技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺(tái)和溫控系統(tǒng)。其中，溫控樣品臺(tái)包括臺(tái)面板、樣品池和溫控室。樣品池設(shè)于臺(tái)面板上，內(nèi)固定有測(cè)溫探頭；測(cè)溫探頭外接有測(cè)溫接頭。溫控室設(shè)于臺(tái)面板下方，為樣品池正下方的腔體，內(nèi)設(shè)有半導(dǎo)體溫控片和散熱盤管。半導(dǎo)體溫控片外接有溫控接頭。散熱盤管外接有進(jìn)水接頭和出水接頭。溫控系統(tǒng)由溫度測(cè)控儀、蠕動(dòng)泵以及上述的溫控樣品臺(tái)組成。溫度測(cè)控儀連接測(cè)溫探頭和半導(dǎo)體溫控片。蠕動(dòng)泵連接散熱盤管。本發(fā)明由于樣品池尺寸本身很小，因此，溫度調(diào)整快捷，并且目標(biāo)溫度控制精確，而且能耗小。

技術(shù)研發(fā)人員：李鵬飛;曹毅;王煒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611129044
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.09
技術(shù)公布日：2017.02.22