技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種WAT閾值電壓測(cè)試方法及系統(tǒng)，該方法包括如下步驟：對(duì)源漏極電壓分別增加以及減少一個(gè)大小為ΔV的小電壓，分別得到兩個(gè)漏極電流Id1與Id2；根據(jù)得到的漏極電流確定該源漏極電壓與漏極電流曲線的斜率；根據(jù)獲得的斜率及量測(cè)的漏極電流，確定器件的工作狀態(tài)，根據(jù)器件的工作狀態(tài)采用相應(yīng)的方法進(jìn)行閾值電壓測(cè)試,本發(fā)明能夠在測(cè)試時(shí)自動(dòng)判斷器件工作在何種狀態(tài)，不需要預(yù)先設(shè)置器件所在的工作區(qū)，無需人為的去判斷器件在何種工作狀態(tài)再進(jìn)行閾值電壓的測(cè)試，提高了測(cè)試效率。

技術(shù)研發(fā)人員：沈茜;莫保章
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力微電子有限公司
文檔號(hào)碼：201611031129
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.22
技術(shù)公布日：2017.05.10