技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種單相機(jī)平衡型光學(xué)相干層析掃描裝置及方法，裝置包括有光源模塊、準(zhǔn)直調(diào)節(jié)模塊、干涉光學(xué)模塊、光路模塊、分光聚焦模塊以及采集記錄模塊。本發(fā)明結(jié)合幾何光學(xué)和頻域光學(xué)相干層析技術(shù)的基礎(chǔ)上，通過采集干涉光譜并經(jīng)過傅里葉變換后可以獲得被測材料的深度結(jié)構(gòu)信息，能有效提升頻域光學(xué)相干層析技術(shù)測量結(jié)果的信噪比。具有非接觸、無輻射、高分辨率、高靈敏度測量等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：周延周;劉嘉健;董博
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201611115557
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.07
技術(shù)公布日：2017.05.31