本發(fā)明涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法。

背景技術(shù)：

晶圓生長(zhǎng)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，由于受到材料、設(shè)備以及環(huán)境等因素的影響，在晶圓表面不可避免的會(huì)出現(xiàn)顆粒污染，因此如何通過(guò)檢測(cè)顆粒污染的數(shù)量、密度等指標(biāo)來(lái)保證晶圓的正常生長(zhǎng)已經(jīng)成為關(guān)鍵環(huán)節(jié)。利用光散射的掃描式檢測(cè)方法具有快速、無(wú)附加污染等優(yōu)勢(shì)，是目前半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行晶圓全面檢測(cè)的主要方法。它的基本原理是利用小光斑斜入射照射至晶圓表面，由于晶圓表面十分光滑，當(dāng)光斑照射處沒(méi)有污染時(shí)，入射光將全部以相同角度從另一側(cè)反射出去；當(dāng)存在污染時(shí)將發(fā)生散射，散射光從四周擴(kuò)展，散射光強(qiáng)取決于污染的尺寸及折射率，通過(guò)利用激光依次掃描整個(gè)晶圓表面，便可實(shí)現(xiàn)晶圓檢測(cè)。由于晶圓上污染尺寸較小時(shí)，散射光十分微弱，因此如何提高檢測(cè)靈敏度是此方法的主要挑戰(zhàn)。目前出現(xiàn)的晶圓檢測(cè)方法以及晶圓檢測(cè)裝置的主要原理是利用合成光強(qiáng)周期分布的光斑實(shí)現(xiàn)散射信號(hào)的周期調(diào)制，使信號(hào)集中至某個(gè)特定頻率處，由于系統(tǒng)噪聲在寬譜內(nèi)近均勻分布，通過(guò)在特定頻率附近進(jìn)行信號(hào)分析消除部分噪聲的影響以提高靈敏度，但是對(duì)于晶圓檢測(cè)裝置檢測(cè)的模擬信號(hào)提取及處理方法尚未出現(xiàn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明通過(guò)提供一種基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法，提高了晶圓檢測(cè)裝置檢測(cè)的模擬信號(hào)的提取效率，對(duì)提取的晶圓信號(hào)的處理更為穩(wěn)定、靈敏，保證了數(shù)據(jù)處理的準(zhǔn)確性。

本發(fā)明提供了一種基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法，包括：

采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)，將所述晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)；

按照時(shí)序?qū)⑺鰯?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)；

取用所述緩沖區(qū)的所述數(shù)據(jù)，對(duì)所述緩沖區(qū)的所述數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)域處理及頻域處理；

查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)，將所述時(shí)域信號(hào)及所述頻域信號(hào)合并判斷后上傳至上位機(jī)。

進(jìn)一步地，所述按照時(shí)序?qū)⑺鰯?shù)字信號(hào)中的所述數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)，包括：

按照時(shí)序?qū)⑺鰯?shù)字信號(hào)中的所述數(shù)據(jù)抽取為至少兩個(gè)長(zhǎng)度片段；

將不同的所述片段分別存儲(chǔ)于不同的數(shù)據(jù)組中，以及將所述數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于所述緩沖區(qū)。

進(jìn)一步地，所述取用所述緩沖區(qū)的數(shù)據(jù)，包括：

窗口查找表控制時(shí)間段記數(shù)器的計(jì)數(shù)值，按照時(shí)序啟動(dòng)不同標(biāo)號(hào)的數(shù)據(jù)組；

將啟用的數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)域及頻域處理。

進(jìn)一步地，所述按照時(shí)序?qū)⑺鰯?shù)字信號(hào)中的所述數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)，還包括：

設(shè)置與所述數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)數(shù)量的窗口；

在所述窗口內(nèi)存儲(chǔ)所述片段的循環(huán)參數(shù)；

所述數(shù)據(jù)組內(nèi)的片段通過(guò)窗口查找表查找對(duì)應(yīng)的所述窗口，并獲得對(duì)應(yīng)的片段的循環(huán)參數(shù)。

進(jìn)一步地，所述時(shí)域處理，包括：

標(biāo)記所述數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的編號(hào)；

通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)；

尋找所在數(shù)據(jù)組內(nèi)所述數(shù)據(jù)的最大值；

將所述數(shù)據(jù)的最大值與給定的時(shí)域閾值比較，若大于所述時(shí)域閾值，則將所述最大值作為所在窗口的時(shí)域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。

進(jìn)一步地，所述頻域處理，包括：

標(biāo)記所述數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的窗口號(hào)；

通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)；

對(duì)所述數(shù)據(jù)進(jìn)行傅里葉變換得到頻域分布；

將頻段強(qiáng)度的最大值與給定的頻域閾值比較，若大于所述時(shí)域閾值，則將頻段強(qiáng)度的最大值作為所在窗口的頻域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。

進(jìn)一步地，所述將所述時(shí)域信號(hào)及所述頻域信號(hào)合并判斷后上傳至上位機(jī)，包括：

當(dāng)所述時(shí)域信號(hào)與所述頻域信號(hào)同時(shí)存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在大尺寸顆粒，同時(shí)將所述時(shí)域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至所述上位機(jī)；

當(dāng)僅存在所述頻域信號(hào)時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在小尺寸顆粒況，同時(shí)將所述頻域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至所述上位機(jī)；

當(dāng)所述時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)均不存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處不存在顆粒；

當(dāng)僅存在所述時(shí)域信號(hào)時(shí)，則判定檢測(cè)結(jié)果異常，將所述時(shí)域信號(hào)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并在錯(cuò)誤存儲(chǔ)區(qū)標(biāo)記當(dāng)前的窗口號(hào)。

進(jìn)一步地，還包括：

在所述數(shù)字信號(hào)中引入時(shí)鐘信號(hào)，用于進(jìn)行時(shí)鐘控制。

進(jìn)一步地，采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)時(shí)，所述模擬信號(hào)的單位采集容量為14bit，采集頻率為500MHz。

進(jìn)一步地，所述窗口查找表及所述窗口存儲(chǔ)于DDR3中。

本發(fā)明提供的一種或多種技術(shù)方案，至少具備以下有益效果或優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法及裝置，改該方法按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)；將緩沖區(qū)的數(shù)據(jù)送入FPGA芯片進(jìn)行時(shí)域及頻域處理；查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)，將時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)合并判斷后上傳至上位機(jī)。按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)，再?gòu)木彌_區(qū)取用數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)域及頻域處理，提高了晶圓檢測(cè)裝置檢測(cè)的模擬信號(hào)的提取效率，對(duì)提取的晶圓信號(hào)中的數(shù)據(jù)處理更為穩(wěn)定、準(zhǔn)確。

本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法及裝置，設(shè)置有用于存儲(chǔ)循環(huán)參數(shù)的多個(gè)窗口，每個(gè)窗口相對(duì)獨(dú)立，便于對(duì)不同的循環(huán)參數(shù)進(jìn)行修改而不影響其他窗口，提高了數(shù)據(jù)的處理效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法流程圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)提供一種基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法，提高了晶圓檢測(cè)裝置檢測(cè)的模擬信號(hào)的提取效率，對(duì)提取的晶圓信號(hào)的處理更為穩(wěn)定、靈敏，保證了數(shù)據(jù)處理的準(zhǔn)確性。

參見(jiàn)圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法，包括：

步驟S1、采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)，將晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。步驟S1具體包括：步驟S11、從晶圓檢測(cè)裝置采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)，將晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)時(shí)，模擬信號(hào)的單位采集容量為14bit，采集頻率為500MHz。

步驟S2、按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)，直至數(shù)據(jù)達(dá)到指定數(shù)目。步驟S2具體包括：步驟S21、按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)抽取為至少兩個(gè)長(zhǎng)度片段。步驟S22、將不同的片段分別存儲(chǔ)于不同的數(shù)據(jù)組中，標(biāo)記每個(gè)數(shù)據(jù)組的編號(hào)，以及將數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于緩沖區(qū)。步驟S23、設(shè)置與數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)數(shù)量的窗口；在窗口內(nèi)存儲(chǔ)片段的循環(huán)參數(shù)；數(shù)據(jù)組內(nèi)的片段通過(guò)窗口查找表查找對(duì)應(yīng)的窗口，并獲得對(duì)應(yīng)的片段的循環(huán)參數(shù)。其中，窗口查找表及窗口存儲(chǔ)于DDR3中，窗口查找表定義總窗口個(gè)數(shù)、窗口號(hào)、窗口長(zhǎng)度(即FFT長(zhǎng)度)、窗口時(shí)間段(即定義何時(shí)啟動(dòng)窗口)、時(shí)域門限值、分頻比及頻域窗口位置。步驟S24、檢測(cè)數(shù)據(jù)是否達(dá)到指定的數(shù)目。步驟S25、當(dāng)檢測(cè)到數(shù)據(jù)達(dá)到指定數(shù)目時(shí)，停止向緩沖區(qū)存入數(shù)據(jù)。

步驟S3、取用緩沖區(qū)的數(shù)據(jù)，對(duì)緩沖區(qū)的數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)域處理及頻域處理。步驟S3具體包括：步驟S31、窗口查找表通過(guò)FIFO實(shí)時(shí)控制時(shí)間段記數(shù)器的計(jì)數(shù)值，按照時(shí)序啟動(dòng)不同標(biāo)號(hào)的數(shù)據(jù)組。步驟S32、標(biāo)記數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的編號(hào)，通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)，尋找所在數(shù)據(jù)組內(nèi)數(shù)據(jù)的最大值；將數(shù)據(jù)的最大值與給定的時(shí)域閾值比較，若大于時(shí)域閾值，則將最大值作為所在窗口的時(shí)域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。步驟33、標(biāo)記數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的編號(hào)，通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行傅里葉變換得到頻域分布；將頻段強(qiáng)度的最大值與給定的頻域閾值比較，若大于時(shí)域閾值，則將頻段強(qiáng)度的最大值作為所在窗口的頻域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。

步驟S4、查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)，將時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)合并判斷后上傳至上位機(jī)。步驟S4具體包括步驟S41、查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)。步驟S42、當(dāng)時(shí)域信號(hào)與頻域信號(hào)同時(shí)存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在大尺寸顆粒，同時(shí)將時(shí)域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至上位機(jī)；當(dāng)僅存在頻域信號(hào)時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在小尺寸顆粒況，同時(shí)將頻域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至上位機(jī)；當(dāng)時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)均不存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處不存在顆粒；當(dāng)僅存在時(shí)域信號(hào)時(shí)，則判定檢測(cè)結(jié)果異常，將時(shí)域信號(hào)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并在錯(cuò)誤存儲(chǔ)區(qū)標(biāo)記當(dāng)前的數(shù)據(jù)組編號(hào)。

步驟S5、在數(shù)字信號(hào)中引入時(shí)鐘信號(hào)，用于進(jìn)行時(shí)鐘控制。

下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提供的基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法進(jìn)行說(shuō)明：

本實(shí)施例中，將晶圓的掃描區(qū)域分為50個(gè)區(qū)域，50個(gè)掃描區(qū)域?qū)τ?0個(gè)不同的晶圓線速度，本實(shí)施例提供的基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法包括：

從晶圓檢測(cè)裝置采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)，將晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)時(shí)，模擬信號(hào)的單位采集容量為14bit，采集頻率為500MHz。

按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)抽取為50個(gè)長(zhǎng)度片段。

將不同的片段分別存儲(chǔ)于不同的數(shù)據(jù)組中，50個(gè)長(zhǎng)度片段分別對(duì)應(yīng)50個(gè)數(shù)據(jù)組，50個(gè)數(shù)據(jù)組分別進(jìn)行標(biāo)號(hào)；在時(shí)序排列上，后一窗口的前端1/2的數(shù)據(jù)與前一窗口的后端的數(shù)據(jù)重復(fù)；同時(shí)將50個(gè)數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于緩沖區(qū)。

設(shè)置50個(gè)與數(shù)據(jù)組一一對(duì)應(yīng)的窗口；分別在50個(gè)窗口內(nèi)存儲(chǔ)長(zhǎng)度片段的循環(huán)參數(shù)；數(shù)據(jù)組內(nèi)的長(zhǎng)度片段通過(guò)窗口查找表查找對(duì)應(yīng)的窗口，并獲得對(duì)應(yīng)的片段的循環(huán)參數(shù)。其中，窗口查找表及窗口存儲(chǔ)于DDR3中。

檢測(cè)數(shù)據(jù)是否達(dá)到指定的50個(gè)長(zhǎng)度片段。

當(dāng)檢測(cè)到數(shù)據(jù)達(dá)到指定的50個(gè)長(zhǎng)度片段時(shí)，停止向緩沖區(qū)存入數(shù)據(jù)。

窗口查找表通過(guò)FIFO實(shí)時(shí)控制時(shí)間段記數(shù)器的計(jì)數(shù)值，按照時(shí)序啟動(dòng)不同標(biāo)號(hào)的數(shù)據(jù)組，窗口查找表通過(guò)FIFO實(shí)時(shí)控制其他功能模塊工作。

標(biāo)記數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的編號(hào)，通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)(該循環(huán)參數(shù)為時(shí)域處理所需的參數(shù))，尋找所在窗口內(nèi)數(shù)據(jù)的最大值；將數(shù)據(jù)的最大值與給定的時(shí)域閾值比較，若大于時(shí)域閾值，則將最大值作為所在窗口的時(shí)域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。

標(biāo)記數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的編號(hào)，通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)(該循環(huán)參數(shù)為頻域處理所需的參數(shù))，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行傅里葉變換得到頻域分布；將頻段強(qiáng)度的最大值與給定的頻域閾值比較，若大于時(shí)域閾值，則將頻段強(qiáng)度的最大值作為所在窗口的頻域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。

從臨時(shí)存儲(chǔ)區(qū)域查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)。

當(dāng)時(shí)域信號(hào)與頻域信號(hào)同時(shí)存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在大尺寸顆粒，同時(shí)將時(shí)域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至上位機(jī)；當(dāng)僅存在頻域信號(hào)時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在小尺寸顆粒況，同時(shí)將頻域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至上位機(jī)；當(dāng)時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)均不存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處不存在顆粒；當(dāng)僅存在時(shí)域信號(hào)時(shí)，則判定檢測(cè)結(jié)果異常，將時(shí)域信號(hào)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并在錯(cuò)誤存儲(chǔ)區(qū)標(biāo)記當(dāng)前的窗口號(hào)。

在數(shù)字信號(hào)中引入時(shí)鐘信號(hào)，用于進(jìn)行時(shí)鐘控制。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種基于FPGA的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取裝置，包括：

信號(hào)采集單元，用于采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)，將晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。其中，信號(hào)采集單元包括：模擬信號(hào)采集模塊及模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊。模擬信號(hào)采集模塊用于從晶圓檢測(cè)裝置采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)。模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊用于將晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。采集晶圓檢測(cè)模擬信號(hào)時(shí)，模擬信號(hào)的單位采集容量為14bit，采集頻率為500MHz。

數(shù)據(jù)抽取單元，按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)，直至數(shù)據(jù)達(dá)到指定數(shù)目。其中，數(shù)據(jù)抽取單元包括：時(shí)序數(shù)據(jù)抽取模塊、存儲(chǔ)模塊、窗口設(shè)置模塊及檢測(cè)模塊。時(shí)序數(shù)據(jù)抽取模塊用于按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)抽取為至少兩個(gè)長(zhǎng)度片段。存儲(chǔ)模塊用于將不同的片段分別存儲(chǔ)于不同的數(shù)據(jù)組中，標(biāo)記每個(gè)數(shù)據(jù)組的窗口號(hào)，以及將數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于緩沖區(qū)。窗口設(shè)置模塊用于設(shè)置與數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)數(shù)量的窗口；在窗口內(nèi)存儲(chǔ)片段的循環(huán)參數(shù)；數(shù)據(jù)組內(nèi)的片段通過(guò)窗口查找表查找對(duì)應(yīng)的窗口，并獲得對(duì)應(yīng)的片段的循環(huán)參數(shù)。其中，窗口查找表及窗口存儲(chǔ)于DDR3中，窗口查找表定義總窗口個(gè)數(shù)、窗口號(hào)、窗口長(zhǎng)度(FFT長(zhǎng)度)、窗口時(shí)間段(定義何時(shí)啟動(dòng)窗口)、時(shí)域門限值、分頻比及頻域窗口位置。檢測(cè)模塊用于檢測(cè)數(shù)據(jù)是否達(dá)到指定的數(shù)目；當(dāng)檢測(cè)到數(shù)據(jù)達(dá)到指定數(shù)目時(shí)，停止向緩沖區(qū)存入數(shù)據(jù)。

查找單元，取用緩沖區(qū)的數(shù)據(jù)，對(duì)緩沖區(qū)的數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)域處理及頻域處理。其中，查找單元包括：窗口啟動(dòng)模塊，窗口查找表通過(guò)FIFO實(shí)時(shí)控制時(shí)間段記數(shù)器的計(jì)數(shù)值，按照時(shí)序啟動(dòng)不同標(biāo)號(hào)的數(shù)據(jù)組；以及將啟用的數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)送入時(shí)域處理模塊及頻域處理模塊進(jìn)行時(shí)域處理及頻域處理。時(shí)域處理模塊用于標(biāo)記數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的編號(hào)，通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)(該循環(huán)參數(shù)為時(shí)域處理所需的參數(shù))，尋找所在窗口內(nèi)數(shù)據(jù)的最大值；將數(shù)據(jù)的最大值與給定的時(shí)域閾值比較，若大于時(shí)域閾值，則將最大值作為所在窗口的時(shí)域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。頻域處理模塊用于標(biāo)記數(shù)據(jù)所在數(shù)據(jù)組的編號(hào)，通過(guò)窗口查找表獲得數(shù)據(jù)組對(duì)應(yīng)的窗口內(nèi)的循環(huán)參數(shù)(該循環(huán)參數(shù)為頻域處理所需的參數(shù))，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行傅里葉變換得到頻域分布；將頻段強(qiáng)度的最大值與給定的頻域閾值比較，若大于時(shí)域閾值，則將頻段強(qiáng)度的最大值作為所在窗口的頻域信號(hào)臨時(shí)存儲(chǔ)。

判斷單元，查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)，將時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)合并判斷后上傳至上位機(jī)。其中，判斷單元包括：信號(hào)查找模塊及信號(hào)判斷模塊。信號(hào)查找模塊用于查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)。信號(hào)判斷模塊用于當(dāng)時(shí)域信號(hào)與頻域信號(hào)同時(shí)存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在大尺寸顆粒，同時(shí)將時(shí)域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至上位機(jī)；當(dāng)僅存在頻域信號(hào)時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處存在小尺寸顆粒況，同時(shí)將頻域信號(hào)存儲(chǔ)并上傳至上位機(jī)；當(dāng)時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)均不存在時(shí)，則判定當(dāng)前窗口對(duì)應(yīng)的晶圓位置處不存在顆粒；當(dāng)僅存在時(shí)域信號(hào)時(shí)，則判定檢測(cè)結(jié)果異常，將時(shí)域信號(hào)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并在錯(cuò)誤存儲(chǔ)區(qū)標(biāo)記當(dāng)前的窗口號(hào)。

時(shí)鐘單元，在數(shù)字信號(hào)中引入時(shí)鐘信號(hào)，用于進(jìn)行時(shí)鐘控制。

本發(fā)明實(shí)施例提供的一種或多種技術(shù)方案，至少具備以下有益效果：

本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法及裝置，改該方法按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)；將緩沖區(qū)的數(shù)據(jù)送入FPGA芯片進(jìn)行時(shí)域及頻域處理；查找時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)，將時(shí)域信號(hào)及頻域信號(hào)合并判斷后上傳至上位機(jī)。按照時(shí)序?qū)?shù)字信號(hào)中的數(shù)據(jù)存入緩沖區(qū)，再?gòu)木彌_區(qū)取用數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)域及頻域處理，提高了晶圓檢測(cè)裝置檢測(cè)的模擬信號(hào)的提取效率，對(duì)提取的晶圓信號(hào)中的數(shù)據(jù)處理更為穩(wěn)定、準(zhǔn)確。

本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法及裝置，設(shè)置有用于存儲(chǔ)循環(huán)參數(shù)的多個(gè)窗口，每個(gè)窗口相對(duì)獨(dú)立，便于對(duì)不同的循環(huán)參數(shù)進(jìn)行修改而不影響其他窗口，提高了數(shù)據(jù)的處理效率。

本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓檢測(cè)信號(hào)提取方法及裝置，采集到每一段數(shù)據(jù)不止分配至一個(gè)窗口進(jìn)行信號(hào)提取，除排在首端的窗口外，每個(gè)窗口前端設(shè)置一定比例的數(shù)據(jù)均與前一個(gè)窗口后端數(shù)據(jù)相同，提高了數(shù)據(jù)檢測(cè)的靈敏度。

最后所應(yīng)說(shuō)明的是，以上具體實(shí)施方式僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制，盡管參照實(shí)例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。