技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于合成干涉信號(hào)偏振態(tài)檢測(cè)技術(shù)的納米測(cè)量系統(tǒng)。本發(fā)明由激光干涉單元和偏振態(tài)檢測(cè)單元兩部分組成。激光干涉單元在單頻邁克爾遜干涉儀的基礎(chǔ)上引入偏振態(tài)轉(zhuǎn)換技術(shù)，以獲得含有位移信息的合成線性偏振光。偏振檢測(cè)單元為采用基于電光液晶相位調(diào)制的偏振測(cè)量系統(tǒng)。偏振態(tài)檢測(cè)單元能測(cè)出激光干涉單元出射光Stokes矢量，由Stokes矢量獲得偏振光的橢圓度角ε和方位角θ。方位角θ與移動(dòng)鏡的位移Δx存在線性關(guān)系，借助偏振態(tài)相位調(diào)制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)方位角θ的測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的相位細(xì)分。通過(guò)監(jiān)測(cè)橢圓度角ε，結(jié)合波片位置調(diào)節(jié)法，可減小干涉儀光學(xué)非線性誤差。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)高分辨率、大范圍的納米測(cè)量，且系統(tǒng)具有光學(xué)非線性自校正的功能。

技術(shù)研發(fā)人員：許素安;金瑋;黃艷巖
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)計(jì)量大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611092901
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.29
技術(shù)公布日：2017.05.24