本發(fā)明涉及直線度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置，還涉及一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量方法。

背景技術(shù)：

靜壓導(dǎo)軌是超精密機(jī)床的核心零部件，其利用具有一定壓力的薄油膜支承與之配合的溜板運(yùn)動(dòng)，使導(dǎo)軌面之間處于純液體摩擦狀態(tài)。導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的直線度誤差會(huì)直接反映在加工零件上，影響產(chǎn)品的互換性和產(chǎn)品精度。因此，在導(dǎo)軌安裝過(guò)程中需要對(duì)導(dǎo)軌的直線度進(jìn)行測(cè)量，并視直線度為機(jī)床精度的重要指標(biāo)之一。

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，工業(yè)生產(chǎn)的不斷變革，工業(yè)上對(duì)各項(xiàng)幾何參數(shù)的測(cè)量精度要求越來(lái)越高，使得工業(yè)測(cè)量的內(nèi)容和手段也發(fā)生了很大的變化。形狀和位置誤差影響著產(chǎn)品的質(zhì)量和使用性能。對(duì)加工和測(cè)量也不斷提出更新更高的要求。

現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)靜壓導(dǎo)軌直線的度測(cè)量常用的有激光準(zhǔn)直法，然而由于光線在空氣中并非絕對(duì)準(zhǔn)直，測(cè)量范圍越大，其偏差就越大。再者所采用的光電位置敏感元件的測(cè)量精度較難大幅度提高，且光束在傳播過(guò)程中容易受到干擾而出現(xiàn)偏移，因而該方法進(jìn)行直線度測(cè)量不易達(dá)到很高的精度。且檢測(cè)設(shè)備昂貴，性?xún)r(jià)比較低。

綜上所述，如何有效地解決靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量成本高、性?xún)r(jià)比低等問(wèn)題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的第一個(gè)目的在于提供一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置，該靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以有效地解決靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量成本高、性?xún)r(jià)比低的問(wèn)題，本發(fā)明的第二個(gè)目的是提供一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量方法。

為了達(dá)到上述第一個(gè)目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置，包括標(biāo)準(zhǔn)件、電感測(cè)頭、與所述電感測(cè)頭電性連接的控制裝置和與所述控制裝置電性連接的顯示裝置，所述標(biāo)準(zhǔn)件用于與和待測(cè)靜壓導(dǎo)軌配合的溜板保持相對(duì)靜止，所述電感測(cè)頭與所述標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面接觸以檢測(cè)所述標(biāo)準(zhǔn)件隨所述待測(cè)靜壓導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的位移并發(fā)送檢測(cè)數(shù)據(jù)至所述控制裝置，所述控制裝置用于將所述檢測(cè)數(shù)據(jù)處理并通過(guò)所述顯示裝置顯示。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置中，還包括用于帶動(dòng)所述標(biāo)準(zhǔn)件運(yùn)動(dòng)以調(diào)整所述標(biāo)準(zhǔn)件測(cè)試初始位置的伺服電機(jī)。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置中，還包括用于置于所述溜板上的基座，所述標(biāo)準(zhǔn)件固定安裝于所述基座上。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置中，所述伺服電機(jī)用于帶動(dòng)所述基座運(yùn)動(dòng)以調(diào)整所述標(biāo)準(zhǔn)件的測(cè)試初始位置。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置中，所述基座的頂面開(kāi)設(shè)有凹槽，所述標(biāo)準(zhǔn)件卡接于所述凹槽內(nèi)。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置中，所述標(biāo)準(zhǔn)件為光學(xué)鏡面。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置中，所述顯示裝置為顯示屏。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置中，還包括底座、與所述底座垂直固定連接的支撐桿、能夠相對(duì)所述支撐桿滑動(dòng)并鎖緊的支架，所述電感測(cè)頭與所述支架固定連接。

本發(fā)明提供的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置包括標(biāo)準(zhǔn)件、電感測(cè)頭、控制裝置和顯示裝置。其中，標(biāo)準(zhǔn)件用于和溜板保持相對(duì)靜止，以反映溜板沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌移動(dòng)時(shí)的位移。電感測(cè)頭用于與標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面接觸，在標(biāo)準(zhǔn)件隨溜板沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌移動(dòng)過(guò)程中，電感測(cè)頭感應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)件的位移并將檢測(cè)數(shù)據(jù)發(fā)送至控制裝置，控制裝置相應(yīng)的對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并發(fā)送至顯示裝置進(jìn)行顯示。

應(yīng)用本發(fā)明提供的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置對(duì)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行直線度測(cè)量時(shí)，首先將標(biāo)準(zhǔn)件置于溜板上，并調(diào)節(jié)電感測(cè)頭與標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面接觸。而后溜板帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件沿靜壓導(dǎo)軌移動(dòng)，并采集電感測(cè)頭對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端的檢測(cè)數(shù)據(jù)；根據(jù)檢測(cè)數(shù)據(jù)調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件的位置使得電感測(cè)頭對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)相同，即完成對(duì)測(cè)量裝置的校準(zhǔn)。而后連續(xù)采集溜板帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)過(guò)程中電感測(cè)頭的檢測(cè)數(shù)據(jù)，由于待測(cè)靜壓導(dǎo)軌有傾斜時(shí)，溜板沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌移動(dòng)相對(duì)電感測(cè)頭產(chǎn)生位移，進(jìn)而與溜板相對(duì)靜止的標(biāo)準(zhǔn)件相對(duì)電感測(cè)頭產(chǎn)生位移，從而電感測(cè)頭的檢測(cè)數(shù)據(jù)發(fā)生變化。將檢測(cè)數(shù)據(jù)處理后輸出，進(jìn)而根據(jù)檢測(cè)結(jié)果即可對(duì)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌的直線度進(jìn)行評(píng)估。上述結(jié)構(gòu)的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置檢測(cè)操作簡(jiǎn)單，裝置成本低，性?xún)r(jià)比高，可以滿(mǎn)足精度需求0.1微米的直線度測(cè)量。

為了達(dá)到上述第二個(gè)目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量方法，采用如上述任一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置；包括步驟：

步驟一：所述溜板帶動(dòng)所述標(biāo)準(zhǔn)件沿所述待測(cè)靜壓導(dǎo)軌移動(dòng)，采集所述電感測(cè)頭接觸所述標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)；

步驟二：根據(jù)所述檢測(cè)數(shù)據(jù)調(diào)整所述標(biāo)準(zhǔn)件的位置并重復(fù)步驟一，直至所述電感測(cè)頭對(duì)應(yīng)所述標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)相同；

步驟三：連續(xù)采集所述溜板帶動(dòng)所述標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)過(guò)程中所述電感測(cè)頭的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并將所述檢測(cè)數(shù)據(jù)處理后輸出。

優(yōu)選地，上述靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量方法中，所述步驟三具體包括：

連續(xù)采集所述溜板帶動(dòng)所述標(biāo)準(zhǔn)件由一端移動(dòng)至另一端對(duì)應(yīng)所述電感測(cè)頭時(shí)所述電感測(cè)頭的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并將所述檢測(cè)數(shù)據(jù)處理后輸出。

應(yīng)用本發(fā)明提供的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量方法，檢測(cè)操作簡(jiǎn)單，成本低，性?xún)r(jià)比高，可以滿(mǎn)足精度需求0.1微米的直線度測(cè)量。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明一個(gè)具體實(shí)施例的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)記如下：

待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1、溜板2、伺服電機(jī)3、基座4、光學(xué)鏡面5、底座6、支架7、控制裝置8、顯示裝置9、伺服電機(jī)信號(hào)線10、伺服電機(jī)動(dòng)力線11、電感測(cè)頭信號(hào)線12、電感測(cè)頭13。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置，以降低靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量成本、提高性?xún)r(jià)比。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明一個(gè)具體實(shí)施例的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置包括標(biāo)準(zhǔn)件、電感測(cè)頭13、控制裝置8和顯示裝置9。

其中，標(biāo)準(zhǔn)件用于和溜板2保持相對(duì)靜止，也就是將標(biāo)準(zhǔn)件靜置于標(biāo)準(zhǔn)件上，從而溜板2沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)件能夠反映待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)時(shí)的位移。標(biāo)準(zhǔn)件具有標(biāo)準(zhǔn)表面，即平面度精度得到測(cè)量要求的標(biāo)準(zhǔn)表面，其具體精度可根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置，此處不作限定。

電感測(cè)頭13用于與標(biāo)準(zhǔn)件表面接觸，以在標(biāo)準(zhǔn)件隨溜板2沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)過(guò)程中感應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)件的位移。也就是通過(guò)調(diào)整電感測(cè)頭13或者標(biāo)準(zhǔn)件的位置使得標(biāo)準(zhǔn)件隨溜板2移動(dòng)過(guò)程中，標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面保持與電感測(cè)頭13接觸。進(jìn)而檢測(cè)時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)件隨溜板2沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)，同時(shí)也就相對(duì)電感測(cè)頭13移動(dòng)，因而電感測(cè)頭13感應(yīng)由標(biāo)準(zhǔn)表面一端移動(dòng)至另一端過(guò)程中的位移，并將檢測(cè)數(shù)據(jù)發(fā)送至控制裝置8。例如，待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度有偏移時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)表面對(duì)電感測(cè)頭13的按壓作用力發(fā)生變化，因而檢測(cè)數(shù)據(jù)相應(yīng)的發(fā)生變化。具體的，電感測(cè)頭13可以通過(guò)電感測(cè)頭信號(hào)線12與控制裝置8連接。

控制裝置8用于對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并發(fā)送至顯示裝置9進(jìn)行顯示。需要說(shuō)明的是，電感測(cè)頭13的測(cè)試原理及控制裝置8對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)的處理原理等請(qǐng)參考現(xiàn)有技術(shù)，此處不再贅述。

應(yīng)用本發(fā)明提供的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置對(duì)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1進(jìn)行直線度測(cè)量時(shí)，首先將標(biāo)準(zhǔn)件置于溜板2上，并調(diào)節(jié)電感測(cè)頭13與標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面接觸。而后溜板2帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件沿靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)時(shí)，并采集電感測(cè)頭13對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端的檢測(cè)數(shù)據(jù)；根據(jù)檢測(cè)數(shù)據(jù)調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件的位置使得電感測(cè)頭13對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)相同，即完成對(duì)測(cè)量裝置的校準(zhǔn)。而后連續(xù)采集溜板2帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)過(guò)程中電感測(cè)頭13的檢測(cè)數(shù)據(jù)，由于待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1有傾斜時(shí)，溜板2沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)相對(duì)電感測(cè)頭13產(chǎn)生位移，進(jìn)而與溜板2相對(duì)靜止的標(biāo)準(zhǔn)件相對(duì)電感測(cè)頭13產(chǎn)生位移，從而電感測(cè)頭13的檢測(cè)數(shù)據(jù)發(fā)生變化。將檢測(cè)數(shù)據(jù)處理后輸出，進(jìn)而根據(jù)檢測(cè)結(jié)果即可對(duì)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度進(jìn)行評(píng)估。上述結(jié)構(gòu)的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置檢測(cè)操作簡(jiǎn)單，裝置成本低，性?xún)r(jià)比高，可以滿(mǎn)足精度需求0.1微米的直線度測(cè)量。

進(jìn)一步地，還包括用于帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件運(yùn)動(dòng)以調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件初始位置的伺服電機(jī)3。檢測(cè)時(shí)將標(biāo)準(zhǔn)件置于溜板2上，通過(guò)調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件的位置進(jìn)行初步校準(zhǔn)，為了便于對(duì)其位置的精確調(diào)整，可以設(shè)置伺服電機(jī)3，通過(guò)伺服電機(jī)3帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件相對(duì)溜板2移動(dòng)，以使標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)至能夠滿(mǎn)足測(cè)試要求的預(yù)設(shè)初始位置。優(yōu)選的，伺服電機(jī)3可以與控制裝置8電性連接，從而通過(guò)控制裝置8自動(dòng)控制伺服電機(jī)3對(duì)標(biāo)準(zhǔn)件的位置進(jìn)行調(diào)整，提高測(cè)量裝置的自動(dòng)化程度，進(jìn)一步簡(jiǎn)化測(cè)量操作。需要說(shuō)明的是，此處的伺服電機(jī)3帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)既包括伺服電機(jī)3通過(guò)傳動(dòng)件等直接帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)，也包括伺服電機(jī)3通過(guò)傳動(dòng)件等帶動(dòng)與標(biāo)準(zhǔn)件連接的其他部件進(jìn)而帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)。具體的，伺服電機(jī)3可以分別通過(guò)伺服電機(jī)信號(hào)線10和伺服電機(jī)動(dòng)力線11與控制裝置8電連接。

更進(jìn)一步地，還包括用于置于溜板2上的基座4，標(biāo)準(zhǔn)件固定安裝于基座4上。為了便于標(biāo)準(zhǔn)件的放置，可以設(shè)置基座4，標(biāo)準(zhǔn)件安裝于基座4上，測(cè)量時(shí)將基座4放置于溜板2上，溜板2移動(dòng)時(shí)，基座4能夠隨溜板2同步移動(dòng)，從而安裝于基座4上的標(biāo)準(zhǔn)件能夠反映出溜板2沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)時(shí)是否發(fā)生偏移，也就是反映出待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度。通過(guò)基座4的設(shè)置，便于標(biāo)準(zhǔn)件的放置，進(jìn)一步便于測(cè)量操作。

在設(shè)置有基座4的情況下，伺服電機(jī)3優(yōu)選的用于帶動(dòng)基座4運(yùn)動(dòng)以調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件的初始位置。伺服電機(jī)3帶動(dòng)基座4移動(dòng)進(jìn)而帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)，便于伺服電機(jī)3的布置及與基座4的傳動(dòng)設(shè)置。

優(yōu)選的，基座4的頂面開(kāi)設(shè)有凹槽，標(biāo)準(zhǔn)件卡接于凹槽內(nèi)。也就是將標(biāo)準(zhǔn)件與基座4卡接，一方面便于標(biāo)準(zhǔn)件的安裝，同時(shí)在基座4或標(biāo)準(zhǔn)件損壞等情況下能夠方便的將二者拆卸，便于二者的維修或更換，降低測(cè)量裝置的后期維護(hù)成本。具體凹槽的形狀可根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)件的形狀進(jìn)行設(shè)置，此處不作具體限定。當(dāng)然，根據(jù)需要標(biāo)準(zhǔn)件與基座4也可以通過(guò)其他的可拆卸固定連接方式連接。

在上述各實(shí)施例中，標(biāo)準(zhǔn)件優(yōu)選的為光學(xué)鏡面5，其優(yōu)異的表明特性，能夠真實(shí)反應(yīng)溜板2隨待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的移動(dòng)。當(dāng)然，根據(jù)需要標(biāo)準(zhǔn)件也可以采用其他具有標(biāo)準(zhǔn)表面的部件。標(biāo)準(zhǔn)件具體可以呈圓片狀，也就是標(biāo)準(zhǔn)表面呈圓形，則優(yōu)選的電感測(cè)頭13相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)表面的直徑移動(dòng)以進(jìn)行測(cè)量。

在上述各實(shí)施例中，顯示裝置9優(yōu)選的為顯示屏。通過(guò)顯示屏能夠直觀的顯示出溜板2沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)過(guò)程中，標(biāo)準(zhǔn)表面對(duì)電感測(cè)頭13的推動(dòng)作用，也就是待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度變化。當(dāng)然，根據(jù)需要顯示裝置9也并不局限于顯示屏，其他能夠?qū)z測(cè)結(jié)果輸出的設(shè)備均可。

在上述各實(shí)施例的基礎(chǔ)上，還可以包括底座6、與底座6垂直固定連接的支撐桿、能夠相對(duì)支撐桿滑動(dòng)并鎖緊的支架7，電感測(cè)頭13與支架7固定連接。也就是通過(guò)上述結(jié)構(gòu)的電感測(cè)頭13固定裝置將電感測(cè)頭13固定，由于支架7能夠相對(duì)支撐桿滑動(dòng)并鎖緊，故測(cè)量時(shí)根據(jù)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1及溜板2的高度，將標(biāo)準(zhǔn)件放置于溜板2上時(shí)，通過(guò)調(diào)整支架7在支撐桿上的位置使得電感測(cè)頭13的高度與標(biāo)準(zhǔn)表面相適應(yīng)。支架7的具體結(jié)構(gòu)可以不作限定，其能夠固定支撐電感測(cè)頭13即可。

優(yōu)選的，支架7上開(kāi)設(shè)有用于固定電感測(cè)頭13的通孔，測(cè)量時(shí)將電感測(cè)頭13卡接于該通孔內(nèi)。支架7上開(kāi)設(shè)有支撐桿通孔以使支架7套設(shè)在支撐桿外，與支撐桿通孔連通的可以開(kāi)設(shè)螺栓孔，進(jìn)而通過(guò)螺栓將支架7鎖緊在合適位置。當(dāng)需要調(diào)整支架7相對(duì)與支撐桿的位置時(shí)，松開(kāi)螺栓即可，便于對(duì)電感測(cè)頭13的位置進(jìn)行調(diào)整。

本發(fā)明還公開(kāi)了一種靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量方法，適用于上述任一種實(shí)施例中的靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量裝置，包括步驟：

S1：溜板2帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)，采集電感測(cè)頭13接觸標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)；

即通過(guò)將標(biāo)準(zhǔn)件置于溜板2上，并調(diào)整電感測(cè)頭13與標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面接觸，而后控制溜板2移動(dòng)以帶動(dòng)其上的標(biāo)準(zhǔn)件沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)，采集電感測(cè)頭13對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

S2：根據(jù)檢測(cè)數(shù)據(jù)調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件的位置并重復(fù)步驟S1，直至電感測(cè)頭13對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)相同；

根據(jù)電感測(cè)頭13對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)，調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件的位置，而后再采集電感測(cè)頭13接觸標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)。若電感測(cè)頭13接觸標(biāo)準(zhǔn)表面一端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)與電感測(cè)頭13接觸標(biāo)準(zhǔn)表面另一端的檢測(cè)數(shù)據(jù)相同，即完成對(duì)標(biāo)準(zhǔn)表面的校準(zhǔn)，執(zhí)行后續(xù)步驟S3，測(cè)量待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度；否則，繼續(xù)調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)件的位置并再次采集電感測(cè)頭13接觸標(biāo)準(zhǔn)件的標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)，直至電感測(cè)頭13對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)表面兩端時(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)相同。

S3：連續(xù)采集溜板2帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)過(guò)程中電感測(cè)頭13的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并將檢測(cè)數(shù)據(jù)處理后輸出。

標(biāo)準(zhǔn)表面調(diào)整完成后，控制溜板2沿待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)，進(jìn)而位于溜板2上的標(biāo)準(zhǔn)件隨之移動(dòng)。標(biāo)準(zhǔn)件移動(dòng)過(guò)程中，電感測(cè)頭13連續(xù)采集對(duì)應(yīng)接觸標(biāo)準(zhǔn)表面不同位置的檢測(cè)數(shù)據(jù)，進(jìn)而控制裝置8對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，以對(duì)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度進(jìn)行評(píng)估。

具體的，上述步驟S3具體可以包括：

連續(xù)采集溜板2帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件由一端移動(dòng)至另一端對(duì)應(yīng)電感測(cè)頭13時(shí)電感測(cè)頭13的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并將檢測(cè)數(shù)據(jù)處理后輸出。

也就是溜板2帶動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)件由標(biāo)準(zhǔn)表面的一端與電感測(cè)頭13接觸，移動(dòng)至標(biāo)準(zhǔn)表面的另一端與電感測(cè)頭13接觸，連續(xù)采集此過(guò)程中的檢測(cè)數(shù)據(jù)，以對(duì)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度進(jìn)行評(píng)估。優(yōu)選的，溜板2重復(fù)運(yùn)動(dòng)三次，對(duì)三次獲得的檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行平均處理對(duì)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度進(jìn)行評(píng)估。在待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的行程大于標(biāo)準(zhǔn)表面能夠與電感測(cè)頭13接觸的寬度時(shí)，則可以通過(guò)將待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1額行程劃分為多個(gè)檢測(cè)區(qū)間，分別重復(fù)上述檢測(cè)步驟S1-S3，以綜合評(píng)價(jià)待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1的直線度。

以下以一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例說(shuō)明靜壓導(dǎo)軌直線度測(cè)量方法：首先調(diào)節(jié)電感測(cè)頭13接觸光學(xué)鏡面5，記錄示數(shù)。然后控制靜壓導(dǎo)軌1移動(dòng)，電感測(cè)頭13實(shí)時(shí)采集數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)元件中。一個(gè)移動(dòng)過(guò)程后，即光學(xué)鏡面5的一端對(duì)應(yīng)電感測(cè)頭13移動(dòng)至光學(xué)鏡面5的另一端對(duì)應(yīng)電感測(cè)頭13，兩端示數(shù)可能不同，控制裝置8對(duì)這兩個(gè)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較并控制伺服電機(jī)3帶動(dòng)基座4微位移，然后靜壓導(dǎo)軌1重復(fù)運(yùn)動(dòng)直到光學(xué)鏡面5兩端時(shí)電感測(cè)頭13測(cè)得的數(shù)據(jù)一致方可進(jìn)行下一步的直線度測(cè)量。基座4調(diào)節(jié)完畢發(fā)出脈沖信號(hào)，則可進(jìn)行直線度測(cè)量。靜壓導(dǎo)軌1重復(fù)運(yùn)動(dòng)三次，電感測(cè)頭13的信號(hào)經(jīng)過(guò)控制裝置8處理實(shí)時(shí)顯示在液晶顯示屏上，三次運(yùn)動(dòng)過(guò)后，導(dǎo)軌停止運(yùn)動(dòng)，同時(shí)控制裝置8對(duì)三次數(shù)據(jù)進(jìn)行平均處理給出待測(cè)靜壓導(dǎo)軌1直線度評(píng)估數(shù)據(jù)。

本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。

對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。