技術(shù)特征:1.基于哈特曼-夏克波前傳感器的自由曲面鏡片波面拼接方法,其特征在于該方法包括以下步驟:
步驟一:利用哈特曼-夏克波前傳感器測量得到整片自由曲面鏡片的W1區(qū)域,得到W1區(qū)域波前澤尼克多項式的前五項系數(shù),再移動一定的距離測量W2區(qū)域,得到W2區(qū)域波前澤尼克多項式的前五項系數(shù);在重疊的區(qū)域內(nèi)的點,理論上兩次測量的澤尼克多項式的前五項系數(shù)應(yīng)該相等,但是由于測量誤差的存在,測量結(jié)果不可能完全相等;
波前相位的常用澤尼克展開式是:
前五項展開式為:
以W1區(qū)域的相位分布為基準(zhǔn),移動的距離是x0、y0,W2區(qū)域的相位分布為使用夏克哈特曼波前傳感器測量有:
(2)式對x,y分別求導(dǎo)得:
步驟二:選擇W1、W2重疊區(qū)域的三個點(x1,y1)、(x2,y2)、(x2,y3),W1區(qū)域內(nèi)的三個點對應(yīng)x,y軸上的波前斜率分別是(c1,d1)、(c2,d2)、(c3,d3),W2區(qū)域內(nèi)的三個點對應(yīng)x,y軸上的波前斜率分別(c’1,d1)、(c’2,d2)、(c’3,d3);將W1、W2區(qū)域的波前像差用澤尼克多項式表示出來,將(3)式寫成矩陣形式有:
對于上式(4)有唯一解(a1、a2、a3、a4、a5),為拼接參數(shù),將該拼接參數(shù)代入(1)式即可將W1、W2區(qū)域的波前像差表示出來;
步驟三:對于W1、W2重疊區(qū)域的n個點(x1,y1)…(xn,yn)有:
將其表示成殘余誤差的形式為:
等精度測量時,殘余誤差平方和最小的矩陣形式為:
其中:
等精度測量時,矩陣形式的正規(guī)方程是:
根據(jù)(6)式得到正規(guī)方程的解,澤尼克多項式的前五項系數(shù)的矩陣表達(dá)式:
則,W1區(qū)域、W2區(qū)域的波前像差為:
重復(fù)步驟一、步驟二,即可實現(xiàn)對整片自由曲面鏡片的波面拼接。