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一種清潔口金模塊的磨具的制作方法

文檔序號:12444087閱讀:259來源:國知局
一種清潔口金模塊的磨具的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種磨具,特別涉及一種清潔口金模塊的磨具。



背景技術(shù):

涂料器(Coater)為彩膜基板(CF)制程中的重要設(shè)備之一,主要功能為涂布成膜,并在成膜后利用真空干燥抽除光阻中70%成分的溶劑,保證成膜穩(wěn)定性。

涂料器主要構(gòu)成部分為門架(Gantry)傳動機構(gòu)(含噴嘴(Nozzle))、真空臺(Vaccum Stage)、托盤單元(Tray Unit)、噴濕單元(Wet unit)和其他控制單元。

噴嘴為涂料器最重要部品,作用為均勻地涂布光阻,保證涂膜質(zhì)量,而清潔口金模塊(rubber)的作用即為刮拭干凈噴嘴口金。

在安裝清潔口金模塊時,因安裝手法問題,出現(xiàn)了安裝角度、高度細微差別,而人又無法明確判斷,這就會導(dǎo)致后續(xù)生產(chǎn)的基板出現(xiàn)嚴重的裂縫不均勻(slit mura),導(dǎo)致產(chǎn)品報廢,而且安裝過程中,容易刮壞口金表面及撞壞口金頭。

為避免在安裝過程中避免刮壞口金表面及撞壞口金頭,有必要提出一種能夠測定清潔口金模塊的角度和高度的磨具。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的清潔口金模塊的磨具能夠?qū)崿F(xiàn)解決直接用口金測試刮壞口金表面及撞壞口金頭的問題,又可針對不同改進型清潔口金模塊對應(yīng)不同角度校對(teaching)問題,同時能夠測定清潔口金模塊的高度,從而實現(xiàn)防止校對時刮壞口金表面及撞壞口金頭的目的。

為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的清潔口金模塊的磨具,其特征在于,所述磨具包括:

本體;

能測定所述清潔口金模塊角度的角度測試器,所述角度測試器凸設(shè)于所述本體上,且能在所述本體內(nèi)上下移動。

如上所述的磨具,其中,所述角度測試器設(shè)于所述本體的下方,所述本體的下方設(shè)有兩個對稱設(shè)置的角度測試器。

下方設(shè)有兩個對稱設(shè)置的角度測試器。

如上所述的磨具,其中,所述角度測試器的縱截面的形狀為三角形。

如上所述的磨具,其中,所述本體的縱截面的形狀為矩形。

如上所述的磨具,其中,所述三角形的一直角邊沿水平方向設(shè)于所述本體內(nèi),所述三角形的另一直角邊沿豎直方向凸設(shè)在所述本體上,所述另一直角邊在所述本體內(nèi)上下移動。

如上所述的磨具,其中,所述磨具與控制系統(tǒng)相接。

如上所述的磨具,其中,所述控制系統(tǒng)能夠調(diào)整所述角度測試器凸出所述本體的高度。

如上所述的磨具,其中,所述清潔口金模塊包括模塊本體和設(shè)于所述模塊本體上方的模塊斜部。

如上所述的磨具,其中,所述模塊斜部的縱截面的形狀為三角形狀,所述三角形狀的一條直角邊與所述模塊本體的上表面相平行,所述三角形狀的另一條直角邊與所述模塊本體的上表面相垂直。

如上所述的磨具,其中,所述三角形的另一直角邊與所述三角形的斜邊形成第一夾角,所述三角形狀的一條直角邊與所述三角形狀的斜邊形成第二夾角,所述第一夾角和所述第二夾角互余。

本發(fā)明的清潔口金模塊的磨具結(jié)構(gòu)簡單,通過控制系統(tǒng)調(diào)整磨具的參數(shù),來達到需要的角度和高度,從而能夠?qū)崿F(xiàn)對清潔口金模塊的定高和定角的目的,從而實現(xiàn)解決直接用口金測試刮壞口金表面及撞壞口金頭的問題的目的,即實現(xiàn)防止校對時刮壞口金表面及撞壞口金頭的目的。

附圖說明

在此描述的附圖僅用于解釋目的,而不意圖以任何方式來限制本發(fā)明公開的范圍。另外,圖中的各部件的形狀和比例尺寸等僅為示意性的,用于幫助對本發(fā)明的理解,并不是具體限定本發(fā)明各部件的形狀和比例尺寸。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明的教導(dǎo)下,可以根據(jù)具體情況選擇各種可能的形狀和比例尺寸來實施本發(fā)明。

圖1為本發(fā)明的清潔口金模塊的磨具的主視圖;

圖2為本發(fā)明的清潔口金模塊的磨具的側(cè)視圖。

具體實施方式

結(jié)合附圖和本發(fā)明具體實施方式的描述,能夠更加清楚地了解本發(fā)明的細節(jié)。但是,在此描述的本發(fā)明的具體實施方式,僅用于解釋本發(fā)明的目的,而不能以任何方式理解成是對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的教導(dǎo)下,技術(shù)人員可以構(gòu)想基于本發(fā)明的任意可能的變形,這些都應(yīng)被視為屬于本發(fā)明的范圍,下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

圖1至圖2分別為本發(fā)明的清潔口金模塊的磨具的主視圖和清潔口金模塊的磨具的側(cè)視圖。

如圖1和圖2所示,本發(fā)明的磨具包括本體1和角度測試器2,其中,角度測試器2能夠測定清潔口金模塊(rubber)3的角度,角度測試器2凸設(shè)在本體1上,且角度測試器2能夠在本體1內(nèi)上下移動。

通過角度測試器2來測定清潔口金模塊3的角度,同時,角度測試器2上下移動,根據(jù)其凸出本體1外的高度h來測定清潔口金模塊3的高度,從而解決不同改進型清潔口金模塊所對應(yīng)不同角度和高度校對問題。

在一具體實施例中,角度測試器2凸設(shè)在本體1的下方,且本體1的下方設(shè)有兩個對稱設(shè)置的角度測試器2。

如圖1所示,在本發(fā)明中,具體的,本體1的縱截面的形狀為矩形狀,角度測試器2的縱截面的形狀為三角形,三角形的一條直角邊21沿水平方向設(shè)于本體1內(nèi),即直角邊21設(shè)于本體1內(nèi)且與本體1的底面相平行,三角形的另一條直角邊22沿豎直方向凸設(shè)在本體1的底面上,即另一條直角邊22與本體1的底面相垂直,且該直角邊22在本體1內(nèi)上下移動,該直角邊22上下移動帶動整個角度測試器2上下移動。

進一步地,本發(fā)明的磨具與控制系統(tǒng)(圖中未示出)相接,通過控制系統(tǒng)能夠控制角度測試器2的上下移動過程,并能得到角度測試器2凸設(shè)于本體1外的高度h,從而實現(xiàn)解決高度校對問題,即實現(xiàn)解決直接用口金測試刮壞口金表面及撞壞口金頭的問題,在一具體實施例中,本發(fā)明的磨具可通過控制系統(tǒng)來調(diào)整其高度h參數(shù),來達到需要的高度h,高度h可精確到0.01mm,保證校對時高度的精密性,同樣可防止校對時刮壞口金表面及撞壞口金頭。

在本發(fā)明中,清潔口金模塊3包括模塊本體31和設(shè)有模塊本體31上方的模塊斜部32,角度測試器2能夠測定模塊斜部32的角度,從而實現(xiàn)解決針對不同改進型清潔口金模塊3對應(yīng)不同模塊斜部32的角度校對問題。

具體的,模塊斜部32的縱截面的形狀同樣為三角形狀,該三角形狀的一條直角邊321與模塊本體31的上表面相平行,該三角形狀的另一條直角邊322與模塊本體31的上表面相垂直。在此實施例中,直角邊22與三角形的斜邊23形成第一夾角A,直角邊321與三角形狀的斜邊323形成第二夾角B,且第一夾角A與第二夾角B互余,即第一夾角A與第二夾角B之和為90°。

本發(fā)明的磨具的角度測試器2具有不同型號,每個型號的角度測試器2的第一夾角A的角度都不相同,通過第一夾角A來實現(xiàn)測定第二夾角B。

在本發(fā)明中,角度測試器2與模塊斜部32相配合,也即通過第一夾角A與第二夾角B互余來實現(xiàn)角度測試器2與模塊斜部32相配合,本發(fā)明的磨具可通過更換不同型號的角度測試器2來實現(xiàn)調(diào)整其角度的參數(shù),來達到需要的角度,保證其精密性,又可解決直接用口金測試刮壞口金表面及撞壞口金頭的問題,又可解決針對不同改進型清潔口金模塊所對應(yīng)不同角度校對問題。

本發(fā)明的磨具結(jié)構(gòu)簡單,可以實現(xiàn)解決直接用口金測試清潔口金模塊的角度和高度時造成的刮壞口金表面及撞壞口金頭的問題,本發(fā)明的磨具可通過調(diào)整參數(shù),來達到需要的角度,保證其精密性,又可解決直接用口金測試刮壞口金表面及撞壞口金頭,又可針對不同改進型清潔口金模塊所對應(yīng)不同角度校對問題;同時本發(fā)明的磨具可通過調(diào)整參數(shù),來達到需要的高度h,可精確到0.01mm,保證校對時高度h的精密性,同樣可防止校對時刮壞口金表面及撞壞口金頭。

上述技術(shù)方案只是本發(fā)明的一種實施方式,對于本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員而言,在本發(fā)明公開了應(yīng)用方法和原理的基礎(chǔ)上,很容易做出各種類型的改進或變形,而不僅限于本發(fā)明上述具體實施方式所描述的方法。雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實施例對本發(fā)明進行了描述,但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下,可以對其進行各種改進并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是,只要不存在結(jié)構(gòu)沖突,各個實施例中所提到的各項技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實施例,而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。

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