本實用新型涉及基板檢測領域，特別是涉及一種基板檢測裝置。

背景技術：

在平板顯示等行業(yè)中，化學氣相沉積(CVD)機臺為高溫真空設備，因此機臺內部環(huán)境要求嚴格，如若出現(xiàn)基板(例如玻璃基板)在腔室破片，會造成機臺宕機，且持續(xù)時間較長，例如達到3-4天，嚴重影響機臺的產能需求。

為了實現(xiàn)對破片的監(jiān)控，防止已破損基板進入機臺中，目前使用中的一種基板檢測系統(tǒng)主要是通過光線掃描基板邊緣，利用光的反射原理，當光照射在基板表面時基板會改變光線的強度，監(jiān)控掃描時間內反射光強度變化，以此檢測基板是否存在破片。這種基板檢測系統(tǒng)尚不完善，同時會受到圖像的影響而誤檢。

并且，現(xiàn)有的基板檢測系統(tǒng)僅僅只能掃描基板邊緣的較小區(qū)域，無法掃描和監(jiān)控基板中心區(qū)域的破片狀況，這使得中心處破片的基板常常誤進高溫腔室而造成腔室的二次破片，給機臺和產能帶來損失。

因此，需要一種更為強大的檢測系統(tǒng)，更好的發(fā)現(xiàn)破片情況，以降低機臺風險率，提高產能。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于，提供一種基板檢測裝置，提高基板檢測的可靠性。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種基板檢測裝置，包括：

支撐架；

設置在所述支撐架上的重力感應模塊；

信號轉換模塊，與所述重力感應模塊連接，獲得所述重力感應模塊的壓力信息并將其轉換為電信號；

控制模塊，與所述信號轉換模塊連接，根據(jù)所述電信號判斷所述基板的狀態(tài)。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述支撐架的數(shù)量為多個，每個所述支撐架皆包括一橫桿和多個豎桿，每個豎桿的一端連接在所述橫桿上。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述多個豎桿均勻排布。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述橫桿和所述豎桿一體成型。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述橫桿和所述豎桿可拆卸的組裝在一起。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述重力感應模塊設置在所述豎桿的另一端。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述重力感應模塊通過一信號線與所述信號轉換模塊相連接。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述支撐架為中空結構，所述信號線穿設在所述支撐架中。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述支撐架為實心結構，所述信號線貼附在所述支撐架表面。

可選的，對于所述的基板檢測裝置，所述重力感應模塊通過無線信號與所述信號轉換模塊相通訊。

在本實用新型技術方案提供的基板檢測裝置中，在支撐架上設置重力感應模塊，由信號轉換模塊獲得所述重力感應模塊的壓力信息并轉換為電信號，再由控制模塊接收所述電信號并判斷所述基板的狀態(tài)?？梢杂行z測基板的中心和邊緣角落的情況，實現(xiàn)整面監(jiān)控；同時可檢測基板上表面是否有疊片、破片等異常，并可根據(jù)異常點判斷異常點的位置，實用性強；而且，本實用新型技術方案的基板檢測裝置，只跟壓力相關，并不會受到基板上圖形、透明度等因素的影響，因此可靠性強，能夠有效避免誤判；本實用新型的裝置簡單，成本低。

附圖說明

圖1為實用新型的基板檢測裝置的結構示意圖；

圖2-圖3本實用新型的基板檢測裝置中重力感應模塊設置在支撐架上的示意圖；

圖4-圖6為本實用新型的基板檢測裝置中檢測基板時示意圖。

具體實施方式

下面將結合示意圖對本實用新型的基板檢測裝置進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

本實用新型的核心思想是，提供一種基板檢測裝置，包括：

支撐架；

設置在所述支撐架上的重力感應模塊；

信號轉換模塊，與所述重力感應模塊連接，獲得所述重力感應模塊的壓力信息并將其轉換為電信號；

控制模塊，與所述信號轉換模塊連接，根據(jù)所述電信號判斷所述基板的狀態(tài)。

以下列舉所述基板檢測裝置的較優(yōu)實施例，以清楚的說明本實用新型的內容，應當明確的是，本實用新型的內容并不限制于以下實施例，其他通過本領域普通技術人員的常規(guī)技術手段的改進亦在本實用新型的思想范圍之內。

下面結合圖1-圖6對本實用新型的基板檢測裝置進行詳細說明。

如圖1所示，本實用新型的基板檢測裝置，包括：

支撐架10；

設置在所述支撐架10上的重力感應模塊20；

信號轉換模塊30，與所述重力感應模塊20連接，獲得所述重力感應模塊20的壓力信息并將其轉換為電信號；

控制模塊40，與所述信號轉換模塊30連接，根據(jù)所述電信號判斷所述基板的狀態(tài)。

由圖1可見，所述基板檢測裝置具有多個支撐架10，具體的，這些支撐架10均勻排布，當然，本實用新型并不限定所述支撐架10的排布方式，所述支撐架10可以相互平行設置，亦可以采用其它排布方式例如交錯排布，并且，所述支撐架10數(shù)量可以依據(jù)實際需要進行設計。例如，所述支撐架10可以是現(xiàn)有的化學氣相沉積(CVD)設備的裝載室(Load Lock)中的支撐結構。

每個支撐架10皆包括一橫桿11和多個豎桿12，每個豎桿12的一端連接在所述橫桿11上。在較佳選擇中，所述多個豎桿12均勻排布，從而能夠較為均勻的支撐住基板，這樣也能夠實現(xiàn)對基板的正面檢測，降低漏判的幾率。

所述橫桿11和所述豎桿12可以是一體成型，以便于制作；也可以是可拆卸的組裝在一起，便于更換，清潔等操作。

所述重力感應模塊20設置在所述豎桿12的另一端。

在一個實施例中，所述重力感應模塊20可以通過一信號線與所述信號轉換模塊30相連接，如圖1中具有的n個重力感應模塊20，皆可以是通過各自對應的信號線與所述信號轉換模塊30相連接。

請結合圖2，所述支撐架10可以為中空結構，所述信號線21穿設在所述支撐架中，依次經過所述豎桿12和所述橫桿11。這種結構能夠較好的實現(xiàn)對信號線的保護。

請結合圖3，所述支撐架10也可以為實心結構，所述信號線21貼附在所述支撐架10表面，具體的，可以用固定模塊22將所述信號線21緊固在所述支撐架10的表面。

在其他選擇中，所述重力感應模塊20還可以是通過無線信號與所述信號轉換模塊30相通訊。

所述控制模塊可以采用現(xiàn)有的微控制器，例如PLC(可編程控制器)控制單元等。當然，根據(jù)本實用新型的思想，本領域技術人員可以選擇合適的控制模塊，本實用新型對此并不限定。

下面對本實用新型的基板檢測裝置實現(xiàn)基本的檢測進行詳細說明。

當基板裝載在支撐架10上后，如圖1中S1-Sn這n個重力感應模塊20會與所述基板相接觸，當基本為正常狀態(tài)時，由于基板是水平放置在支撐架10上，因此每個重力感應模塊20所受到的壓力基本一致，因此輸出的壓力信息也基本一致，在經過信號轉換模塊30將壓力信息轉換為電信號后，控制模塊40就可以判斷所述基板的狀態(tài)，對于基本正常狀態(tài)的情況，控制模塊40判斷出的即為每個接觸點壓力基本相同，因此認定基板完好。

考慮到每個重力感應模塊20偵測到的壓力不可能完全一致，因此可以設定一個許可范圍，這可以依據(jù)實際情況和經驗進行設定。舉例而言，可以為各點的壓力信息與平均值的差的絕對值小于等于平均值的10％，即可認為基板完好；若存在至少一個點，各個點的壓力信息平均值與該至少一個點的壓力信息的差大于平均值的10％，則認為存在破片的情況；若存在至少一個點，該至少一個點的壓力信息與各個點的壓力信息平均值的差的大于平均值的10％，則認為存在疊片的情況。

可結合圖4，示出了在多個時間段(T1-T6)控制模塊40獲得的判斷結果，例如在T1時每個重力感應模塊20偵測到的壓力為A，表示空載。在T2時間段時放置了基板，故產生了壓力，且每個重力感應模塊20偵測到的壓力皆為B(即未超出所述許可范圍)，并不存在異常的點，表示基本完好。在T3-T6時間段為重復性實驗，同樣可知基板完好。

請結合圖5，示出了在多個時間段(T1-T6)控制模塊40獲得的判斷結果，例如在T1時每個重力感應模塊20偵測到的壓力為A，表示空載。在T2時間段時放置了基板，故產生了壓力，但是例如在重力感應模塊S1所在的點，其偵測到的壓力為C，且C＜B，超出了所述許可范圍，其他重力感應模塊20偵測到的壓力則未出現(xiàn)這種情況，表明在重力感應模塊S1所在的點存在了破片，需要停止傳送，避免進入機臺內部引起宕機。在T3-T6時間段為取出這一破片的基板后，以完好的基板進行的實驗，并未出現(xiàn)異常，可見本實用新型的基板檢測裝置能夠檢測到破片的情況。

請結合圖6，示出了在多個時間段(T1-T6)控制模塊40獲得的判斷結果，例如在T1時每個重力感應模塊20偵測到的壓力為A，表示空載。在T2時間段時放置了基板，故產生了壓力，但是例如在重力感應模塊S1所在的點，其偵測到的壓力為D，且D＞B，超出了所述許可范圍，其他重力感應模塊20偵測到的壓力則未出現(xiàn)這種情況，表明在重力感應模塊S1所在的點存在了疊片，需要停止傳送，避免進入機臺內部引起宕機。在T3-T6時間段為取出這一疊片的基板后，以完好的基板進行的實驗，并未出現(xiàn)異常，可見本實用新型的基板檢測裝置能夠檢測到疊片的情況。

需要說明的是，本實用新型的基板檢測裝置，不僅僅可以實現(xiàn)玻璃基板的檢測，其他基板，例如硅基板等也可以由本實用新型的基板檢測裝置來檢測。

由上文可知，本實用新型的基板檢測裝置，可以有效檢測基板的中心和邊緣角落的情況，實現(xiàn)整面監(jiān)控；同時可檢測基板上表面是否有疊片、破片等異常，并可根據(jù)異常點判斷異常點的位置，實用性強。

而且，本實用新型的基板檢測裝置，只跟壓力相關，并不會受到基板上圖形、透明度等因素的影響，因此可靠性強，能夠有效避免誤判。

此外，相比現(xiàn)有技術中的光學檢測結構，有著結構簡單，成本低的優(yōu)勢。

顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。