本發(fā)明屬于檢測設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及用于對硅片進(jìn)行切割的切割鋼絲的光學(xué)檢測裝置。

背景技術(shù)：

多線切割是以金屬絲作為載體，由金屬絲在高速運(yùn)動中攜帶超硬磨料，通過磨料對高硬材料(如晶體硅，碳化硅，藍(lán)寶石，水晶等)進(jìn)行滾挖研磨以實(shí)現(xiàn)切割。該方式以切割效率高、切割鋸縫小、材料損失少、切割精度高、表面質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)成為當(dāng)前的主要生產(chǎn)方式。其中，金屬絲作為攜帶磨料的載體，在切割過程中的穩(wěn)定性以及攜帶磨料的能力，對于切割效率及產(chǎn)品質(zhì)量均起到極其重要的作用。

目前廣泛使用的金屬絲是表面光滑的圓形結(jié)構(gòu)(直線式金屬絲)，其突出優(yōu)點(diǎn)在于金屬絲能夠在環(huán)繞其切割進(jìn)給的方向均勻攜帶磨料，從而帶來穩(wěn)定的切割表面質(zhì)量。通常情況下，可以通過增加金屬絲的直徑增加金屬絲的表面積，從而增強(qiáng)金屬絲攜帶磨料的能力以提高切割效率，代價(jià)是由此會引起鋸縫的寬度增加，從而帶來切割過程中材料損失的增加。切割效率的提升亦可通過加大磨料的平均粒徑以及棱角尖銳度等方式實(shí)現(xiàn)。

由于圓形結(jié)構(gòu)的金屬絲攜帶磨料的能力有限，人們設(shè)計(jì)出了各種結(jié)構(gòu)性的金屬絲，來提高金屬絲攜帶磨料的能力，如何來對金屬絲的質(zhì)量進(jìn)行掌控呢，這就需要對金屬絲表面的結(jié)構(gòu)和參數(shù)進(jìn)行測量。

現(xiàn)有技術(shù)中對金屬絲的檢測主要通過測量投影儀來對金屬絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行人工手動測量，

首先，測量投影儀測量的金屬絲的二維投影，只能測量某一測量方向上的結(jié)構(gòu)，而切割用的金屬絲為三維空間結(jié)構(gòu)體，測量不同方向上的結(jié)構(gòu)，需要人工對金屬絲進(jìn)行轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動過程中存在兩端轉(zhuǎn)動不同步，金屬絲可能存在扭轉(zhuǎn)的問題，測量精度較差，無法準(zhǔn)確的對金屬絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行合格判定；且現(xiàn)有技術(shù)中無法對金屬進(jìn)行負(fù)載測試，無法模擬金屬絲工作狀態(tài)進(jìn)行測試；

其次，硅片切割的金屬絲的直徑在0.08-0.60mm之間，其表面的結(jié)構(gòu)的尺寸更小，現(xiàn)有技術(shù)中的測量投影儀的測量精度在5μm，其最后的精度都是靠人工估讀出來的，精度較差，對于一些細(xì)微的結(jié)構(gòu)誤差，可能無法測量出來，但這細(xì)微的誤差，在硅片切割過程中對硅片表面的質(zhì)量存在嚴(yán)重的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述技術(shù)問題，本發(fā)明設(shè)計(jì)一種自動化的線材的光學(xué)檢測裝置，在模擬金屬絲的工作狀態(tài)下，能夠快速準(zhǔn)確的對金屬絲的空間結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量，對金屬絲的質(zhì)量進(jìn)行判定。

實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

線材的光學(xué)檢測裝置，其包括承載的底座，底座上對稱設(shè)有一組支座，其特征在于：

支座上設(shè)有對線材進(jìn)行夾緊、張緊和旋轉(zhuǎn)的準(zhǔn)直組件；

光學(xué)成像組件，光學(xué)成像組件位于支座之間，且活動連接在底座上，并能進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動；

本發(fā)明通過準(zhǔn)直組件對金屬絲進(jìn)行夾緊固定，并能夠在金屬絲上施加拉力來模擬金屬絲的工作狀態(tài)，且能夠旋轉(zhuǎn)，方便對金屬絲的空間結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量，設(shè)置的光學(xué)成像組件能夠往復(fù)運(yùn)動，對一段距離上的金屬絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量。

所述的準(zhǔn)直組件包括分別設(shè)置在支座上的定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件，定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件上均設(shè)置有對線材定位的定心組件，設(shè)置的定心組件用于對線材進(jìn)行固定，保證定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件在同一軸線上。

所述的支座上還設(shè)有驅(qū)動定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件同步轉(zhuǎn)動的同步機(jī)構(gòu)，設(shè)置的同步機(jī)構(gòu)同時(shí)驅(qū)動定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件，避免測量過程中線材出現(xiàn)扭轉(zhuǎn)的問題，保證了測量的精度。

所述的同步機(jī)構(gòu)包括安裝在兩個(gè)支座上的同步轉(zhuǎn)軸，支座上設(shè)有驅(qū)動同步轉(zhuǎn)軸的同步電機(jī)，同步轉(zhuǎn)軸通過同步帶與定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件連接。

所述的定旋轉(zhuǎn)組件包括連接在支座上的轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸的一端設(shè)有萬向調(diào)節(jié)組件，定心組件連接在萬向調(diào)節(jié)組件上，支座上設(shè)有軸套，轉(zhuǎn)軸安裝在支座的軸套內(nèi)，轉(zhuǎn)軸端部設(shè)置的萬向調(diào)節(jié)組件能夠?qū)崿F(xiàn)各個(gè)方向的微調(diào)，保證線材兩端定位的精度，定心組件用于對線材進(jìn)行定位和夾持。

在轉(zhuǎn)軸和萬向調(diào)節(jié)組件之間設(shè)有拉力傳感器，拉力傳感器用于對施加在線材上的拉力進(jìn)行檢測，精確的模擬線材的使用環(huán)境。

所述的動旋轉(zhuǎn)組件包括連接在支座上的轉(zhuǎn)動套，所述的轉(zhuǎn)動套內(nèi)設(shè)有滑動的連接軸，連接軸的一端設(shè)有萬向調(diào)節(jié)組件，定心組件連接在萬向調(diào)節(jié)組件上，另一端設(shè)有驅(qū)動連接軸滑動的預(yù)緊動力裝置。

所述的光學(xué)成像組件包括投影傳感器，投影傳感器連接在往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)上，往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)連接在底座上。

所述的往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在底座上的滑軌，移動座活動連接在滑軌上，投影傳感器連接在移動座上，所述的底座上設(shè)置有伺服電機(jī)，伺服電機(jī)連接有絲桿，絲桿與移動座連接，或者所述的往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在底座上的直線電機(jī)，移動座連接在直線電機(jī)上，投影傳感器連接在移動座上。

定心組件包括固定塊，固定塊上具有一個(gè)平面，平面包括安裝平面和定位平面，還包括調(diào)整塊，調(diào)整塊連接在固定塊的安裝平面上，所述的調(diào)整塊上具有傾斜平面，傾斜平面與定位平面形成v形定位區(qū)，所述的傾斜平面和定位平面為具有坡度的平面。

所述的萬向調(diào)節(jié)組件包括連接部，連接部上設(shè)有萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與夾持部連接，定心組件連接在夾持部上，設(shè)置的萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)能夠?qū)A持部的軸線進(jìn)行調(diào)節(jié)，保證動旋轉(zhuǎn)組件和定旋轉(zhuǎn)組件的定心組件在同一軸線上。

所述的萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置的連接部軸向端面上的調(diào)節(jié)孔，連接部周面上均布設(shè)有伸入調(diào)節(jié)孔的調(diào)節(jié)螺釘，所述的夾持部的軸向端面上設(shè)有調(diào)節(jié)柱，調(diào)節(jié)柱伸入調(diào)節(jié)孔內(nèi)且與調(diào)節(jié)螺釘連接，所述的夾持部的軸向端面設(shè)有鎖緊環(huán)，鎖緊環(huán)通過螺釘與連接部的軸向端面連接。

所述的萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括連接部軸向端面上均布設(shè)置的調(diào)節(jié)鎖緊孔，所述夾持部的端面的軸線上設(shè)有球狀凸起，球狀凸起四周的夾持部上設(shè)有連接環(huán)，連接環(huán)上通過調(diào)節(jié)鎖緊螺釘與調(diào)節(jié)鎖緊孔連接，所述的球狀凸起與連接部的軸向端面相抵。

綜上所述，本發(fā)明具有以下有益效果：

1、本發(fā)明通過準(zhǔn)直組件對金屬絲進(jìn)行夾緊固定，并能夠在金屬絲上施加拉力來模擬金屬絲的工作狀態(tài)，解決了原來金屬絲無法精確加力測試的問題；且能夠旋轉(zhuǎn)，方便對金屬絲的空間結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量，設(shè)置的光學(xué)成像組件能夠往復(fù)運(yùn)動，對一段距離上的金屬絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量。

2、本發(fā)明中金屬絲采用開放式夾緊，可以快速的對線材進(jìn)行裝夾，且萬向調(diào)節(jié)組件能夠快速的進(jìn)行同軸度的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了線材的空間結(jié)構(gòu)測量的自動化，測量速度快，精度高，克服了現(xiàn)有技術(shù)中人工測量存在的精度差，效率低的問題，進(jìn)一步的，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不受外部因素的干擾，提高了被測產(chǎn)品的一致性，即也提高了被金屬絲加工而成的產(chǎn)品的良率。

附圖說明

圖1為線材的光學(xué)檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為動旋轉(zhuǎn)組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為定旋轉(zhuǎn)組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為定心組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為萬向調(diào)節(jié)組件的爆炸示意圖；

圖6為圖5的組合后的正視示意圖；

圖7為圖6中a-a向的剖視示意圖；

圖8為另一種方式的萬向調(diào)節(jié)組件的爆炸示意圖；

圖9為圖8組合后的正視示意圖；

圖10為光學(xué)成像單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中1為底座，2為支座，21為軸套，3為光學(xué)成像組件，4為定旋轉(zhuǎn)組件，5為動旋轉(zhuǎn)組件，6為同步機(jī)構(gòu)，7為萬向調(diào)節(jié)組件，8為定心組件，41為轉(zhuǎn)軸，42為拉力傳感器，51為轉(zhuǎn)動套，52為連接軸，53為預(yù)緊動力裝置，31為投影傳感器，32為往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)，321為導(dǎo)軌，322為移動座，324為絲桿，81為調(diào)整塊，82為固定塊，811為傾斜平面，821為安裝平面，822為定位平面，83為v形定位區(qū)，71為連接部，73為夾持部，711為調(diào)節(jié)孔，72為鎖緊環(huán)，74為螺釘，75為調(diào)節(jié)柱，76為調(diào)節(jié)螺釘，712為調(diào)節(jié)鎖緊孔，78為連接環(huán)，79為調(diào)節(jié)鎖緊螺釘，790為球狀凸起。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。

如圖1所示，線材的光學(xué)檢測裝置，其包括承載的底座1，底座1上對稱設(shè)有一組支座2，支座2上設(shè)有對線材進(jìn)行夾緊、張緊和旋轉(zhuǎn)的準(zhǔn)直組件；

光學(xué)成像組件3，光學(xué)成像組件位于支座之間，且活動連接在底座上，并能進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動；

本發(fā)明通過準(zhǔn)直組件對金屬絲進(jìn)行夾緊固定，并能夠在金屬絲上施加拉力來模擬金屬絲的工作狀態(tài)，且能夠旋轉(zhuǎn)，方便對金屬絲的空間結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量，設(shè)置的光學(xué)成像組件能夠往復(fù)運(yùn)動，對一段距離上的金屬絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量，從而來獲得金屬絲的質(zhì)量進(jìn)行判定。

所述的準(zhǔn)直組件包括分別設(shè)置在支座3上的定旋轉(zhuǎn)組件4和動旋轉(zhuǎn)組件5，定旋轉(zhuǎn)組件4和動旋轉(zhuǎn)組件5上均設(shè)置有對線材定位的定心組件8，設(shè)置的定心組件用于對線材進(jìn)行固定，保證定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件在同一軸線上，設(shè)置的動旋轉(zhuǎn)組件和定旋轉(zhuǎn)組件用于對線材進(jìn)行夾緊固定，并能夠驅(qū)動線材進(jìn)行轉(zhuǎn)動，能夠?qū)€材的立體參數(shù)進(jìn)行測量。

所述的支座2上還設(shè)有驅(qū)動定旋轉(zhuǎn)組件4和動旋轉(zhuǎn)組件5同步轉(zhuǎn)動的同步機(jī)構(gòu)6，設(shè)置的同步機(jī)構(gòu)同時(shí)驅(qū)動定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件，避免測量過程中線材出現(xiàn)扭轉(zhuǎn)的問題，保證了測量的精度。

所述的同步機(jī)構(gòu)包括安裝在兩個(gè)支座上的同步轉(zhuǎn)軸，支座上設(shè)有驅(qū)動同步轉(zhuǎn)軸的同步電機(jī)，同步轉(zhuǎn)軸通過傳動單元與定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件連接，優(yōu)選的傳動單元為同步帶或者齒輪傳動單元。

進(jìn)一步的說，所述的同步機(jī)構(gòu)可以為兩個(gè)可以同步控制的驅(qū)動電機(jī)，驅(qū)動電機(jī)分別與定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件，采用同一控制器進(jìn)行控制，保證定旋轉(zhuǎn)組件和動旋轉(zhuǎn)組件轉(zhuǎn)動的同步性，避免轉(zhuǎn)動過程中金屬絲出現(xiàn)扭轉(zhuǎn)的問題。

如圖3所所示，所述的定旋轉(zhuǎn)組件包括連接在支座上的轉(zhuǎn)軸41，轉(zhuǎn)軸41的一端設(shè)有萬向調(diào)節(jié)組件7，定心組件8連接在萬向調(diào)節(jié)組件7上，支座2上設(shè)有軸套21，轉(zhuǎn)軸41安裝在支座的軸套21內(nèi)，轉(zhuǎn)軸41端部設(shè)置的萬向調(diào)節(jié)組件7能夠?qū)崿F(xiàn)各個(gè)方向的微調(diào)，保證線材兩端定位的精度，定心組件用于對線材進(jìn)行定位和夾持。

在轉(zhuǎn)軸41和萬向調(diào)節(jié)組件7之間設(shè)有拉力傳感器42，拉力傳感器42用于對施加在線材上的拉力進(jìn)行檢測，精確的模擬線材的使用環(huán)境，避免裝配結(jié)構(gòu)存在的摩擦力對環(huán)境模擬存在的影響。

如圖2所示，所述的動旋轉(zhuǎn)組件包括連接在支座上的轉(zhuǎn)動套51，所述的轉(zhuǎn)動套51內(nèi)設(shè)有滑動的連接軸52，連接軸52的一端設(shè)有萬向調(diào)節(jié)組件7，定心組件8連接在萬向調(diào)節(jié)組件7上，另一端設(shè)有驅(qū)動連接軸52滑動的預(yù)緊動力裝置53，轉(zhuǎn)動套的轉(zhuǎn)動實(shí)現(xiàn)動旋轉(zhuǎn)組件與定旋轉(zhuǎn)組件的同步轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動過程中，轉(zhuǎn)動套帶動連接軸轉(zhuǎn)動，連接軸相對于轉(zhuǎn)動套可以滑動，實(shí)現(xiàn)在線材上加力，便于模擬線材的工作環(huán)境，預(yù)緊動力裝置用于驅(qū)動連接軸52在轉(zhuǎn)動套內(nèi)移動，從而實(shí)現(xiàn)向線材施加作用力，優(yōu)選的，預(yù)緊動力裝置為伺服電機(jī)和絲桿機(jī)構(gòu)，其能精度的控制加力的大小，從而實(shí)現(xiàn)使用狀態(tài)的精確模擬。

所述的光學(xué)成像組件3包括投影傳感器31，投影傳感器31連接在往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)32上，往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)32連接在底座1上，所述的投影傳感器優(yōu)選的為激光投影傳感器，激光投影傳感器具有較好的精度，能夠?qū)π≈睆骄€材的三維結(jié)構(gòu)進(jìn)行準(zhǔn)確的測量，方便使用者準(zhǔn)確的對線材的結(jié)構(gòu)進(jìn)行判定，進(jìn)一步的，投影傳感器也可以是傳統(tǒng)的投影成像傳感器，傳統(tǒng)的投影成型傳感器可以用于對軸類、盤類零件的跳動的檢測。

如圖10所示，所述的往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)32包括設(shè)置在底座1上的滑軌321，移動座322活動連接在滑軌321上，投影傳感器31連接在移動座322上，所述的底座1上設(shè)置有伺服電機(jī)，伺服電機(jī)連接有絲桿324，絲桿324與移動座322連接，所述的伺服機(jī)構(gòu)位于底座上設(shè)置的殼體內(nèi)，在附圖中并沒有顯示，伺服電機(jī)與絲桿的驅(qū)動方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員很容易理解。

或者所述的往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在底座1上的直線電機(jī)，移動座322連接在直線電機(jī)上，投影傳感器31連接在移動座322上，直線電機(jī)與底座的安裝關(guān)系簡單，故沒有繪制附圖來加以詮釋。

上述往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)投影傳感器的移動，由于激光投影傳感器的測試范圍很小，無法在一個(gè)測試范圍內(nèi)完成對線材的測試，故需要移動來擴(kuò)大投影傳感器的測量范圍，滿足測試需要，且上述往復(fù)運(yùn)動機(jī)構(gòu)的傳動穩(wěn)定性好，平穩(wěn)性好，有利于投影傳感器進(jìn)行測試。

定心組件包括固定塊82，固定塊82上具有一個(gè)平面，平面包括安裝平面821和定位平面822，還包括調(diào)整塊81，調(diào)整塊81連接在固定塊82的安裝平面821上，所述的調(diào)整塊81上具有傾斜平面811，傾斜平面811與定位平面822形成v形定位區(qū)83，所述的傾斜平面811和定位平面822為具有坡度的平面，線材嵌在v型形定位區(qū)的凹槽的底部，由于傾斜平面和定位平面為具有坡度的平面，其與線材的接觸為點(diǎn)接觸，具有較好的定位準(zhǔn)確性，克服了現(xiàn)有技術(shù)中采用線切割加工線材定位槽存有定位誤差的問題，保證了定位精度。

如圖5所示，所述的萬向調(diào)節(jié)組件包括連接部71，連接部71上設(shè)有萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與夾持部73連接，定心組件8連接在夾持部73上，設(shè)置的萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)能夠?qū)A持部的軸線進(jìn)行調(diào)節(jié)，保證動旋轉(zhuǎn)組件和定旋轉(zhuǎn)組件的定心組件在同一軸線上。

如圖6和圖7所示，所述的萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置的連接部71軸向端面上的調(diào)節(jié)孔711，連接部71周面上均布設(shè)有伸入調(diào)節(jié)孔的調(diào)節(jié)螺釘76，所述的夾持部73的軸向端面上設(shè)有調(diào)節(jié)柱75，調(diào)節(jié)柱75伸入調(diào)節(jié)孔711內(nèi)且與調(diào)節(jié)螺釘76連接，所述的夾持部73的軸向端面設(shè)有鎖緊環(huán)72，鎖緊環(huán)72通過螺釘74與連接部71的軸向端面連接，此方式中，通過調(diào)節(jié)螺釘從不同的方向?qū)φ{(diào)節(jié)柱施加作用力，從而使夾持部在不同方向上出現(xiàn)細(xì)微的位移變化，繼而找到較為準(zhǔn)確的軸線位置，保證了動旋轉(zhuǎn)組件和定旋轉(zhuǎn)組件的同軸度。

如圖8和圖9所示，所述的萬向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括連接部軸向端面上均布設(shè)置的調(diào)節(jié)鎖緊孔712，所述夾持部73的端面的軸線上設(shè)有球狀凸起790，球狀凸起790四周的夾持部上設(shè)有連接環(huán)78，連接環(huán)78上通過調(diào)節(jié)鎖緊螺釘79與調(diào)節(jié)鎖緊孔712連接，所述的球狀凸起790與連接部71的軸向端面相抵，此方式中夾持部的球狀凸起與連接部的軸向端面相抵，然后通過控制調(diào)節(jié)鎖緊螺釘旋入的深度來控制夾持部的軸線的位置，繼而找到準(zhǔn)確的軸線位置，保證了動旋轉(zhuǎn)組件和定旋轉(zhuǎn)組件的同軸度。

綜上所述，本發(fā)明具有以下有益效果：

1、本發(fā)明通過準(zhǔn)直組件對金屬絲進(jìn)行夾緊固定，并能夠在金屬絲上施加拉力來模擬金屬絲的工作狀態(tài)，解決了原來金屬絲無法精確加力測試的問題；且能夠旋轉(zhuǎn)，方便對金屬絲的空間結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量，設(shè)置的光學(xué)成像組件能夠往復(fù)運(yùn)動，對一段距離上的金屬絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量。

2、本發(fā)明中金屬絲采用開放式夾緊，可以快速的對線材進(jìn)行裝夾，且萬向調(diào)節(jié)組件能夠快速的進(jìn)行同軸度的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了線材的空間結(jié)構(gòu)測量的自動化，測量速度快，精度高，克服了現(xiàn)有技術(shù)中人工測量存在的精度差，效率低的問題，進(jìn)一步的，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不受外部因素的干擾，提高了被測產(chǎn)品的一致性，即也提高了被金屬絲加工而成的產(chǎn)品的良率。