技術(shù)總結(jié)
基于磁性熒光微球的單粒子磁場(chǎng)導(dǎo)向微尺寸測(cè)量裝置及基于該裝置的測(cè)量方法，涉及工業(yè)樣品微尺寸測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有微尺寸工業(yè)樣品三維測(cè)量方法中，探針不易實(shí)現(xiàn)微型化、測(cè)量受到探針固有頻率限制、測(cè)量依賴高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的承載且掃描測(cè)量速度低的問(wèn)題。本發(fā)明中所述的基于磁性熒光微球的單粒子磁場(chǎng)導(dǎo)向微尺寸測(cè)量裝置及基于該裝置的方法，將待測(cè)樣品浸沒(méi)在含有單個(gè)磁性熒光微球的溶液中，外界施加特定變化的磁場(chǎng)，使單個(gè)磁性熒光微球在溶液內(nèi)沿樣品邊緣進(jìn)行移動(dòng)，用相機(jī)采集圖像并擬合出微球徑向位移，根據(jù)采集到的熒光光強(qiáng)得到其軸向位移，將采集得到的照片中的微球位置進(jìn)行擬合并進(jìn)行圖像重構(gòu)即可得到樣品信息，完成樣品測(cè)量。

技術(shù)研發(fā)人員：倪赫;鄒麗敏;張鵬;丁雪梅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611228160
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.27
技術(shù)公布日：2017.05.31