技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種基于面內(nèi)伸縮模態(tài)諧振器的MEMS磁場(chǎng)傳感器及其制備方法，諧振器的矩形振子由層合結(jié)構(gòu)的磁電復(fù)合材料構(gòu)成，由兩端的固定梁支撐，懸于硅襯底上的空心區(qū)域之上。矩形振子包含從下而上依次設(shè)置疊加的底電極層、壓電層、粘合層、低電阻金屬層和軟鐵磁性合金層。底電極為梳齒狀結(jié)構(gòu)，其延伸部分沿固定梁延長(zhǎng)到外部的硅襯底上，用于接駁外部電路。在底電極的外部延伸終點(diǎn)處，壓電層開通孔以露出下層鉑電極基板。振子的固定梁部分由壓電層和底電極的延伸部分構(gòu)成。諧振器的諧振頻率由諧振器的振子材料、薄膜厚度以及電極尺寸共同決定。采用該諧振器的磁場(chǎng)傳感器可測(cè)量磁場(chǎng)的幅度且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，靈敏度高，能耗低，并與半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容。

技術(shù)研發(fā)人員：朱京希;李嘉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東順德中山大學(xué)卡內(nèi)基梅隆大學(xué)國際聯(lián)合研究院;中山大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610828041
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.14
技術(shù)公布日：2017.01.25