本發(fā)明涉及集成電路封裝設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種劃片機視覺切換控制系統(tǒng)及劃片機。

背景技術(shù)：

劃片機是集成電路生產(chǎn)線上將晶圓或硅片分割成獨立單元的設(shè)備。劃片機工作過程中，需要借助視覺系統(tǒng)進行觀察、對準及調(diào)節(jié)，劃片機的視覺系統(tǒng)直接影響產(chǎn)品的劃切質(zhì)量。劃片機視覺系統(tǒng)效果不佳，會造成工作過程中對準效果差、切割道模糊、刀痕偏移等現(xiàn)象，甚至劃壞產(chǎn)品。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種劃片機視覺切換控制系統(tǒng)及劃片機，利用劃片機視覺切換控制系統(tǒng)，解決劃片機在針對不同觀察目標的視覺切換控制問題，準確、清晰地完成劃片機的對準及刀痕校正工作。

本發(fā)明所提供的技術(shù)方案如下：

一種劃片機視覺切換控制系統(tǒng)，包括第一視覺模塊和第二視覺模塊，還包括：

切換控制模塊，用于根據(jù)控制信號控制所述第一視覺模塊或所述第二視覺模塊觀察觀察目標，實現(xiàn)所述第一視覺模塊與所述第二視覺模塊的切換。

采用上述方案，劃片機視覺控制系統(tǒng)通過切換控制模塊實現(xiàn)了觀察目標在第一視覺模塊和第二視覺模塊之間的切換，可以實現(xiàn)針對不同觀察目標準確清晰地完成劃片機的對準及刀痕校正工作。

進一步地，所述第一視覺模塊包括：

第一顯微鏡、第一同軸光源及第一環(huán)形光源，其中，所述第一顯微鏡設(shè)置于所述第一同軸光源上部，所述第一同軸光源固定在所述第一環(huán)形光源的中空圓心部位。

進一步地，所述第二視覺模塊包括：

第二顯微鏡、第二同軸光源及第二環(huán)形光源，其中，所述第二顯微鏡設(shè)置于所述第二同軸光源上部，所述第二同軸光源固定在所述第二環(huán)形光源的中空圓心部位。

進一步地，所述切換控制模塊包括：

光耦、放大器、第一繼電器及第二繼電器；

其中，所述光耦輸出端與所述放大器輸入端連接，所述放大器輸出端分別與所述第一繼電器和所述第二繼電器的輸入端連接；所述第一環(huán)形光源的正極與所述第一同軸光源的正極分別連接所述繼電器的常開觸點；所述第二環(huán)形光源的正極與所述第二同軸光源的正極分別連接所述繼電器的常閉觸點；所述第一環(huán)形光源、所述第一同軸光源、所述第二環(huán)形光源及第二同軸光源連接共同負極；

所述光耦接收控制信號進行信號處理輸出給所述放大器，所述放大器接收所述光耦輸出控制信號；所述控制信號經(jīng)所述放大器處理，輸出給所述第一繼電器和所述第二繼電器；所述第一繼電器和所述第二繼電器接收所述控制信號，實現(xiàn)所述第一視覺模塊和所述第二視覺模塊的切換控制。

進一步地，當控制信號為高電平控制信號時，所述第一繼電器和所述第二繼電器的常開觸點分別與其公共端吸合，所述第一環(huán)形光源的正極和所述第一同軸光的正極與電源連接，所述第一環(huán)形光源和所述第一同軸光源被點亮。

進一步地，當控制信號為低電平控制信號時，所述第一繼電器和所述第二繼電器的常閉觸點分別與其公共端吸合，所述第二環(huán)形光和所述第二同軸光的正極與電源連接，所述第二環(huán)形光源和所述第二同軸光源被點亮，所述第一環(huán)形光源和所述第一同軸光源熄滅。

進一步地，所述劃片機視覺切換控制系統(tǒng)還包括：

晶片臺位移機構(gòu)，所述晶片臺位移機構(gòu)用于控制晶片臺在第一方向移動至預(yù)定位置。

進一步地，所述劃片機視覺切換控制系統(tǒng)還包括：

視覺模塊位移機構(gòu)，所述視覺模塊位移機構(gòu)用于控制所述第一視覺模塊和所述第二視覺模塊沿第二方向移動至預(yù)定位置。

進一步地，所述放大器為達林頓管。

此外，本發(fā)明還提供一種劃片機，包括以上所述的劃片機視覺切換控制系統(tǒng)。

本發(fā)明所帶來的有益效果如下：

本發(fā)明所提供的劃片機視覺切換控制系統(tǒng)，通過切換控制模塊控制第一視覺模塊和第二視覺模塊觀察觀察目標，實現(xiàn)所述第一視覺模塊與所述第二視覺模塊的切換，實現(xiàn)劃片機在針對不同觀察目標的視覺切換控制，準確清晰地完成劃片機的對準及刀痕校正工作；采用電平觸發(fā)設(shè)計，抗干擾能力強，切換控制可靠性高。此外，本發(fā)明技術(shù)方案結(jié)構(gòu)簡單，具有較強的經(jīng)濟性和實用性。

附圖說明

圖1表示本發(fā)明提供的視覺切換控制系統(tǒng)原理圖；

圖2表示本發(fā)明提供的視覺切換控制示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例的附圖，對本發(fā)明實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的劃片機視覺系統(tǒng)不佳影響劃片機劃切質(zhì)量的問題，本發(fā)明提供了一種劃片機視覺切換控制系統(tǒng)，實現(xiàn)觀察不同觀察目標時劃片機視覺模塊的切換，準確清晰地完成劃片機的對準及刀痕校正工作。

如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供一種劃片機視覺切換控制系統(tǒng)，包括視覺切換控制模塊S1、第一視覺模塊S2及第二視覺模塊S3。

其中，視覺切換控制模塊S1主要包括：光耦1，放大器2、第一繼電器3、第二繼電器4；第一視覺模塊S2包括第一環(huán)形光源5、第一同軸光源6及第一顯微鏡11；第二視覺模塊S3包括第二環(huán)形光源7、第二同軸光源8及第二顯微鏡12。

在視覺切換控制模塊S1中，光耦1的管腳2、管腳4連接控制信號，光耦1的管腳13連接放大器2的管腳1、管腳2，光耦1的管腳15連接放大器2的管腳3、管腳4；放大器2的管腳15、管腳16連接第一繼電器3的輸入端，放大器2的管腳17、管腳18連接第二繼電器4的輸入端。第一繼電器3和第二繼電器4的常開觸點NO2分別接第一環(huán)形光源5和第一同軸光源6的正極，第一繼電器3和第二繼電器4的常閉觸點NC2分別接第二環(huán)形光源7和第二同軸光源8的正極，第一環(huán)形光源5、第一同軸光源6、第二環(huán)形光源7及第二同軸光源8連接共同負極10。

控制信號為高電平時，控制信號經(jīng)光耦1的管腳2、管腳4輸入，所述控制信號經(jīng)光耦1處理后，經(jīng)光耦1的管腳13、管腳15分別輸出給放大器2的管腳1、管腳2與管腳3、管腳4；所述控制信號經(jīng)放大器2處理完成后，經(jīng)放大器2的管腳15、管腳16輸出給第一繼電器3，經(jīng)放大器2的管腳17、管腳18輸出給第一繼電器4，第一繼電器3與第二繼電器4的常開觸點NO2分別與其公共觸點com2吸合，第一環(huán)形光源5和第一同軸光源6的正極與電源9連接，第一環(huán)形光源5和第一同軸光源6被點亮；同時，第二環(huán)形光源7和第二同軸光源8熄滅。

控制信號為低電平時，控制信號經(jīng)過光耦1、放大器2處理后，第一繼電器3和第一繼電器4的常閉觸點NC2分別與其公共端com2吸合，第二環(huán)形光源7、第二同軸光源8點亮。同時，第一環(huán)形光源5和第一同軸光源6熄滅。實現(xiàn)第一視覺模塊S2與第二視覺模塊S3的切換。

本發(fā)明中，劃片機切換系統(tǒng)的切換控制模塊S1控制劃片機的第一視覺模塊S2與第二視覺模塊S3的切換，實現(xiàn)劃片機針對不同觀察目標準確清晰地完成劃片機的對準及刀痕校正工作。本發(fā)明實施例中，控制電路采用電平觸發(fā)，抗干擾能力強，切換控制的可靠性強。

進一步地，本發(fā)明中的放大器2為達林頓管。

進一步地，本發(fā)明提供的切換控制系統(tǒng)中，切換控制模塊S1中設(shè)有第一上拉電源21、第一上拉電阻R1及第二上拉電阻R2。第一上拉電源21連接并聯(lián)的第一上拉電阻R1及第二上拉電阻R2，接光耦1的管腳1和管腳3，形成穩(wěn)定的高電平。

進一步地，本發(fā)明提供的切換控制系統(tǒng)中，切換控制模塊S1中設(shè)有第二上拉電源31、第三上拉電阻R3及第四上拉電阻R4。第二上拉電源31連接并聯(lián)的第三上拉電阻R3及第四上拉電阻R4，接光耦1的管腳1和管腳3，形成穩(wěn)定的高電平。

進一步地，第一視覺模塊S2中，第一顯微鏡11設(shè)置于第一同軸光源5的上部，第一同軸光源6固定在第一環(huán)形光源5的中空圓心部位；第二視覺模塊S3中，第二顯微鏡12設(shè)置于第二同軸光源8上部，第二同軸光源8固定在第二環(huán)形光源7的中空圓心部位。

進一步地，劃片機視覺切換控制系統(tǒng)還包括：

晶片臺位移機構(gòu)13，所述晶片臺位移機構(gòu)13控制晶片臺15在第一方向移動至預(yù)定位置。

進一步地，劃片機視覺切換控制系統(tǒng)還包括：

視覺模塊位移機構(gòu)14，視覺模塊位移機構(gòu)14用于控制第一視覺模塊S2或所述第二視覺模塊S3沿第二方向移動至預(yù)定位置。

進一步地，第一上拉電源21為5V，第一上拉電阻R1與第二上拉電阻R2為4.7kΩ。

進一步地，第二上拉電源31為12V，第三上拉電阻R3與第四上拉電阻R4為10kΩ。

此外，本發(fā)明還提供一種劃片機，包括以上所述的劃片機視覺切換控制系統(tǒng)。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。