本發(fā)明關(guān)于一種自動測試設(shè)備的群組化時間測量模塊及其方法，特別是可以一次性地觸發(fā)同一測試群組中的測試通道進(jìn)行時序測量的群組化時間測量模塊及其方法。

背景技術(shù)：

集成電路元件在出廠前必須經(jīng)過自動測試設(shè)備(automatictestingequipment，ate)進(jìn)行多種電氣測試，以確定集成電路元件的使用功能及品質(zhì)。而時間測量模塊是自動測試設(shè)備中的一個測量項目，主要以多個時間測量單元(timemeasurementinit)來測量待測集成電路元件的信號頻率、傳輸延遲、建立/保持時間(setup/holdtime)、上升時間(risetime)、下降時間(falltime)及工作周期(dutycycle)，以取得待測集成電路元件的運(yùn)作時序、待測物兩個事件(event)發(fā)生之間的間隔時間、計算事件發(fā)生的個數(shù)或其他測試結(jié)果。

然而，現(xiàn)有的自動測試設(shè)備中，當(dāng)以具有時間測量單元的測試通道(channels)來對待測集成電路元件進(jìn)行時序測量時，每一個測試通道的時間測量單元都需要被設(shè)定一次檢測內(nèi)容，且于開始進(jìn)行時序測量時，每一個測試通道亦必須分別被觸發(fā)以開始進(jìn)行測量，例如自動測試設(shè)備要使4個測試通道進(jìn)行時序測量時，總共至少要設(shè)定4次檢測內(nèi)容及執(zhí)行4次觸發(fā)。如此一來，現(xiàn)有的自動測試設(shè)備在設(shè)定和觸發(fā)開始測量上必須耗費(fèi)許多的設(shè)定時間和執(zhí)行多道觸發(fā)程序。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明在于提供一種自動測試設(shè)備的群組化時間測量模塊及其方法，藉以解決現(xiàn)有的自動測試設(shè)備耗費(fèi)設(shè)定時間和觸發(fā)程序繁多的問題。

本發(fā)明所揭露的自動測試設(shè)備的群組化時間測量模塊，具有多個測試群組和控制單元。每一個測試群組包含多個測試通道，每一個測試群組中的每一個測試通道具有通道控制單元及時間測量單元。通道控制單元電性連接時間測量單元。通道控制單元依據(jù)觸發(fā)信號提供測試信號至?xí)r間測量單元，使時間測量單元依據(jù)測試信號測量待測信號的時序。待測信號關(guān)聯(lián)于測試通道電性連接的待測物?？刂茊卧娦赃B接測試群組，并依據(jù)選擇信號，產(chǎn)生觸發(fā)信號至其中至少一個測試群組中的每一個測試通道。選擇信號指定其中一個測試群組進(jìn)行時序測量。

本發(fā)明所揭露的自動測試設(shè)備的群組化時間測量方法，具有依據(jù)選擇信號，指定多個測試群組其中至少一個進(jìn)行時序測量，每一個測試群組具有多個測試通道，且每一個測試通道具有時間測量單元。被指定的測試群組中的每一個測試通道接收觸發(fā)信號。觸發(fā)接收到觸發(fā)信號的每一個測試通道的時間測量單元。被觸發(fā)的時間測量單元測量待測信號的時序。待測信號關(guān)聯(lián)于測試通道電性連接的待測物。

根據(jù)上述本發(fā)明所揭露的自動測試設(shè)備的群組化時間測量模塊及其方法，藉由群組化測試通道的方式，在設(shè)定檢測內(nèi)容方面，自動測試設(shè)備可以一次性地設(shè)定多個測試通道，在觸發(fā)程序方面，亦可以一次性地觸發(fā)一個或多個測試群組，使測試群組中的測試通道被觸發(fā)以進(jìn)行待測物的時序測量，據(jù)以減少自動測試設(shè)備設(shè)定和進(jìn)行觸發(fā)程序的時間，提升測量效率。

以上的關(guān)于本揭露內(nèi)容的說明及以下的實施方式的說明用以示范與解釋本發(fā)明的精神與原理，并且提供本發(fā)明的專利申請范圍更進(jìn)一步的解釋。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明一實施例所繪示的自動測試設(shè)備的功能方塊圖。

圖2是根據(jù)本發(fā)明一實施例所繪示的測試通道的功能方塊圖。

圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實施例所繪示的時間測量單元的功能方塊圖。

圖4是根據(jù)本發(fā)明再一實施例所繪示的群組化時間測量方法的步驟流程圖。

其中，附圖標(biāo)記：

10自動測試設(shè)備

11控制單元

13通道控制單元

15時間測量單元

151同步電路

152參考計數(shù)器

153測量電路

17輸入輸出接口

20待測物

30主機(jī)

ga～gx測試群組

a1～an、b1～bm、x1～xi測試通道

rfc參考時脈

rfr重置信號

wc工作時脈

ce致能信號

sc擷取時脈

rfs參考計數(shù)信號

具體實施方式

以下在實施方式中詳細(xì)敘述本發(fā)明的詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)，其內(nèi)容足以使任何熟習(xí)相關(guān)技藝者了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實施，且根據(jù)本說明書所揭露的內(nèi)容、申請專利范圍及圖式，任何熟習(xí)相關(guān)技藝者可輕易地理解本發(fā)明相關(guān)的目的及優(yōu)點(diǎn)。以下的實施例是進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明的觀點(diǎn)，但非以任何觀點(diǎn)限制本發(fā)明的范疇。

請參照圖1及圖2，圖1是根據(jù)本發(fā)明一實施例所繪示的自動測試設(shè)備的功能方塊圖，圖2是根據(jù)本發(fā)明一實施例所繪示的測試通道的功能方塊圖。如圖1所示，自動測試設(shè)備10具有控制單元11及多個測試群組ga～gx，每一個測試群組中又分別具有多個測試通道，例如測試群組ga中具有測試通道a1～an、測試群組gb中具有測試通道b1～bm及測試群組gx中具有測試通道x1～xi。

于自動測試設(shè)備10的群組化時間測量模塊中，每一個測試群組中的每一個測試通道具有通道控制單元及時間測量單元。為了方便說明，以測試通道a1來進(jìn)行說明，如圖2所示，測試通道a1具有通道控制單元13、時間測量單元15及輸入輸出接口17。通道控制單元13電性連接控制單元11及時間測量單元15，用以依據(jù)控制單元11產(chǎn)生的觸發(fā)信號，提供測試信號至?xí)r間測量單元15，使時間測量單元15依據(jù)測試信號來測量待測信號的時序。輸入輸出接口17電性連接時間測量單元15及待測物20，用以接收關(guān)聯(lián)于待測物20的待測信號，并將待測信號輸出給時間測量單元15。待測信號例如為自動測試設(shè)備10輸出至待測物20以檢測待測物20的信號，亦例如為待測物20受自動測試設(shè)備10的檢測而回復(fù)給自動測試設(shè)備10的信號，本實施例不予限制。

于一個實施例中，自動測試設(shè)備10電性連接主機(jī)30，且依據(jù)主機(jī)30所下的選擇信號，指定多個測試群組ga～gx其中至少一個測試群組進(jìn)行時序測量。也就是說，當(dāng)主機(jī)30指定測試群組ga進(jìn)行時序測量時，控制單元11會產(chǎn)生觸發(fā)信號至測試群組ga中的每一個測試通道，使測試群組ga中的每一個測試通道進(jìn)行時序測量。以測試群組ga的測試通道a1為例來說，當(dāng)控制單元11指定測試群組ga進(jìn)行時序測量時，測試通道a1的通道控制單元13會接收到觸發(fā)信號，并輸出測試信號至?xí)r間測量單元15，以觸發(fā)時間測量單元15通過輸入輸出接口17來測量待測信號的時序。

于本實施例中，測試通道未限制以實體連接的方式包含于測試群組中，且于不同的測試程序中，測試通道會被配置于不同的測試群組，例如當(dāng)自動測試設(shè)備10用以測試待測物a時，測試通道a1被配置于測試群組ga，當(dāng)自動測試設(shè)備10用以測試待測物b時，測試通道a1被配置于測試群組gb。實際上，測試通道是依據(jù)預(yù)設(shè)對待測物檢測的內(nèi)容而被配置于測試群組中，例如預(yù)設(shè)檢測相同內(nèi)容的測試通道會被配置于同一個測試群組中，換言之，同一個測試群組中的每一個測試通道將以相同的設(shè)定對待測物進(jìn)行測量，但不以此為限。于所屬技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識者亦可以對每一個測試通道設(shè)定不同的檢測內(nèi)容，本實施例不予限制。

為了更清楚時間測量單元15測量待測信號的方法，茲舉一個實施例說明。請參照圖3，圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實施例所繪示的時間測量單元的功能方塊圖，如圖3所示，時間測量單元15具有同步電路151、參考計數(shù)器152以及測量電路153，且通道控制單元13提供參考時脈rfc與重置信號rfr作為測試信號給時間測量單元15。

時間測量單元15的同步電路151接收通道控制單元13提供的參考時脈rfc與重置信號rfr，并依據(jù)參考時脈rfc與重置信號rfr其中至少一分別產(chǎn)生工作時脈wc、致能信號ce與擷取時脈sc，其中工作時脈wc輸出給參考計數(shù)器152和測量電路153，致能信號ce提供給參考計數(shù)器152，擷取時脈sc提供給測量電路153。

參考計數(shù)器152依據(jù)同步電路151產(chǎn)生的致能信號ce，對工作時脈wc進(jìn)行計數(shù)，以提供參考計數(shù)信號rfs給測量電路153。測量電路153依據(jù)工作時脈wc進(jìn)行運(yùn)作，并依據(jù)同步電路151產(chǎn)生的擷取時脈sc，通過輸入輸出接口17來擷取待測信號。測量電路153以參考計數(shù)信號rfs作為時序的基準(zhǔn)，測量并記錄待測信號的時序，并將記錄的結(jié)果經(jīng)由控制單元11傳送至主機(jī)30。

于另一個實施例中，測試群組ga～gx的每一個測試通道設(shè)定有一個測量條件，并當(dāng)每一個測試通道的時間測量單元測量待測信號的時序時，時間測量單元依據(jù)測量條件，判斷并記錄待測信號符合測量條件的時間點(diǎn)。舉例來說，測量條件例如為測量次數(shù)10次及門檻值設(shè)定為正緣2v。當(dāng)測量電路153通過輸入輸出接口17測量到待測信號于正緣觸發(fā)且電壓到達(dá)2v時，測量電路153記錄該時間點(diǎn)，并連續(xù)記錄10次。當(dāng)記錄符合測量條件的時間點(diǎn)達(dá)10次時，測量電路153通過通道控制單元13輸出測量結(jié)果至控制單元11。測量結(jié)果即為10次待測信號符合門檻值的時間點(diǎn)。此外，于本實施例中，測量條件設(shè)定于每個測試通道的通道控制單元13中，于其他實施例亦可通過其他合適的方式來設(shè)定每個測試通道的測量條件，本實施例不予限制。

于前述的實施例中，雖然以測試通道a1為例來說，實際上于所屬技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識者可以從前述的揭示中，推得其他測試通道的運(yùn)作方式。接下來，將說明自動測試設(shè)備10群組化設(shè)定測試通道和觸發(fā)測試通道的方式。為了方便說明，請重新參照圖1，于圖1中雖然是顯示一個待測物20，但實際上待測物20可以為一個或多個待測的半導(dǎo)體元件。舉例來說，當(dāng)有10個待測的半導(dǎo)體元件時，每一個待測半導(dǎo)體元件的接腳a被設(shè)定檢測相同的內(nèi)容，則10個待測半導(dǎo)體元件的接腳a所電性連接的測試通道會被設(shè)定于測試群組ga中。于另一種實施方式中，當(dāng)一個待測半導(dǎo)體的接腳b～f被設(shè)定檢測相同的內(nèi)容，且接腳g～k被設(shè)定檢測另一種內(nèi)容時，則接腳b～g電性連接的測試通道會被設(shè)定于測試群組gb中，接腳g～k電性連接的測試通道會被設(shè)定于另一個測試群組gc中。

同理地，于再一種實施方式中，當(dāng)有10個待測的半導(dǎo)體元件時，每一個待測半導(dǎo)體元件的接腳b～f被設(shè)定檢測相同的內(nèi)容，接腳g～k被設(shè)定檢測另一種內(nèi)容時，10個待測半導(dǎo)體元件中每一個半導(dǎo)體元件的接腳b～f電性連接的測試通道會被設(shè)定于同一個測試群組gb中，而每一個半導(dǎo)體元件的接腳g～k電性連接的測試通道會被設(shè)定于同一個測試群組gc中。

于一個實施例中，通道對應(yīng)表記錄每一個測試群組所包含的測試通道。通道對應(yīng)表可以儲存于控制單元11或其他的記憶單元中，當(dāng)控制單元11接收到主機(jī)30用以設(shè)定測試通道檢測內(nèi)容的指令時，控制單元11依據(jù)通道對應(yīng)表設(shè)定每一個測試群組的測量條件。例如主機(jī)30指示測試群組ga的測量條件為正緣2v時，則控制單元11會自動地設(shè)定測試群組ga中每一個測試通道a1～an的測量條件為正緣2v。換言之，藉由本實施例揭示的群組化時間測量模塊，自動測試設(shè)備10可以一次性地設(shè)定所有需要被設(shè)定為相同測量條件的測試通道，而不用分別地對每一個測試通道進(jìn)行設(shè)定。另一方面，當(dāng)開始進(jìn)行時序測量時，自動測試設(shè)備10亦可以一次性地觸發(fā)同一個測試群組中的所有測試通道進(jìn)行時序測量。

為了更清楚說明群組化時間測量模塊的實施方式，以下以一個具體實際的例子來說明。以自動測試設(shè)備10檢測三個待測晶片的運(yùn)作時間為例來說，自動測試設(shè)備10通過測試通道a1提供測量信號至第一待測晶片的接腳pin1_1，通過測試通道a2提供測量信號至第二待測晶片的接腳pin2_1和通過測試通道a3提供測量信號至第三待測晶片的接腳pin3_1。并且，自動測試設(shè)備10通過測試通道b1來測試第一待測晶片從接腳pin1_2輸出至自動測試設(shè)備10的反饋信號，通過測試通道b2來測試第二待測晶片從接腳pin2_2輸出至自動測試設(shè)備10的反饋信號，通過測試通道b3來測試第三待測晶片從接腳pin3_2輸出至自動測試設(shè)備10的反饋信號。

當(dāng)主機(jī)30指示自動測試設(shè)備10設(shè)定測試通道a1～a3的測量條件為正緣觸發(fā)2v的時間點(diǎn)10次，并指示自動測試設(shè)備10設(shè)定測試通道b1～b3的測量條件為負(fù)緣觸發(fā)2v的時間點(diǎn)10次，自動測試設(shè)備10就會將測試通道a1～a3包含于測試群組ga中，測試通道b1～b3包含測試群組gb中，并通過控制單元11設(shè)定測試群組ga的測量條件為正緣觸發(fā)2v的時間點(diǎn)10次，并設(shè)定測試群組gb的測量條件為負(fù)緣觸發(fā)2v的時間點(diǎn)10次。

接著，主機(jī)30指定測試群組ga和測試群組gb進(jìn)行時序測量。自動測試設(shè)備10依據(jù)主機(jī)30下的指示，使控制單元11產(chǎn)生觸發(fā)信號至測試群組ga中的測試通道a1～a3和測試群組gb中的測試通道b1～b3。測試通道a1～a3的時間測量單元被觸發(fā)，對自動測試設(shè)備10提供至第一待測晶片、第二待測晶片和第二待測晶片的測量信號進(jìn)行時序測量。測試通道b1～b3中的時間測量單元亦被觸發(fā)，對第一待測晶片、第二待測晶片和第二待測晶片輸出至自動測試設(shè)備10的反饋信號進(jìn)行時序測量。

當(dāng)測試通道a1～a3和測試通道b1～b3測量結(jié)束后，每一個測試通道可以分別將測量結(jié)果輸出至控制單元11，抑或是每一個測試群組中的測試通道都測量結(jié)束后，再將測試群組的測量結(jié)果輸出至控制單元11，本實施例不予限制。當(dāng)測試通道a1～a3和測試通道b1～b3將測量的結(jié)果輸出至控制單元11后，控制單元11比對測試通道a1和測試通道b1的測量結(jié)果，判斷第一待測晶片的運(yùn)作時間，比對測試通道a2和測試通道b2的測量結(jié)果，判斷第二待測晶片的運(yùn)作時間，比對測試通道a3和測試通道b3的測量結(jié)果，判斷第三待測晶片的運(yùn)作時間。換言之，控制單元11比對兩個不同測試群組中，用以測量同一個待測晶片的待測通道的測量結(jié)果，判斷待測晶片的測試結(jié)果。于一個實施例中，控制單元11亦可以預(yù)設(shè)一個測試標(biāo)準(zhǔn)，并依據(jù)測試標(biāo)準(zhǔn)判斷待測晶片的測試結(jié)果是否符合標(biāo)準(zhǔn)。

于本實施例中，當(dāng)主機(jī)30指定測試群組ga和測試群組gb進(jìn)行時序測量時，自動測試設(shè)備10將測試群組ga和測試群組gb視作為另一測試群組，而對測試群組ga和測試群組gb一次性地觸發(fā)。于其他實施例中，主機(jī)30亦可以分別下指令來觸發(fā)測試群組ga和測試群組gb進(jìn)行時序測量，本實施例不予限制。當(dāng)自動測試設(shè)備10將測試群組ga和測試群組gb視作為一個測試群組來觸發(fā)時，自動測試設(shè)備10則可以更有效率地控制測試群組ga和測試群組gb來進(jìn)行時序測量。

自動測試設(shè)備10群組化測試通道的方式例如以軟件或固件設(shè)定、實體電路連接、開關(guān)切換或其他合適的實現(xiàn)方式，本實施例不予限制。此外，前述所舉的實施例僅為方便說明之用，并非用以限制本發(fā)明。

接下來說明本實施例群組化時間測量方法，為了方便說明請一并參照圖1與圖4，圖4是根據(jù)本發(fā)明再一實施例所繪示的群組化時間測量方法的步驟流程圖。如圖所示，于步驟s401中，控制單元11依據(jù)選擇信號，指定多個測試群組ga～gx中，至少一個測試群組進(jìn)行時序測量。于步驟s403中，被指定的測試群組中的每一個測試通道接收觸發(fā)信號。于步驟s405中，觸發(fā)接收到觸發(fā)信號的每一個測試通道的時間測量單元。于步驟s407中，被觸發(fā)的時間測量單元測量待測信號的時序。本實施例所述的群組化時間測量方法實際上均已經(jīng)揭露在前述記載的實施例中，本實施例在此不重復(fù)說明

綜合以上所述，根據(jù)上述實施例所揭露的自動測試設(shè)備的群組化時間測量模塊及其方法，自動測試設(shè)備可以藉由群組化測試通道的方式，一次性地對多個測試通道設(shè)定，抑或是選擇一個或多個測試群組，以一次性地觸發(fā)測試群組中的每一個測試通道開始進(jìn)行待測物的時序測量，據(jù)以減少自動測試設(shè)備設(shè)定和進(jìn)行觸發(fā)程序的時間，進(jìn)而提升自動測試設(shè)備的測量效率。

當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實施例，在不背離本發(fā)明精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明做出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。