用器件輸送頭；131…手部單元；14a…第一器件供給部(第一供給往復(fù)裝置)；14b…第二器件供給部(第二供給往復(fù)裝置)；141…器件供給部主體；142…配置板；145…兜部；146…器件供給部第一溫度設(shè)定部；147…器件供給部第二溫度設(shè)定部；15…第三托盤輸送機(jī)構(gòu)；16…檢查部；161…檢查部主體；162…保持部件；163…保持部；166…第一溫度設(shè)定部；167…第二溫度設(shè)定部；17a…第一檢查用器件輸送頭；17b…第二檢查用器件輸送頭；171a…第一手部單元；171b…第二手部單元；172…手部單元主體；173…把持部件；176…器件輸送頭第一溫度設(shè)定部；177…器件輸送頭第二溫度設(shè)定部；18a…第一器件回收部(第一回收往復(fù)裝置)；18b…第二器件回收部(第二回收往復(fù)裝置)；181…器件回收部主體；182…配置板；185…兜部；19…回收用托盤；20…回收用器件輸送頭；201…手部單元；21…第六托盤輸送機(jī)構(gòu)；22A…第四托盤輸送機(jī)構(gòu)；22B…第五托盤輸送機(jī)構(gòu)；41～45…冷卻機(jī)構(gòu)；51～54…加熱機(jī)構(gòu)；6…操作部；61…輸入部；62…顯示部；80…控制部；801…存儲(chǔ)部；90…IC器件；200…托盤；A1…托盤供給區(qū)域；A2…器件供給區(qū)域(供給區(qū)域)；A3…檢查區(qū)域；A4…器件回收區(qū)域(回收區(qū)域)；A5…托盤除去區(qū)域；R1…第一室；R2…第二室；R3…第三室。