本發(fā)明涉及光學(xué)精密檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種能低應(yīng)力裝夾高精度反射鏡的反射鏡裝夾裝置。

背景技術(shù)：

高精度反射鏡是高精度光學(xué)儀器與精密激光器中的重要光學(xué)元件。隨著高精度光學(xué)儀器與精密激光器的快速發(fā)展和應(yīng)用，高精度光學(xué)儀器與精密激光器對高精度反射鏡的面形要求也越來越高。目前高精度反射鏡面形的測試方法是：先通過反射鏡裝夾裝置對反射鏡進(jìn)行裝夾固定，再將反射鏡裝夾裝置豎直放置而使反射鏡也呈豎直放置，接著再使用干涉儀對呈豎直放置的反射鏡的面形進(jìn)行檢測。目前所使用的反射鏡裝夾裝置的結(jié)構(gòu)為：包括由側(cè)框條、頂框條及底框條圍成的用以放置反射鏡的框架。上述反射鏡裝夾裝置存在的缺點(diǎn)是：框架對反射鏡的裝夾應(yīng)力大，導(dǎo)致反射鏡的面形變形嚴(yán)重。因而亟需發(fā)明一種能低裝夾應(yīng)力裝夾反射鏡的反射鏡裝夾裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種能低裝夾應(yīng)力裝夾反射鏡的反射鏡裝夾裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：所述的一種反射鏡裝夾裝置，包括由側(cè)框條、頂框條及底框條共同圍成用以放置反射鏡的框架，在框架的底框條的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一柔性墊片，在底框條中沿其長度方向間隔設(shè)置有若干內(nèi)外貫通底框條的安裝孔，在每個安裝孔中均設(shè)置有用以支撐第一柔性墊片并使第一柔性墊片始終具有向內(nèi)運(yùn)動趨勢的柔性支撐單元，所述柔性支撐單元的結(jié)構(gòu)為：在安裝孔中由框架外向框架內(nèi)依次設(shè)置有外壓環(huán)、以及用以支撐第一柔性墊片的支桿，在支桿與外壓環(huán)之間設(shè)置有彈簧，彈簧使支桿始終具有向內(nèi)頂起第一柔性墊片的趨勢；當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片上放置有反射鏡時，各柔性支撐單元中的支桿在對應(yīng)彈簧的向內(nèi)彈力作用下會將反射鏡向內(nèi)頂在頂框條上，使第一柔性墊片與頂框條呈相對夾持狀夾住反射鏡，從而將反射鏡裝夾固定在框架中。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：在安裝孔的內(nèi)壁上設(shè)置有內(nèi)螺紋，在外壓環(huán)的外壁上設(shè)置有外螺紋，外壓環(huán)通過螺紋配合設(shè)置在安裝孔中，在外壓環(huán)的外側(cè)面上設(shè)置有用以調(diào)節(jié)外壓環(huán)在安裝孔中相對位置的調(diào)節(jié)孔。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：在外壓環(huán)內(nèi)側(cè)的安裝孔中設(shè)置有限位內(nèi)壓環(huán)，在支桿的側(cè)壁上設(shè)置有能容納限位內(nèi)壓環(huán)的安裝槽，限位內(nèi)壓環(huán)的大小及位置即能避免支桿從安裝孔中脫落、又不妨礙支桿對第一柔性墊片及反射鏡進(jìn)行彈性支撐。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：第一柔性墊片由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：在頂框條的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二柔性墊片，當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片上放置有反射鏡時，各柔性支撐單元中的支桿在對應(yīng)彈簧的向內(nèi)彈力作用下會將反射鏡向內(nèi)頂在頂框條內(nèi)側(cè)的第二柔性墊片上，使第一柔性墊片與第二柔性墊片呈相對夾持狀夾住反射鏡，從而將反射鏡裝夾固定在框架中。

進(jìn)一步地，前述的一種反射鏡裝夾裝置，其中：第二柔性墊片由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成。

通過上述技術(shù)方案的實(shí)施，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：通過第一柔性墊片與第二柔性墊片對反射鏡進(jìn)行柔性夾持，并且通過柔性支撐單元對反射鏡進(jìn)行彈性支撐，大大降低了作用于反射鏡的裝夾應(yīng)力，進(jìn)而有效降低了反射鏡在被裝夾過程中因裝夾應(yīng)力造成面形變形量，使反射鏡在裝夾過程中的面形變形量得到了有效控制。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所述的一種反射鏡裝夾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中所示的H部位的放大示意圖。

圖3為圖1中所示的柔性支撐單元的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

彈簧使支桿始終具有向內(nèi)頂起第一柔性墊片的趨勢；當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片上放置有反射鏡時，各柔性支撐單元中的支桿在對應(yīng)彈簧的向內(nèi)彈力作用下會將反射鏡向內(nèi)頂在頂框條上，使第一柔性墊片與頂框條呈相對夾持狀夾住反射鏡，從而將反射鏡裝夾固定在框架中。

如圖1、圖2、圖3所示，所述的一種反射鏡裝夾裝置，包括由側(cè)框條1、頂框條2及底框條3共同圍成的用以放置反射鏡4的框架，在框架的底框條3的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一柔性墊片5，在底框條3中沿其長度方向間隔設(shè)置有若干內(nèi)外貫通底框條3的安裝孔6，在每個安裝孔6中均設(shè)置有用以支撐第一柔性墊片5并使第一柔性墊片5始終具有向內(nèi)運(yùn)動趨勢的柔性支撐單元7，所述柔性支撐單元7的結(jié)構(gòu)為：在安裝孔6中由框架外向框架內(nèi)依次設(shè)置有外壓環(huán)8、以及用以支撐第一柔性墊片5的支桿9，在支桿9與外壓環(huán)8之間設(shè)置有彈簧10，彈簧10使支桿9始終具有向內(nèi)頂起第一柔性墊片5的趨勢；當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片5上放置有反射鏡4時，各柔性支撐單元7中的支桿9在對應(yīng)彈簧10的向內(nèi)彈力作用下會將反射鏡4向內(nèi)頂在頂框條2上，使第一柔性墊片5與頂框條2呈相對夾持狀夾住反射鏡4，從而將反射鏡4裝夾固定在框架中；在本實(shí)施例中，在安裝孔6的內(nèi)壁上設(shè)置有內(nèi)螺紋，在外壓環(huán)8的外圓周壁上設(shè)置有外螺紋，外壓環(huán)8通過螺紋配合設(shè)置在安裝孔6中，在外壓環(huán)8的外側(cè)面上設(shè)置有用以調(diào)節(jié)外壓環(huán)8在安裝孔6中相對位置的調(diào)節(jié)孔11，這樣可以通過調(diào)整外壓環(huán)8在安裝孔6中的相對位置來調(diào)節(jié)彈簧10作用于支桿9的向內(nèi)彈力，進(jìn)而對作用于反射鏡4的裝夾應(yīng)力進(jìn)行調(diào)節(jié)；在本實(shí)施例中，在外壓環(huán)8內(nèi)側(cè)的安裝孔6中設(shè)置有限位內(nèi)壓環(huán)12，在支桿9的側(cè)壁上設(shè)置有能容納限位內(nèi)壓環(huán)12的安裝槽13，限位內(nèi)壓環(huán)12的大小及位置即能避免支桿9從安裝孔6中脫落、又不妨礙支桿9對第一柔性墊片5及反射鏡4進(jìn)行彈性支撐；在本實(shí)施例中，第一柔性墊片5由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成；在本實(shí)施例中，在頂框條2的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二柔性墊片14，當(dāng)?shù)谝蝗嵝詨|片5上放置有反射鏡4時，各柔性支撐單元7中的支桿9在對應(yīng)彈簧10的向內(nèi)彈力作用下會將反射鏡4向內(nèi)頂在頂框條2內(nèi)側(cè)的第二柔性墊片14上，使第一柔性墊片5與第二柔性墊片14呈相對夾持狀夾住反射鏡4，從而將反射鏡4裝夾固定在框架中，這樣能進(jìn)一步降低作用于反射鏡4的裝夾應(yīng)力，進(jìn)一步降小反射鏡4因裝夾應(yīng)力而形成的面形變形量；在本實(shí)施例中，第二柔性墊片14由從框架外向框架內(nèi)依次層疊的鋁條及硅膠墊片組成，其中鋁條硬度適當(dāng)，具備一定的伸展性，其中硅膠墊有足夠的彈性，能進(jìn)一步降低對反射鏡的裝夾應(yīng)力；

安裝時，先將反射鏡4放置在第一柔性墊片5上，在各柔性支撐單元7中彈簧10的向上彈力作用下，各柔性支撐單元7中的支桿9會向內(nèi)向上將反射鏡4頂在頂框條2的第二柔性墊片14上，使第一柔性墊片5與第二柔性墊片14呈相對夾持狀夾住反射鏡4，從而將反射鏡4裝夾固定在框架中；在反射鏡4裝夾過程中，可以通過調(diào)節(jié)柔性支撐單元7中的外壓環(huán)8在對應(yīng)安裝孔6中的相對位置來調(diào)節(jié)彈簧10的向內(nèi)彈力，進(jìn)而對作用于反射鏡4的裝夾應(yīng)力進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)十分方便。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：通過第一柔性墊片與第二柔性墊片對反射鏡進(jìn)行柔性夾持，并且通過柔性支撐單元對反射鏡進(jìn)行彈性支撐，大大降低了作用于反射鏡的裝夾應(yīng)力，進(jìn)而有效降低了反射鏡在被裝夾過程中因裝夾應(yīng)力造成面形變形量，使反射鏡在裝夾過程中的面形變形量得到了有效控制。