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缺陷隔離系統(tǒng)與檢測電路缺陷的方法與流程

文檔序號:12592646閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種檢測電路缺陷的方法,其特征在于,至少包含以下步驟:

步驟(a):提供一檢測線位于一檢測區(qū)域內(nèi),其中所述檢測線包含一缺陷部位于其中;

步驟(b):提供一第一探針以及一第二探針,其中所述第一探針接觸所述檢測線的一端點,用來提供一輸入信號于所述檢測區(qū)域內(nèi)的所述檢測線,且所述第二探針接觸所述檢測線的另一端點,用來接收一輸出信號;

步驟(c):通過一切割器切割所述檢測線,移除所述檢測區(qū)域內(nèi)的部分所述檢測線,并且定義一剩余檢測線;

步驟(d):移動所述第二探針以接觸所述剩余檢測線的一端點,以得到一新輸出信號,其中當(dāng)所述缺陷部已經(jīng)位于所述剩余檢測線之外的區(qū)域時,所述新輸出信號是一正常信號,當(dāng)所述缺陷部仍然位于所述剩余檢測線之內(nèi)的區(qū)域時,所述新輸出信號是一異常信號;以及

步驟(e):重復(fù)上述步驟(c)與步驟(d),直到所述新輸出信號成為所述正常信號,以得到一缺陷定位區(qū)段,其中所述缺陷部位于所述缺陷定位區(qū)段之內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在重復(fù)n次步驟(c)與步驟(d)之后,所述新輸出信號成為所述正常信號,所述缺陷定位區(qū)段即是在第n次的步驟(c)中被移除的部分所述檢測線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述檢測線的整體長度,是所述缺陷定位線段的長度的5~20倍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一探針與一交流電壓源連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一探針與所述第二探針各自包含一末端部,且所述第一探針的所述末端部與所述第二探針的所述末端部的曲率半徑都小于300納米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述第二探針可移動,且所述第二探針是通過一壓電回饋系統(tǒng)所驅(qū)動。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述切割器包含一長條部以及一尖端部,且所述尖端部是由摩式硬度大于6的材料構(gòu)成。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述尖端部的深寬比小于0.95,且所述尖端部的一深度大于10納米。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述切割器的所述長條部的一彈性系數(shù)大于5牛頓每米(N/m)。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述長條部的長度小于一厘米,且寬度小于一微米。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述長條部的一截面積小于100平方微米(μm2)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述切割器提供一向下力于所述檢測區(qū)域內(nèi)的所述檢測線,或是于所述檢測區(qū)域內(nèi)的所述剩余檢測線,且所述向下力大于10奈牛頓(nN)。

13.一種缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,包含:

位于一檢測區(qū)域內(nèi)的一檢測線,一缺陷部位于其中;

一第一探針接觸所述檢測線的一端點,用來提供一輸入信號于所述檢測區(qū)域內(nèi)的所述檢測線;

一第二探針,沿著位于所述檢測區(qū)域內(nèi)的所述檢測線的多數(shù)個接觸件與多數(shù)個金屬線結(jié)構(gòu)進行掃描,并接收所述檢測線的一輸出信號;以及

用于電性隔離所述檢測區(qū)域內(nèi)的部分所述檢測線的一切割器。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,所述第一探針與一交流電壓源相連。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,所述第一探針與所述第二探針各自包含一末端部,且所述第一探針的所述末端部與所述第二探針的所述末端部的曲率半徑都小于300納米。

16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,所述第二探針可移動,且所述第二探針是通過一壓電回饋系統(tǒng)所驅(qū)動。

17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,所述切割器包含一長條部以及一尖端部,且所述尖端部是由摩式硬度大于6的材料所構(gòu)成。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,所述尖端部的深寬比小于0.95。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,所述切割器的所述長條部的一彈性系數(shù)大于5牛頓每米(N/m)。

20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的缺陷隔離系統(tǒng),其特征在于,所述長條部的長度小于一厘米。

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