本申請(qǐng)涉及測(cè)試探針。

背景技術(shù)：

代表性實(shí)施例涉及測(cè)試電子產(chǎn)品、組件、電路等。具體地說(shuō)，代表性實(shí)施例是可以創(chuàng)建對(duì)于待測(cè)試設(shè)備(DUT)的臨時(shí)電連接的測(cè)試探針。

電子產(chǎn)品典型地包括承載產(chǎn)品的電路的電路板或襯底。在原型化期間或貫穿制造電子產(chǎn)品的過(guò)程，產(chǎn)品的電特性受測(cè)試，以確保產(chǎn)品的正確設(shè)計(jì)或監(jiān)控制造工藝。例如，在對(duì)電子電路進(jìn)行表征并且故障定位中，需要將電路的節(jié)點(diǎn)連接到測(cè)量?jī)x表(例如示波器)。這可以通過(guò)建立對(duì)節(jié)點(diǎn)的臨時(shí)電連接加以實(shí)現(xiàn)。為了將其實(shí)現(xiàn)，存在諸如夾具訪問(wèn)之類的不同方法，其需要提供退出待測(cè)試設(shè)備(DUT)的受控阻抗線路，臨時(shí)將探針焊接到節(jié)點(diǎn)，并使得節(jié)點(diǎn)與快速掃描探針接觸。

快速掃描探針是一種可以快速地建立對(duì)電路節(jié)點(diǎn)的臨時(shí)連接并且可以容易地移動(dòng)到其它節(jié)點(diǎn)的設(shè)備。這是名稱“快速掃描”的來(lái)源—用于在DUT的電路節(jié)點(diǎn)周圍掃刷的能力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本申請(qǐng)旨在提供這樣的測(cè)試探針：其能夠解決傳統(tǒng)探針中存在的上述技術(shù)問(wèn)題，使得可以快速地建立對(duì)電路節(jié)點(diǎn)的臨時(shí)連接。

測(cè)試探針的代表性實(shí)施例具有：探針主體，其包括信號(hào)線路；電絕緣材料的凸頭，其與探針主體集成并且從探針主體突起；引腳，其受探針主體支撐并且以導(dǎo)電方式連接到信號(hào)線路，彈性元件，其在所述引腳上施加偏置力；導(dǎo)電探針尖端，其在與探針主體遠(yuǎn)離的凸頭的末梢端處受凸頭支撐；以及多個(gè)分立式電阻器，其在凸頭內(nèi)插入在引腳與探針尖端之間。電阻器獨(dú)立于另一受支撐，使得在凸頭內(nèi)是可滑動(dòng)的。電阻器還以導(dǎo)電方式連接到彼此、引腳、探針尖端，以及探針尖端在彈性元件所施加的偏置力下經(jīng)由電阻器和引腳以導(dǎo)電方式連接到信號(hào)線路。

測(cè)試探針的代表性實(shí)施例還具有：探針主體，其包括信號(hào)線路、在信號(hào)線路周圍延伸的導(dǎo)電屏蔽體；電絕緣材料的凸頭，其從探針主體突起并且可拆卸地安裝到屏蔽體，使得凸頭可以拆卸自并且附連回到探針主體上；引腳，其受探針主體支撐并且以導(dǎo)電方式連接到信號(hào)線路，彈性元件，其在所述引腳上施加偏置力；導(dǎo)電探針尖端，其在與探針主體遠(yuǎn)離的凸頭的末梢端處受凸頭支撐；以及至少一個(gè)分立式電阻器，其在凸頭內(nèi)部署為插入在引腳與探針尖端之間并且以導(dǎo)電方式連接至其。每個(gè)電阻器受支撐，使得可在凸頭內(nèi)滑動(dòng)。此外，探針尖端在彈性元件所施加的偏置力下經(jīng)由電阻器和引腳以導(dǎo)電方式連接到信號(hào)線路。

測(cè)試探針的代表性實(shí)施例還具有：探針主體，其包括成對(duì)側(cè)向間隔開的信號(hào)線路、在信號(hào)線路周圍延伸的導(dǎo)電屏蔽體；以及成對(duì)探針尖端組件，其均包括連接到屏蔽體并且從探針主體突起的電絕緣材料的凸頭，引腳，其受探針主體支撐并且以導(dǎo)電方式連接到信號(hào)線路中的相應(yīng)信號(hào)線路，彈性元件，其在所述引腳上施加偏置力，導(dǎo)電探針尖端，其在與探針主體遠(yuǎn)離的凸頭的末梢端處受凸頭支撐；以及多個(gè)分立式電阻器，其在凸頭內(nèi)部署為插入在引腳與探針尖端之間。探針尖端組件中的每一個(gè)的分立式電阻器以導(dǎo)電方式連接到彼此、引腳、組件的探針尖端。探針尖端在彈性元件所施加的偏置力下經(jīng)由電阻器和引腳以導(dǎo)電方式連接到信號(hào)線路中的相應(yīng)信號(hào)線路。

本申請(qǐng)的測(cè)試探針可以提供諸如快速地建立對(duì)電路節(jié)點(diǎn)的臨時(shí)連接并且容易地移動(dòng)到其它節(jié)點(diǎn)之類的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是測(cè)試探針的代表性實(shí)施例的透視圖。

圖2是測(cè)試探針的部分橫斷縱向截面圖。

圖3是沿著圖2的直線III-III取得的截面圖。

圖4是沿著圖2的直線IV-IV取得的截面圖。

圖5是沿著圖2的直線V-V取得的截面圖。

圖6是測(cè)試探針的末梢端部分的放大視圖。

圖7是測(cè)試探針的電阻器的示例的示意性截面圖。

圖8是測(cè)試探針的跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)的一個(gè)示例的示意圖。

圖9是測(cè)試探針的跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)的另一示例的示意圖。

圖10是測(cè)試探針的另一代表性實(shí)施例的部分橫斷的示意性平面圖。

圖11和圖12是圖10的代表性實(shí)施例的性能特性的曲線圖。

具體實(shí)施方式

在以下具體實(shí)施方式中，為了解釋而非限制，闡述公開具體細(xì)節(jié)的代表性實(shí)施例以提供本發(fā)明的透徹理解。已知的系統(tǒng)、設(shè)備、材料、操作方法和制造方法的描述可以省略，使得避免模糊代表性實(shí)施例的描述。然而，可以根據(jù)代表性實(shí)施例使用本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的系統(tǒng)、設(shè)備、材料和方法。

還應(yīng)理解，在此使用的術(shù)語(yǔ)目的是僅描述特定實(shí)施例，目的不是限制。所定義的術(shù)語(yǔ)加入到本教導(dǎo)的技術(shù)領(lǐng)域中公知并且接受的所定義的術(shù)語(yǔ)的技術(shù)和科學(xué)含義。

如說(shuō)明書和所附權(quán)利要求中使用的，術(shù)語(yǔ)“一種”、“所述”和“該”包括單數(shù)和復(fù)數(shù)指代，除非上下文另外清楚地指明。因此，例如，“一種設(shè)備”包括一個(gè)設(shè)備或多個(gè)設(shè)備。

如在說(shuō)明書和所附權(quán)利要求中所使用的那樣，并且外加它們的普通意義，術(shù)語(yǔ)“基本”或“基本上”還表示在可接受的極限或程度內(nèi)。例如，“基本上消除”表示本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)認(rèn)為所述消除是可接受的。

如在說(shuō)明書和所附權(quán)利要求中所使用的那樣，并且外加其普通意義，術(shù)語(yǔ)“近似”表示在本領(lǐng)域技術(shù)人員可接受的極限或量值之內(nèi)。例如，“近似相同”表示本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)認(rèn)為所比較的項(xiàng)是相同的。

如在此所使用的那樣，兩個(gè)或更多個(gè)部分或組件“耦合”的聲明應(yīng)表示各部分直接或間接地(即只要鏈接出現(xiàn)，就通過(guò)一個(gè)或多個(gè)中間部分或組件)一起結(jié)合或操作。如在此所使用的那樣，“直接耦合”表示兩個(gè)要素彼此直接接觸。如在此所使用的那樣，“以固定方式耦合”或“固定”表示兩個(gè)組件耦合，使得在保持相對(duì)于彼此的恒定定向的同時(shí)作為一個(gè)組件移動(dòng)。

在此所使用的方向性短語(yǔ)(例如比如而非限制，頂部、底部、左邊、右邊、上、下、前、后及其派生詞)與附圖中所示的要素的定向有關(guān)，而非對(duì)權(quán)利要求進(jìn)行限制，除非在此明確陳述。除了附圖中所描述的方位之外，這些方向性短語(yǔ)意圖還涵蓋設(shè)備和/或要素的不同方位。例如，如果要素相對(duì)于附圖中的視圖反轉(zhuǎn)，則描述為在另一要素“之上”的要素例如將現(xiàn)在處于該要素“之下”。相似地，如果要素相對(duì)于附圖中的視圖旋轉(zhuǎn)達(dá)90°，則在另一要素“之上”或“之下”所描述的要素現(xiàn)將與該另一要素“相鄰”；其中， “相鄰”表示要么毗鄰該另一要素，要么在各要素之間具有一個(gè)或多個(gè)層、材料、結(jié)構(gòu)等。

這些附圖中的相似標(biāo)號(hào)要么是等同要素，要么執(zhí)行相同功能。如果功能等同，則在稍后的附圖中將不必討論先前已經(jīng)討論的要素。

現(xiàn)將參照附圖詳細(xì)描述測(cè)試探針的代表性實(shí)施例。

首先參照?qǐng)D1-圖3，測(cè)試探針包括：探針主體100；以及探針尖端組件200，其與探針主體100集成。探針主體100包括信號(hào)線路10，探針尖端組件200包括導(dǎo)電探針尖端20(例如鍍金構(gòu)件)，其用于接觸待測(cè)試設(shè)備(DUT)的測(cè)試點(diǎn)(例如電路節(jié)點(diǎn))并且將信號(hào)從測(cè)試點(diǎn)發(fā)送到信號(hào)線路10。

圖1-圖8所示的代表性實(shí)施例是測(cè)試探針，其中，探針主體100包括兩個(gè)信號(hào)線路10、屏蔽體11，并且其具有與探針主體100集成的兩個(gè)探針尖端組件200。該代表性實(shí)施例的探針主體100可以還包括：絕緣外殼12，其在屏蔽體11周圍延伸；以及跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)13，其可操作為調(diào)整探針尖端20的跨距(如將參照?qǐng)D1和圖8稍后更詳細(xì)描述的那樣)。

此外，在該代表性實(shí)施例中，探針主體100包括：同軸纜線，其均具有構(gòu)成信號(hào)線路10中的相應(yīng)信號(hào)線路的內(nèi)核；導(dǎo)電接地端屏蔽體11a，其在內(nèi)核周圍延伸；以及絕緣介質(zhì)14，其插入在內(nèi)核與接地端屏蔽體11a之間。同軸纜線的接地端屏蔽體11a構(gòu)成探針主體100的屏蔽體11的至少一部分。

參照?qǐng)D1、圖2、圖4-圖6，每個(gè)探針尖端組件200還包括：導(dǎo)電引腳22；彈性元件24，其在引腳22上施加偏置力；電絕緣材料(例如塑料)的凸頭26，其連接到探針主體100的屏蔽體11并且從探針主體100突起；以及至少一個(gè)電阻器28，其插入在引腳22與探針尖端20之間。凸頭26具有距探針主體100遠(yuǎn)離的末梢端，并且在此處凸頭26支撐探針尖端20。

在代表性實(shí)施例中，多個(gè)分立式電阻器28隨著插入在引腳22與探針尖端20之間部署在凸頭26內(nèi)。引腳22和彈性元件24可以構(gòu)成pogo(彈簧針)引腳，其還包括具有部署彈性元件24的開端中空剖面的支撐體23。支撐體23引導(dǎo)引腳22，使得可在探針尖端組件200的軸向方向上滑動(dòng)。電阻器28彼此獨(dú)立地受支撐，電阻器28中的每一個(gè)可在探針尖端組件200的軸向方向上在凸頭26內(nèi)滑動(dòng)。此外，電阻器28以導(dǎo)電方式連接到彼此、引腳22、探針尖端20。此外，探針尖端20在彈性元件24所施加的偏置力下經(jīng)由電阻器28和引腳22以導(dǎo)電方式連接到信號(hào)線路10。于此，代表性實(shí)施例中的pogo引腳的支撐體23是導(dǎo)電材料，并且接合引腳22，以建立探針尖端20 與信號(hào)線路10之間的電連接。此外，每個(gè)探針尖端組件200的電阻器28通過(guò)端到端布置直接部署得彼此相鄰(即彼此接觸)。

圖7示出探針尖端組件200的電阻器28的示例。在該示例中，電阻器28是SMD電阻器或通稱為表面貼裝電阻器。SMD電阻器具有：陶瓷(例如氧化鋁)襯底28a；薄導(dǎo)電膜(例如包括Au、Ag或Sn的鍍層)，其充當(dāng)陶瓷28a的相對(duì)端上的導(dǎo)體28b；以及電阻元件28c，其沿著襯底28a的主表面跨越導(dǎo)體28a?？梢栽陔娮柙?8c上提供承載標(biāo)識(shí)信息(例如電阻值)的電絕緣蓋或28d，以封裝電阻元件。因此，在分立式電阻器28是SMD電阻器的代表性實(shí)施例的示例中，每個(gè)SMD電阻器的導(dǎo)體28b部署得頂靠與其相鄰的SMD電阻器的導(dǎo)體28b，使得電阻器28以導(dǎo)電方式串聯(lián)，并且引腳22接觸最靠近探針主體100的電阻器28的導(dǎo)體28b。彈性元件24的偏置力保持各電阻器28之間的接觸。相應(yīng)地，電阻器28在探針尖端20與信號(hào)線路10之間提供作為電阻器28的電阻值之和的電阻。并且，雖然彈性元件24示意性地示出為線圈彈性元件，但可以另外使用其它類型的彈性元件(例如彈性元件)。

圖3示出探針尖端組件200的凸頭26內(nèi)所部署的SMD電阻器。在該示例中，凸頭26具有普通圓錐形狀和通過(guò)其徑向延伸的通道26a。探針尖端20與引腳22之間的并且電阻器28受封閉的通道26a的剖面可以具有與SMD電阻器的外周向形狀互補(bǔ)的普通矩形截面。因此，SMD電阻器在通道28a內(nèi)受凸頭26引導(dǎo)，以用于在凸頭26的軸向方向(其在該示例中與探針尖端組件200的軸向方向一致)上的移動(dòng)。另一方面，如圖5所示，凸頭26的末梢端處的通道28a的剖面可以具有與從凸頭26突起的探針尖端引腳20的部分的外周向形狀互補(bǔ)的圓形截面。因此，探針尖端20也在通道28a內(nèi)受凸頭26引導(dǎo)，以用于探針尖端組件200的軸向方向上的移動(dòng)。

然而，附圖中所示并且以上所描述的延伸通過(guò)凸頭26以及電阻器28和探針尖端20的外周向形狀的通道26a的截面僅為示例性的。也就是說(shuō)，在該代表性實(shí)施例中，通道26a可以具有取決于電阻器28和探針尖端20的形狀的任何截面形狀。

非常接近測(cè)試探針的尖端的電阻器可以作用于低非諧振負(fù)載加載。這使得歸因于導(dǎo)電(金屬)探針尖端的無(wú)阻尼電容最小化。然而，因?yàn)楦哳l電流將傾向于流過(guò)電阻器的電容而非流過(guò)電阻并且產(chǎn)生顯著峰值迸發(fā)，所以相鄰快速掃描的尖端所提供的穿過(guò)電阻器的電容可能使得難以實(shí)現(xiàn)高保真探針 響應(yīng)。存在用于限制這種影響的兩種基本方式：可以采用具有相對(duì)低電阻值的電阻器以由此使得更多高頻電流流過(guò)電阻，或可以采用相對(duì)長(zhǎng)的電阻器以使得電阻器的端到端電容最小化。使用具有較低電阻值的電阻器將使得探針的中間帶輸入阻抗得以降低，由此增加中間帶負(fù)載加載。采用相對(duì)長(zhǎng)的電阻器確實(shí)減少電阻的端到端電容，但因?yàn)榉€(wěn)定的電阻材料典型地是脆性的，所以危及快速掃描在其尖端處的耐久性。換言之，電阻器越長(zhǎng)，電阻器就越易遭受損壞。

使用串聯(lián)的多個(gè)電阻器的代表性實(shí)施例如上所述可以通過(guò)有效地加長(zhǎng)電阻器限制端到端電容的影響，而不危及快速掃描在其尖端處的強(qiáng)度和耐久性?？梢詢?yōu)化電阻器的值和數(shù)量，以在使得帶寬最大化的同時(shí)使得產(chǎn)生峰值迸發(fā)的端到端電容最小化。

此外，測(cè)試探針可以展現(xiàn)低電感，以實(shí)現(xiàn)高帶寬。對(duì)于單端探針，這是通過(guò)以下連接所創(chuàng)建的環(huán)路的電感：信號(hào)探針尖端對(duì)探針的接地端，然后從探針的接地端經(jīng)由接地端探針尖端到DUT接地端。對(duì)于(具有兩個(gè)信號(hào)探針尖端的)差分探針，這是通過(guò)以下連接所創(chuàng)建的環(huán)路的電感：+信號(hào)探針尖端到+側(cè)的探針接地端，+側(cè)接地端到–側(cè)接地端，然后-側(cè)接地端到–側(cè)信號(hào)探針尖端。

此外，如果快速掃描屈曲，則可能在凸頭26處出現(xiàn)的是，電阻器28可以在它們的各端處沿著彼此滑動(dòng)，而無(wú)損壞?？梢酝ㄟ^(guò)高質(zhì)量聚合物制造凸頭26，以確保其當(dāng)屈曲時(shí)不損壞。此外，歸因于保持電阻器28的接觸狀態(tài)的彈性元件24的偏置力，電阻不受隨動(dòng)。

現(xiàn)參照?qǐng)D6，凸頭26可以還具有內(nèi)部肩體26b，其在凸頭26的末梢端處限定通道26a。導(dǎo)電探針尖端20可以具有第一端部分20a、第二端部分20b、第一與第二端部分20a、20b之間的外部肩體20c。

第一端部分20a可以達(dá)成用于與DUT的測(cè)試點(diǎn)接觸的至少一個(gè)點(diǎn)，例如可以如圖6最佳地所示在其端處具有冠狀，或可以達(dá)成單個(gè)點(diǎn)。在任何情況下，測(cè)試探針的尖端可以因此表征為與“負(fù)擔(dān)重的”或“體積大的”相對(duì)的“窄的”并且“尖的”。探針尖端20在其外部肩體20c處的寬度大于通道26a在凸頭26的內(nèi)部肩體26b處的最小寬度。在探針尖端20不受接合的圖1、圖2、圖6所示的探針尖端組件200的非測(cè)試位置中，彈性元件24的偏置力驅(qū)策探針尖端20的外部肩體20c頂靠凸頭26的內(nèi)部肩體26b，使得探針尖端20得以保持在凸頭26內(nèi)。

連同凸頭26一起，探針尖端20形成良好延伸經(jīng)過(guò)快速掃描的主體100的“類似針體”尖端，使得尖端可以硬性出入以到達(dá)測(cè)試點(diǎn)，允許測(cè)試點(diǎn)與探針尖端20之間的連接的良好可視性，貢獻(xiàn)于探針用于通過(guò)其小幾何形狀實(shí)現(xiàn)高帶寬的能力，并且允許同時(shí)使用多個(gè)快速掃描以探測(cè)相鄰測(cè)試點(diǎn)集合。

此外，通過(guò)上述布置，探針尖端20具備Z軸順應(yīng)性，即探針尖端組件200的軸向方向上的順應(yīng)性。當(dāng)嘗試將測(cè)試探針的探針尖端放置得頂靠DUT上的測(cè)試點(diǎn)時(shí)，測(cè)試探針的任何側(cè)到側(cè)移動(dòng)將使得一個(gè)或另一探針尖端脫離DUT。通過(guò)提供Z軸順應(yīng)性(即探針朝向DUT受壓所沿著的方向上的某種順應(yīng)性)，探針尖端可以保持與DUT接觸，而無(wú)論測(cè)試探針的某種側(cè)到側(cè)移動(dòng)如何。此外，探針尖端20將僅直到其與凸頭的端齊平才縮回到凸頭26中。此時(shí)，凸頭26采取任何另外負(fù)載，并且保護(hù)電阻器28和pogo引腳不受附加壓縮負(fù)載。

此外，如上所述，在圖1-圖8的代表性實(shí)施例中，探針主體100包括導(dǎo)電屏蔽體11，其在信號(hào)線路10周圍延伸。電絕緣材料的凸頭26直接緊固到屏蔽體11。為此，凸頭26可以是塑料的，并且可以螺旋到屏蔽體11，使得凸頭26可以得以從屏蔽體移除并且旋擰回到屏蔽體11上。

例如，屏蔽體11可以具有內(nèi)部螺旋端剖面11b，其與同軸纜線的接地端屏蔽體11a集成。凸頭26具有外部螺旋26，其與屏蔽體11的端剖面11b的內(nèi)部螺紋配合，使得凸頭26可以旋擰到并且旋松自屏蔽體11。

相應(yīng)地，這促進(jìn)探針的部分的組裝或替換。具體地說(shuō)，探針尖端20、塑料凸頭26、電阻器28、pogo引腳可以是可旋擰到用于容易組裝或替換的同軸的可替換組裝。此外，可以容易地替換或調(diào)換掉一個(gè)或多個(gè)選擇部分(例如一個(gè)或多個(gè)電阻器28)。

現(xiàn)將參照?qǐng)D1、圖2、圖8描述可以調(diào)整探針尖端組件200的各探針尖端20之間的距離的跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)13的一個(gè)示例。因?yàn)楦魈结樇舛酥g的距離可以受調(diào)整，所以探針可以容納DUT上的測(cè)試點(diǎn)的不同間隔。

在該示例中，導(dǎo)電屏蔽體11可以還包括覆蓋體11c，其受外殼12包裹。覆蓋體11c并且因此外殼12支撐作為同軸纜線的接地端屏蔽體11a的集成延伸部的屏蔽體的端剖面11b。具體地說(shuō)，端剖面11b獨(dú)立地受支撐，使得端剖面11b中的至少一個(gè)可相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸R搖擺。在圖1、圖2、圖8所示的示例中，接地端屏蔽體11的兩個(gè)集成延伸部(即屏蔽體的端剖面11b)在 探針中受支撐，使得可相對(duì)于彼此平行的相應(yīng)旋轉(zhuǎn)軸搖擺。于此，探針尖端組件200可以具有允許端剖面11b相對(duì)于可以是剛性或半剛性的同軸纜線的內(nèi)核移動(dòng)或彎曲的附加組件。例如，參照?qǐng)D2，探針尖端組件200可以包括導(dǎo)電轉(zhuǎn)環(huán)接頭25，其將同軸纜線的內(nèi)核連接到pogo引腳的支撐體23。圖2還示出支撐體23受支撐并且處于屏蔽體11內(nèi)的各個(gè)套管(未標(biāo)號(hào))。轉(zhuǎn)環(huán)接頭25不僅將pogo引腳的支撐體23以導(dǎo)電方式連接到內(nèi)核，而且允許屏蔽體11的端剖面11b相對(duì)于內(nèi)核的有限彎曲。

此外，可以提供銷釘11d以支撐屏蔽體的每個(gè)端剖面11b，以用于相對(duì)于軸R的旋轉(zhuǎn)。銷釘11d可以與屏蔽體11的覆蓋體11c的頂部和底部板集成，并且延伸到屏蔽體的端剖面11b中的對(duì)應(yīng)開孔中。替代地，銷釘11d可以與屏蔽體的端剖面11b集成，銷釘11d可以是分立式元件，或可以使用其它形式的可旋轉(zhuǎn)支撐體而非銷釘。

在任何情況下，在代表性實(shí)施例的該示例中，屏蔽體11的端剖面11b的凸頭26在測(cè)試探針中受支撐，使得相對(duì)于相應(yīng)旋轉(zhuǎn)軸可相對(duì)于彼此搖擺。此外，跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)13具有凸輪元件15，其接合端剖面11b并且可往復(fù)運(yùn)動(dòng)以相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸搖擺凸頭26，并且由此調(diào)整探針尖端組件的各探針尖端20之間的跨距。在圖1和圖8中，標(biāo)號(hào)16指定拇指滑塊，其與凸輪元件15集成并且從外殼12突起，并且技術(shù)人員據(jù)此可以操作跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)13。此外，圖8示出偏置頂靠凸輪元件15的端剖面11b，所述偏置可以是歸因于接地端屏蔽體11a中的彈性自引起的，或可以由彈性元件提供。

圖9示出跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)13’的另一示例。在該示例中，指輪17從外殼12突起，并且螺旋桿18在其中心處與指輪17集成。螺旋桿18還以螺旋方式與屏蔽體11的端剖面11b接合。指輪17的旋轉(zhuǎn)因此使得桿18旋轉(zhuǎn)，并且將探針尖端20擴(kuò)展離開或使得探針尖端20更靠近彼此。也就是說(shuō)，在該示例中，跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)13’可以使得探針尖端20相對(duì)于彼此線性地移動(dòng)。然而，替代地，桿18與端剖面11b和跨距調(diào)整機(jī)構(gòu)13’之間的螺旋接合通常可以配置為使得凸頭26分別相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸搖擺，與圖8的機(jī)構(gòu)13所提供的跨距調(diào)整移動(dòng)相似。

圖10示出測(cè)試探針的另一代表性實(shí)施例。在該代表性實(shí)施例中，測(cè)試探針是具有探針主體100’和探針尖端組件200’的測(cè)試探針。該實(shí)施例的探針主體100’包括絕緣襯底50、在襯底50上延伸的導(dǎo)電材料的微帶的形式的信號(hào)線路10’。例如，襯底50可以具有其中的溝道，并且信號(hào)線路10可以 是填充溝道的導(dǎo)電材料。探針尖端組件200’可以與探針尖端組件200相似，因?yàn)榫?參照?qǐng)D1和圖2)：凸頭26，其為電絕緣材料；引腳22和偏置引腳的彈性元件；探針尖端20，其在其末梢端處受凸頭26支撐；以及分立式電阻器28，其插入在引腳22與探針尖端20之間。

該代表性實(shí)施例的分立式電阻器的堆疊允許總電阻根據(jù)期望分布在某距離上，以優(yōu)化響應(yīng)。過(guò)短的距離的所有電阻將典型地展現(xiàn)額外端到端電容和頻率峰值迸發(fā)。在過(guò)長(zhǎng)距離上擴(kuò)展的所有電阻將展現(xiàn)額外串聯(lián)電感并且限制BW。在加面包板的該代表性實(shí)施例的示例中，八個(gè)56.2歐姆0201電阻器用于創(chuàng)建450歐姆分布式電阻，其在每個(gè)側(cè)實(shí)現(xiàn)500歐姆的中間帶輸入阻抗。如圖11和圖12的曲線圖所示，測(cè)試探針展現(xiàn)非常平坦的響應(yīng)(無(wú)諧振并且相對(duì)于其20db或10：1衰減居中)以及大于20GHz的帶寬。

在根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試探針的另一代表性實(shí)施例中，探針主體可以包括同軸纜線，信號(hào)線路是纜線的內(nèi)核，并且凸頭受在內(nèi)核周圍延伸的同軸纜線的接地端屏蔽體支撐。

在根據(jù)本申請(qǐng)的測(cè)試探針的另一代表性實(shí)施例中，所述凸頭在所述末梢端處具有內(nèi)部肩體，并且所述探針尖端具有外部肩體，其連同所述凸頭的所述內(nèi)部肩體一起在所述凸頭的所述末梢端處將探針尖端保持在所述凸頭內(nèi)。

最后，以上已經(jīng)詳細(xì)描述了本發(fā)明的構(gòu)思的實(shí)施例及其示例。然而，本發(fā)明構(gòu)思可以通過(guò)很多不同形式得以實(shí)施，而不應(yīng)理解為受限于以上所描述的實(shí)施例。此外，描述這些實(shí)施例，使得本公開是透徹并且完整的，并且將本發(fā)明構(gòu)思完整傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員。因此，本發(fā)明構(gòu)思的真實(shí)精神和范圍并不受限于以上所描述的實(shí)施例和示例，而是由所附權(quán)利要求限定。