技術(shù)特征：

1.一種磷酸鹽激光釹玻璃表面霧深度的檢測方法，其特征在于該檢測方法包括如下步驟：

步驟1)清洗磷酸鹽激光釹玻璃：用去離子水對雙面拋光后的磷酸鹽激光釹玻璃進(jìn)行清洗，使用無水乙醇對清洗干凈的磷酸鹽激光釹玻璃表面進(jìn)行脫水；

步驟2)圖像采集：將清洗后的磷酸鹽激光釹玻璃(1)放置在光學(xué)平臺上，通過CCD(3)拍攝激光器(2)打到清洗后的磷酸鹽激光釹玻璃(1)表面上的激光光斑，所述的CCD(3)通過數(shù)據(jù)線連接到電腦(4)上，所述的電腦(4)實(shí)時(shí)反映CCD(3)所拍攝的內(nèi)容，并且對所顯示的激光光斑進(jìn)行圖片拍攝；

步驟3)圖像處理：對所述的圖片進(jìn)行灰度處理，得到圖片對應(yīng)的灰度均值Y1，圖像標(biāo)準(zhǔn)差Y2和直方圖標(biāo)準(zhǔn)差Y3；

步驟4)確定發(fā)霧深度：根據(jù)同一個(gè)光斑圖像在不同曝光時(shí)間所算出的值是相同的，計(jì)算深度因子其中b1為灰度均值截距，b2為圖像標(biāo)準(zhǔn)差截距，b3為直方圖標(biāo)準(zhǔn)差截距；

若深度因子S值在700～800之間，則發(fā)霧深度值為300～400nm；若深度因子S值在800～900之間，則發(fā)霧深度值為200～300nm；若深度因子S值在900～1000之間，則發(fā)霧深度值為100～200nm；若深度因子S值在1000～1100之間，則發(fā)霧深度值為50～100nm；若深度因子S值在1100～1200之間，則發(fā)霧深度值為1～50nm。

2.權(quán)利要求1所述磷酸鹽激光釹玻璃表面霧深度的檢測方法，其特征在于，每隔100ms拍攝一組不同曝光時(shí)間的圖片，并對圖片進(jìn)行處理，計(jì)算每張圖片的灰度均值，將這些灰度均值擬合成直線y＝k₁x+b1。

3.權(quán)利要求1所述磷酸鹽激光釹玻璃表面霧深度的檢測方法，其特征在于，每隔100ms拍攝一組不同曝光時(shí)間的圖片，并對圖片進(jìn)行處理，計(jì)算每張圖片的圖像標(biāo)準(zhǔn)差，將這些圖像標(biāo)準(zhǔn)差擬合成直線y＝k₂x+b2。

4.權(quán)利要求1所述磷酸鹽激光釹玻璃表面霧深度的檢測方法，其特征在于，每隔100ms拍攝一組不同曝光時(shí)間的圖片，并對圖片進(jìn)行處理，計(jì)算每張圖片的直方圖標(biāo)準(zhǔn)差，將這些直方圖標(biāo)準(zhǔn)差擬合成直線y＝k₃x+b3。

5.利用權(quán)利要求1所述的圖像處理方法得到的發(fā)霧深度值，進(jìn)行磷酸鹽激光釹玻璃片表面霧的離子束均勻去除，其特征在于該方法包括：

步驟1)根據(jù)所述的磷酸鹽激光釹玻璃表面霧的發(fā)霧深度值，確定離子束光斑束徑的大小、離子束的行程及駐留時(shí)間；

步驟2)利用離子束拋光設(shè)備加工磷酸鹽激光釹玻璃，表面均勻去除與所述磷酸鹽激光釹玻璃表面霧的發(fā)霧深度值相同的厚度，則磷酸鹽激光釹玻璃表面霧去除完畢。