封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及零件密封性檢測裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]氦質(zhì)譜噴氦檢漏法是將封裝管殼通過密封墊及真空硅脂等密封件與氦質(zhì)譜檢漏儀進行密封連接，之后對封裝管殼抽真空處理，當(dāng)檢漏儀的質(zhì)譜室達到穩(wěn)定狀態(tài)后，用裝有氦氣的噴槍向封裝管殼疑似漏氣部位噴吹氦氣，氦氣被吸入封裝管殼內(nèi)部并進入氦質(zhì)譜檢漏儀，由輸出儀表顯示漏孔的漏率值，及通過噴氦槍噴吹來判斷漏孔的位置從而完成封裝管殼的密封性檢測。
[0003]目前，國家標(biāo)準(zhǔn)及試驗方法中沒有對噴氦時間及移動速度兩個重要的檢漏參數(shù)作相關(guān)規(guī)定，導(dǎo)致檢驗人員對管殼檢漏只能靠經(jīng)驗操作，易造成試驗結(jié)果漏判或誤判。此外，傳統(tǒng)手工操作管殼密封性檢測也存在檢漏靈敏度低、漏孔位置難以確定及噴氦壓力無法滿足等問題，對于低漏率(小于5X10—4pa.cm3/s)的非線性特殊封裝異形管殼更是無法滿足密封性檢測要求。同時，市場上尚未有封裝管殼密封性自動噴氦檢漏系統(tǒng)，不利于檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性、重復(fù)性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，本實用新型在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)封裝管殼密封性的自動化檢測，極大提高檢測精度，且該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)操作簡便、可靠性較高。
[0005]本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的:
[0006]—種封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，包括測試件、控制裝置、噴氣裝置、抽真空裝置、檢測裝置以及支撐驅(qū)動裝置；
[0007]所述檢測裝置與所述測試件密封連接，所述抽真空裝置與所述測試件密封連接，所述噴氣裝置包括噴氣件，所述噴氣件固定于所述支撐驅(qū)動裝置并與所述測試件相對設(shè)置，所述噴氣裝置、所述抽真空裝置及所述支撐驅(qū)動裝置均與所述控制裝置電性連接。
[0008]下面對進一步地的技術(shù)方案進行說明:
[0009]進一步地，所述支撐驅(qū)動裝置包括底座、固定于所述底座上的滑軌、固定于所述底座并與所述滑軌配合的驅(qū)動件、及可滑動地固定于所述滑軌上的固定座，所述噴氣件可拆卸地固定于所述固定座。
[0010]進一步地，所述固定座包括底板、并排設(shè)置于所述底板上的第一夾緊件和第二夾緊件及抵緊調(diào)節(jié)件，所述第二夾緊件設(shè)有安裝孔，所述抵緊調(diào)節(jié)件穿過所述安裝孔并與所述噴氣件抵緊。
[0011 ] 進一步地，還包括距離感應(yīng)裝置，所述距離感應(yīng)裝置包括固定于所述底座上的感應(yīng)器滑軌，可滑動地固定于所述感應(yīng)器滑軌上的滑塊，固定于所述滑塊上的感應(yīng)器，及固定于所述固定座下端并與所述感應(yīng)器相對布置的感應(yīng)件。
[0012]進一步地，所述滑塊包括分別位于所述感應(yīng)件兩側(cè)的第一滑塊和第二滑塊，所述感應(yīng)器包括固定于所述第一滑塊上的第一感應(yīng)器，及固定于所述第二滑塊上的第二感應(yīng)器。
[0013]進一步地，所述距離感應(yīng)裝置還包括固定于所述底座、并與所述感應(yīng)器滑軌并排設(shè)置的刻度尺。
[0014]進一步地，所述刻度尺的測量長度大于或等于所述感應(yīng)器滑軌的長度。
[0015]進一步地，所述噴氣裝置包括供氣管路，連通于所述供氣管路兩端的高壓氣罐和噴氣件，連通于所述供氣管路上的流量計和減壓閥，及與所述噴氣件連接的手動開關(guān)。
[0016]進一步地，所述檢測裝置包括檢測平臺，及設(shè)置于所述檢測平臺上的密封夾具，所述抽真空裝置和所述測試件均與所述密封夾具連接。
[0017]進一步地，還包括設(shè)置于所述檢測平臺上的回流罩，所述回流罩具有容腔，所述測試件位于所述容腔內(nèi)。
[0018]本實用新型的有益效果在于:
[0019]上述封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)使所述檢測裝置和所述抽真空裝置均與所述測試件密封連接，將所述測試件內(nèi)的空氣抽離干凈，再通過所述噴氣裝置、所述抽真空裝置和所述支撐驅(qū)動裝置與所述控制裝置電性連接，較之以前的手動操作相比，可以在實現(xiàn)自動化檢漏工作的同時，消除人為操作產(chǎn)生的誤差，從而可以大大提高測試數(shù)據(jù)的精確性，且該系統(tǒng)操作簡單，工作可靠。
【附圖說明】

[0020]圖1為本實用新型實施例所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖2為本實用新型實施例所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)的俯視圖。
[0022]附圖標(biāo)記說明:
[0023]100、測試件，200、控制裝置，300、噴氣裝置，320、噴氣件，340、供氣管路，350、高壓氣罐，360、流量計，370、減壓閥，380、手動開關(guān)，400、抽真空裝置，500、檢測裝置，520、檢測平臺，540、密封夾具，600、支撐驅(qū)動裝置，620、底座，640、滑軌，660、驅(qū)動件，680、固定座，682、底板，684、第一夾緊件，685、裝夾區(qū)域，686、第二夾緊件，687、安裝孔，688、抵緊調(diào)節(jié)件，700、距離感應(yīng)裝置，720、感應(yīng)器滑軌，740、滑塊，742、第一滑塊，744、第二滑塊，760、感應(yīng)器，762、第一感應(yīng)器，764、第二感應(yīng)器，780、感應(yīng)件，790、刻度尺。
【具體實施方式】
[0024]下面對本實用新型的實施例進行詳細說明:
[0025]如圖1所示，一種封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，包括測試件100、控制裝置200、噴氣裝置300、抽真空裝置400、檢測裝置500以及支撐驅(qū)動裝置600 ；
[0026]所述檢測裝置500與所述測試件100密封連接，所述抽真空裝置400與所述測試件100密封連接，所述噴氣裝置300包括噴氣件320，所述噴氣件320固定于所述支撐驅(qū)動裝置600并與所述測試件100相對設(shè)置，所述噴氣裝置300、所述抽真空裝置400及所述支撐驅(qū)動裝置600均與所述控制裝置200電性連接。
[0027]其中，本實用新型技術(shù)方案中以噴氦檢測法作為技術(shù)手段進行封裝管殼的檢漏工作，具體是通過所述抽真空裝置400、所述檢測裝置500與所述測試件100密封連接，將所述測試件100內(nèi)的空氣抽離干凈，之后通過所述噴氣件320對疑似漏氣的部位進行噴氦操作，并通過所述檢測裝置500的輸出儀表顯示漏氣部位的漏率值來判斷具體的泄漏位置;所述檢測裝置500為氦質(zhì)譜檢漏儀，顧名思義該儀器是用氦氣作為輔助氣體進行檢漏工作的，當(dāng)然，為了使所述檢測裝置500工作可靠以確保較高的檢測精確性，在實際工作前，需要借助專用的外置氣室的標(biāo)準(zhǔn)真空漏孔來對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準(zhǔn)操作，之后將所述噴氣件320裝夾固定于所述支撐驅(qū)動裝置600上并調(diào)整噴氣件的出口與所述測試件100對準(zhǔn)，同時將所述噴氣裝置300、所述抽真空裝置400和所述支撐驅(qū)動裝置600均與所述控制裝置200連接正常，通過所述控制裝置200的預(yù)設(shè)參數(shù)就可以實現(xiàn)對封裝管殼的自動化檢漏檢測，相較于手工檢測，上述自動化檢測系統(tǒng)可以大大提高工作效率，提高單次檢測、特別是多次重復(fù)性檢測的測量數(shù)據(jù)的精確性。優(yōu)選的，氦質(zhì)譜檢漏儀為UL1000型檢漏儀，所述抽真空裝置400包括真空栗，真空栗包括渦輪分子栗TMH 071和IWATA渦旋栗ISP-500B，在其他實施例中，上述檢漏儀和真空栗裝置也可以采用其他型號。
[0028]上述控制裝置包括可編程PLC，開關(guān)電源，驅(qū)動器和功能按鈕等部件組成，其同時具備了以下功能:提供兩種噴氦檢測模式，手動點噴、自動掃噴兩種工作模式，以適用于不同工作場合;提供五種噴槍移動速度的掃噴模式;具備急停等多種功能，可以滿足不同檢測工作情況的需要。
[0029]此外，所述噴氣裝置300包括供氣管路340，連通于所述供氣管路340兩端的高壓氣罐350和噴氣件320，連通于所述供氣管路340上的流量計360和減壓閥370，及與所述噴氣件320連接的手動開關(guān)380。
[0030]上述高壓氣罐優(yōu)選為高壓氦氣氣罐，可以保證充足的氣源供給，另外，所述供氣管路340優(yōu)選為軟體材質(zhì)的例如橡膠管等，可以具備良好的彎折性能，提高工作的可靠性，在所述供氣管路340上連通設(shè)置所述流量計360和所述減壓閥370，不僅可以實時檢測氦氣的供給量，從而確保實現(xiàn)數(shù)據(jù)的實時可調(diào)，同時通過所述減壓閥370還可以及時地調(diào)節(jié)供氣的壓力至合適值，避免氣體壓力過低或過高而無法滿足試驗要求。根據(jù)不同試驗需求，可以在所述供氣管路340上設(shè)置兩個或以上的減壓閥，從而確保工作的可靠性。
[0031]所述檢測裝置500包括檢測平臺520，及設(shè)置于所述檢測平臺520上的密封夾具540，所述抽真空裝置400和所述測試件100均與所述密封夾具540連接。其中，將所述測試件100和所述抽真空裝置400均與所述密封夾具540固定連接，可以確保測試件內(nèi)部腔體的密封良好，從而實現(xiàn)告訴抽真空，提尚檢測效率。
[0032]進一步地，上述封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述檢測平臺上的回流罩，所述回流罩具有容腔，所述測試件100位于所述容腔內(nèi)。
[0033]由于大氣中含有氦氣的成分很少，直接將所述測試件放置于大氣環(huán)境中，檢測環(huán)境不夠適宜，會導(dǎo)致檢測靈敏度降低，因此在本優(yōu)選的實施例中，所述回流罩為半封閉球面結(jié)構(gòu)，采用半封閉球面結(jié)構(gòu)的所述匯流罩，并將所述測試件設(shè)置于其容腔內(nèi)，可以保證所述測試件處于良好氦氣濃度的檢測環(huán)境中，確保檢測的靈敏度，同時也可以防止氦氣迅速擴散至環(huán)境中，實現(xiàn)氦氣的回流，節(jié)省資源。在其他實施例中，所述回流罩也可以采用其他結(jié)構(gòu)實現(xiàn)上述功能的結(jié)構(gòu)形狀。
[0034]所述支撐驅(qū)動裝置600包括底座620、固定于所述底座620上的滑軌640、固定于所述底座620并與所述滑軌640配合的驅(qū)動件660、及可滑動地固定于所述滑軌640上的固定座680，所述噴氣件320可拆卸地固定于所述固定座680。
[0035]其中，所述噴氣件320為噴槍，所述滑軌640和所述驅(qū)動件660均固定于所述底座620上，所述驅(qū)動件660具有輸出轉(zhuǎn)軸，所述固定座680固定于所述輸出轉(zhuǎn)軸上并可自由的滑動于所述滑軌640上，此外，將所述噴氣件320裝夾于所述固定座680上，通過所述驅(qū)動件660與所述控制裝置200的電性連接，就可以實現(xiàn)噴槍隨所述固定座680相對于所述測試件100在橫向方向上的移動，從而可以對所述測試件100上不同位置點的疑似漏點進行噴氦檢漏，提高系統(tǒng)檢測的可靠性和效率。另外，根據(jù)泄漏部位的尺寸大小，通過設(shè)定所述控制裝置200的工作模式，可以實現(xiàn)定點噴氦檢測和自動往復(fù)掃動噴氦檢漏兩種工作模式，且該兩種工作模式可進行靈活切換，從而提高本檢測系統(tǒng)的工作靈活性。
[0036]所述固定座680包括底板682、并排設(shè)置于所述底板682上的第一夾緊件684和第二夾緊件686及抵緊調(diào)節(jié)件688，所述第二夾緊件686設(shè)有安裝孔687，所述抵緊調(diào)節(jié)件688穿過所述安裝孔687并與所述噴氣件320抵緊。
[0037]具體的，所述固定座680包括底板682，以及并排設(shè)置于所述底板682上的第一夾緊件684和第二夾緊件686，優(yōu)選所述第一夾緊件684和所述第二夾緊件383的尺寸大小相同，且兩者之間相隔一定距離布置從而形成有裝夾區(qū)域685，通過在所述第二夾緊件686上設(shè)置所述安裝孔687，并將所述抵緊調(diào)節(jié)件688穿過所述安裝孔687，通過所述抵緊調(diào)節(jié)件688的頂端與所述第一夾緊件684壓緊就可以實現(xiàn)所述噴氣件320的固定，具體的，所述抵緊調(diào)節(jié)件688和所述安裝孔687采用螺紋配合，由此上述裝配結(jié)構(gòu)便可以靈活可調(diào)的實現(xiàn)所述噴氣件320的固定，且該結(jié)構(gòu)簡單，裝拆方便。在其他實施例中，所述抵緊調(diào)節(jié)件688與所述安裝孔687之間也可以采用其他的結(jié)構(gòu)方式進行固定，也在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
[0038]其中，噴槍優(yōu)選采用口徑為1.0mm，長徑比為2，入口角80°的鋁合金噴槍，如此可以實現(xiàn)噴口流量最大化的同時兼顧辨析漏孔位置的能力。
[0039]上述封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)還包括距離感應(yīng)裝置700，所述距離感應(yīng)裝置700包括固定于所述底座620上的感應(yīng)器滑軌720，可滑動地固定于所述感應(yīng)器滑軌720上的滑塊740，固定于所述滑塊740上的感應(yīng)器760，及固定于所述固定座680下端并與所述感應(yīng)器760相對布置的感應(yīng)件780。
[0040]其中，所述感應(yīng)件780為金屬柱，具有良好的感應(yīng)反饋效果，在所述底座620的側(cè)面(位于觀察者一側(cè))安裝所述感應(yīng)器滑軌720，在所述感應(yīng)器滑軌720裝設(shè)所述滑塊740并保證所述滑塊740能自由移動，之后將所述感應(yīng)器760固定于所述滑塊740上，金屬柱優(yōu)選固定于所述固定座680并向下布置，穿過所述感應(yīng)器760的光感應(yīng)路徑，當(dāng)需要調(diào)節(jié)所述噴槍的位置以改變噴氦點位時，所述感應(yīng)件780隨所述固定座680—起移動，通過所述感應(yīng)器760的精確位置檢測，能夠保證較高的位移精度，確保檢測點位的精確性，從而獲得精密、科學(xué)的檢測數(shù)據(jù)。此外，所述滑塊740的移動可以采用手動調(diào)節(jié)移動，也可以通過安裝電機等部件實現(xiàn)電動移動。
[0041]進一步地，所述滑塊740包括分別位于所述感應(yīng)件780兩側(cè)的第一滑塊742和第二滑塊744，所述感應(yīng)器760包括固定于所述第一滑塊742上的第一感應(yīng)器762，及固定于所述第二滑塊744上的第二感應(yīng)器764。
[0042]本優(yōu)選的實施例中，在所述感應(yīng)件780的左右兩側(cè)分別裝設(shè)所述第一感應(yīng)器762和所述第二感應(yīng)器764，可以進一步確保檢測噴槍位移數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，提高系統(tǒng)工作的可靠性。
[0043]所述距離感應(yīng)裝置700還包括固定于所述底座620、并與所述感應(yīng)器滑軌720并排設(shè)置的刻度尺790。在所述底座620上與所述感應(yīng)器滑軌720并排安裝所述刻度尺790，可以讓工作人員較為直觀的觀察到移動距離的數(shù)值大小，提高了系統(tǒng)的使用直觀性和便利性。
[0044]進一步地，所述刻度尺790的測量長度大于或等于所述感應(yīng)器滑軌720的長度。使所述刻度尺790的測量長度大于或等于所述感應(yīng)器滑軌720的長度，可以保證上述第一滑塊742和第二滑塊744的活動范圍在測量長度內(nèi)，以方便獲得位移尺寸，避免超過測量長度的范疇，造成數(shù)據(jù)不可讀，影響試驗數(shù)據(jù)的獲取。上述測量長度具體是指刻度尺上標(biāo)注刻度的長度范圍。
[0045]以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認為是本說明書記載的范圍。
[0046]以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括測試件、控制裝置、噴氣裝置、抽真空裝置、檢測裝置以及支撐驅(qū)動裝置； 所述檢測裝置與所述測試件密封連接，所述抽真空裝置與所述測試件密封連接，所述噴氣裝置包括噴氣件，所述噴氣件固定于所述支撐驅(qū)動裝置并與所述測試件相對設(shè)置，所述噴氣裝置、所述抽真空裝置及所述支撐驅(qū)動裝置均與所述控制裝置電性連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述支撐驅(qū)動裝置包括底座、固定于所述底座上的滑軌、固定于所述底座并與所述滑軌配合的驅(qū)動件、及可滑動地固定于所述滑軌上的固定座，所述噴氣件可拆卸地固定于所述固定座。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述固定座包括底板、并排設(shè)置于所述底板上的第一夾緊件和第二夾緊件及抵緊調(diào)節(jié)件，所述第二夾緊件設(shè)有安裝孔，所述抵緊調(diào)節(jié)件穿過所述安裝孔并與所述噴氣件抵緊。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，還包括距離感應(yīng)裝置，所述距離感應(yīng)裝置包括固定于所述底座上的感應(yīng)器滑軌，可滑動地固定于所述感應(yīng)器滑軌上的滑塊，固定于所述滑塊上的感應(yīng)器，及固定于所述固定座下端并與所述感應(yīng)器相對布置的感應(yīng)件。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述滑塊包括分別位于所述感應(yīng)件兩側(cè)的第一滑塊和第二滑塊，所述感應(yīng)器包括固定于所述第一滑塊上的第一感應(yīng)器，及固定于所述第二滑塊上的第二感應(yīng)器。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述距離感應(yīng)裝置還包括固定于所述底座、并與所述感應(yīng)器滑軌并排設(shè)置的刻度尺。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述刻度尺的測量長度大于或等于所述感應(yīng)器滑軌的長度。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述噴氣裝置包括供氣管路，連通于所述供氣管路兩端的高壓氣罐和噴氣件，連通于所述供氣管路上的流量計和減壓閥，及與所述噴氣件連接的手動開關(guān)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測裝置包括檢測平臺，及設(shè)置于所述檢測平臺上的密封夾具，所述抽真空裝置和所述測試件均與所述密封夾具連接。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置于所述檢測平臺上的回流罩，所述回流罩具有容腔，所述測試件位于所述容腔內(nèi)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種封裝管殼密封性檢測系統(tǒng)，包括測試件、控制裝置、噴氣裝置、抽真空裝置、檢測裝置以及支撐驅(qū)動裝置；所述檢測裝置與所述測試件密封連接，所述抽真空裝置與所述測試件密封連接，所述噴氣裝置包括噴氣件，所述噴氣件固定于所述支撐驅(qū)動裝置并與所述測試件相對設(shè)置，所述噴氣裝置、所述抽真空裝置及所述支撐驅(qū)動裝置均與所述控制裝置電性連接。較之以前的手動操作相比，可以在實現(xiàn)自動化檢漏工作的同時，消除人為操作產(chǎn)生的誤差，從而可以極大提高測試數(shù)據(jù)的精確性，且該系統(tǒng)操作簡便，可靠性較高。
【IPC分類】G01M3/22
【公開號】CN205384123
【申請?zhí)枴緾N201620059939
【發(fā)明人】周帥, 鄭大勇, 王小強
【申請人】工業(yè)和信息化部電子第五研究所
【公開日】2016年7月13日
【申請日】2016年1月21日