1.一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述傳感器芯片包括：硅基板，位于硅基板上的一個或多個響應(yīng)區(qū)域，每個響應(yīng)區(qū)域包含多條響應(yīng)通道，每條響應(yīng)通道為至少兩條探測臂拼合成，所述的探測臂包括豎直結(jié)構(gòu)和傾斜結(jié)構(gòu)，接觸電極窗口串聯(lián)連接且位于所述探測臂的兩端，豎直結(jié)構(gòu)和傾斜結(jié)構(gòu)分別由多個平行排列磁電阻及覆蓋于磁電阻兩端的連接電極串連而成，單條磁電阻為兩端呈錐形的條狀結(jié)構(gòu)，所述的探測臂分布于響應(yīng)區(qū)域同一側(cè)邊沿，所述的接觸電極窗口位于響應(yīng)區(qū)域另一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，每一響應(yīng)區(qū)域的探測臂排布方式相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述各向異性磁電阻的成分為含鎳鐵元素的二元或多元合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述連接電極的成分為金或鋁，所述的接觸電極窗口的成分為金或鋁。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述磁電阻的錐形兩端由所述連接電極覆蓋。
6.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述傳感器芯片的敏感方向平行于所述響應(yīng)區(qū)域的排布方向，所述響應(yīng)區(qū)域沿所述傳感器芯片的敏感方向兩端的空置區(qū)域?qū)挾葹轫憫?yīng)通道間距的一半，多個響應(yīng)區(qū)域沿所述傳感器芯片的敏感方向拼接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述豎直結(jié)構(gòu)垂直于所述傳感器芯片的敏感方向。
8.根據(jù)權(quán)利要求7中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述傾斜結(jié)構(gòu)為人字形對稱分布，分置于所述豎直結(jié)構(gòu)兩端。
9.根據(jù)權(quán)利要求7中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述傾斜結(jié)構(gòu)相對于所述豎直結(jié)構(gòu)的傾斜角為0～45度，所述豎直結(jié)構(gòu)與所述傾斜結(jié)構(gòu)的敏感方向與磁電阻排布方向正交。
10.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述多個響應(yīng)通道連接成具有90度相位差的結(jié)構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述的齒輪傳感器芯片為由多條響應(yīng)通道組成的全橋結(jié)構(gòu)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種各向異性磁電阻齒輪傳感器芯片，其特征在于，所述的齒輪傳感器芯片為由多條響應(yīng)通道組成的雙全橋結(jié)構(gòu)，其中兩全橋間距為半齒距。