1.一種氦氣真空查漏裝置,包括氦氣質(zhì)譜分析儀和氦氣供應裝置,其特征在于:所述的氦氣供應裝置包括氦氣儲存壓力罐、減壓閥、壓力表、調(diào)節(jié)閥、流量計、軟管、噴槍、伸縮桿和氮氣出管;氮氣出管一端與氦氣儲存壓力罐的出口連接,另一端與軟管連接;減壓閥、壓力表、調(diào)節(jié)閥、流量計依次安裝在氮氣出管上;噴槍安裝在伸縮桿上,并與軟管連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氦氣真空查漏裝置,其特征在于:所述的氦氣儲存壓力罐的底部安裝有萬向輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氦氣真空查漏裝置,其特征在于:所述的氦氣儲存壓力罐為圓柱形罐,直徑為20cm,高度為40cm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氦氣真空查漏裝置,其特征在于:所述的軟管用橡膠制成。