本實(shí)用新型涉及激光晶化領(lǐng)域，尤其涉及一種感知玻璃基板位置偏離的裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中，激光晶化裝置中的機(jī)械臂的作用，一般包括：將與載臺(tái)上表面的形狀與尺寸相同的玻璃基板放置在所述載臺(tái)上表面上，使得所述玻璃基板與所述載臺(tái)上表面貼合在一起，且所述玻璃基板的各邊緣剛好與所述載臺(tái)的各邊緣分別對(duì)齊。對(duì)齊后，玻璃基板與激光晶化裝置中的定位銷的位置關(guān)系可參見(jiàn)圖1a與圖1b。

其中，圖1a為玻璃基板1的各邊緣剛好與載臺(tái)的各邊緣分別對(duì)齊時(shí)的俯視圖，圖1b為沿著圖1a中的虛線a-a的剖面圖。圖1a和圖1b中的附圖標(biāo)記2所指代的結(jié)構(gòu)，是設(shè)置在載臺(tái)邊緣的定位銷。

在實(shí)際場(chǎng)景中，所述機(jī)械臂在放置所述玻璃基板時(shí)，有可能會(huì)使得所述玻璃基板的實(shí)際放置位置相對(duì)于期望的放置位置發(fā)生偏移。比如，比較常見(jiàn)的發(fā)生所述偏移的情況，是所述機(jī)械臂將玻璃基板放置在載臺(tái)邊緣外側(cè)的定位銷上面，使得玻璃基板與載臺(tái)上表面不能貼合在一起。此時(shí)，玻璃基板、定位銷與載臺(tái)的位置關(guān)系可參加圖1c和圖1d。圖1c為玻璃基板1放置在載臺(tái)3邊緣外側(cè)的定位銷2上時(shí)的俯視圖，圖1d為沿著1c中的虛線a-a的剖面圖。

由于載臺(tái)3表面存在真空吸附作用力，可以向下吸附玻璃基板1，這就導(dǎo)致當(dāng)玻璃基板1的安放位置相對(duì)于期望的放置位置發(fā)生偏移時(shí)，玻璃基板1容易在所述真空吸附作用力的作用下，發(fā)生彎曲或破裂等現(xiàn)象。

為避免上述問(wèn)題，需要感知玻璃基板1的安放位置是否相對(duì)于期望的放置位置發(fā)生偏移。但如何感知玻璃基板1的安放位置是否相對(duì)于期望的放置位置發(fā)生偏移，現(xiàn)有技術(shù)還沒(méi)有提出解決方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種感知玻璃基板位置偏離的裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中激光晶化裝置中的玻璃基板放置位置偏離預(yù)期放置位置的問(wèn)題。

本實(shí)用新型實(shí)施例采用下述技術(shù)方案：

一種感知玻璃基板位置偏離的裝置，所述裝置包括至少一個(gè)偏離感知結(jié)構(gòu)；

所述偏離感知結(jié)構(gòu)，包括能夠沿垂直于用于放置玻璃基板的載臺(tái)表面的方向上下移動(dòng)的定位銷，以及位于所述定位銷兩側(cè)的光源發(fā)射器和光源感知器；

其中，所述定位銷在未受到外力作用時(shí)，所述定位銷遮擋所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光，使得所述光源感知器不能感知到所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光；所述定位銷在受到外力作用時(shí)，所述定位銷不遮擋所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光，使得所述光源感知器能夠感知到所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光。

優(yōu)選的，所述定位銷位于用于放置玻璃基板的載臺(tái)的外邊緣外側(cè)，且所述定位銷的朝向所述外邊緣外側(cè)的一側(cè)，與所述外邊緣外側(cè)貼合；

所述定位銷在所述外邊緣外側(cè)所處的位置，位于所述光源發(fā)射器與所述光源感知器中間，且分別與所述光源發(fā)射器與所述光源感知器之間存在空隙；

所述定位銷的上表面高于所述載臺(tái)的上表面。

優(yōu)選的，所述定位銷包括鍥形體和可活動(dòng)部件：

所述鍥形體的斜面朝向所述載臺(tái)的上方；

所述可活動(dòng)部件與所述鍥形體下表面相連接；

其中，在所述定位銷受到向下的外力作用時(shí)，所述可活動(dòng)部件能夠帶動(dòng)所述鍥形體沿垂直于所述載臺(tái)表面的方向向下移動(dòng)；在所述外力消失時(shí)，所述可活動(dòng)部件能夠帶動(dòng)所述定位銷沿垂直于所述載臺(tái)表面的方向向上移動(dòng)。

優(yōu)選的，所述可活動(dòng)部件為彈簧。

優(yōu)選的，所述光源發(fā)射器與光源感知器位于所述載臺(tái)的外邊緣的外側(cè)；

優(yōu)選的，所述光源發(fā)射器包含的光源發(fā)射口朝向所述定位銷；

優(yōu)選的，所述光源感知器包含的光源感知口朝向所述定位銷；

優(yōu)選的，所述光源發(fā)射器包含的光源發(fā)射口發(fā)出的光線為水平光線。

優(yōu)選的，所述載臺(tái)：

橫截面的形狀為矩形；

包含上下相通的通道。

優(yōu)選的，所述通道：

橫截面的形狀為矩形；

個(gè)數(shù)為二十個(gè)；

沿著所述載臺(tái)橫截面中的與任意一條邊平行的四條平行線上；靠近所述載臺(tái)橫截面中心點(diǎn)的兩條平行線上分別平均分布著四個(gè)所述通道，遠(yuǎn)離所述載臺(tái)橫截面中心點(diǎn)的兩條平行線上分別平均分布著六個(gè)所述通道；其中，所述四條平行線為所述載臺(tái)橫截面的五等分線。

優(yōu)選的，所述偏離感知結(jié)構(gòu)的個(gè)數(shù)為8個(gè)，兩兩分布在所述載臺(tái)上表面的四條邊的外邊緣的外側(cè)，且所述載臺(tái)每一條邊的外邊緣外側(cè)分布的兩個(gè)偏離感知結(jié)構(gòu)均勻分布在所述載臺(tái)每一條的中心點(diǎn)的兩側(cè)。

優(yōu)選的，所述裝置還包括載物銷：

所述載物銷能夠在所述通道中上下移動(dòng)；

所述載物銷的頂端為球體，且所述球體能夠沿任意方向轉(zhuǎn)動(dòng)；

在所述定位銷不遮擋所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光時(shí)，所述載物銷位于所述通道中，且所述載物銷的上表面不高于所述載臺(tái)上表面；在所述定位銷遮擋所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光時(shí)，所述載物銷在所述通道中向上移動(dòng)至所述載物銷的上表面與所述玻璃基板的下表面接觸的位置，所述球體轉(zhuǎn)動(dòng)能夠帶動(dòng)所述玻璃基板移動(dòng)，使得所述玻璃基板發(fā)生水平位移。

優(yōu)選的，所述載物銷的下端為長(zhǎng)方體。

本實(shí)用新型申請(qǐng)實(shí)施例采用的上述至少一個(gè)技術(shù)方案能夠達(dá)到以下有益效果：

當(dāng)所述玻璃基板放置位置偏離預(yù)期放置位置時(shí)，即所述玻璃基板放置在所述定位銷上面時(shí)，由于所述定位銷下端的彈性裝置，使得定位銷向下移動(dòng)，此時(shí)，所述光源感知器能夠感知到光源發(fā)射器發(fā)出的光源。所述光源感知器能夠感知到光源發(fā)射器發(fā)出的光源，表明所述玻璃基板放置位置偏離了預(yù)期放置位置。

另外，所述載物銷頂端的球體能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述玻璃基板在水平方向上移動(dòng)，最終所述玻璃基板的放置位置恢復(fù)到預(yù)期位置。

因此，本申請(qǐng)能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中激光晶化裝置中的玻璃基板放置位置偏離預(yù)期放置位置的問(wèn)題，并且能夠校正這一偏差。

附圖說(shuō)明

此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本申請(qǐng)的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1a為現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板、載臺(tái)與定位銷的相對(duì)位置的俯視圖；

圖1b為現(xiàn)有技術(shù)中沿著圖1a中的虛線a-a的剖面圖；

圖1c為現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板與載臺(tái)的俯視圖；

圖1d為現(xiàn)有技術(shù)中沿著圖1a中的虛線a-a的剖面圖；

圖2a為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種玻璃基板放置在預(yù)期位置時(shí)感知玻璃基板位置偏離的裝置與載臺(tái)、玻璃基板的相對(duì)位置的俯視圖；

圖2b為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了沿著圖2a中的虛線c-c的剖面圖；

圖2c為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了沿著圖2a中的虛線b-b的剖面圖；

圖2d為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了偏離感知結(jié)構(gòu)沿著圖2a中的虛線a-a的剖面圖；

圖2e為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了偏離感知結(jié)構(gòu)的正視圖；

圖2f為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了偏離感知結(jié)構(gòu)的俯視圖；

圖2g為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了偏離感知結(jié)構(gòu)的右視圖；

圖2h為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種玻璃基板未放置在預(yù)期位置時(shí)感知玻璃基板位置偏離的裝置與載臺(tái)、玻璃基板的相對(duì)位置的俯視圖；

圖2i為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種玻璃基板未放置在預(yù)期位置時(shí)感知玻璃基板位置偏離的裝置與載臺(tái)、玻璃基板的相對(duì)位置的俯視圖；

圖2j為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了沿著圖2i中的虛線c-c的剖面圖；

圖2k為本實(shí)用新型實(shí)施例提供了沿著圖2i中的虛線b-b的剖面圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型具體實(shí)施例及相應(yīng)的附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅是本申請(qǐng)一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本申請(qǐng)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范圍。

以下結(jié)合附圖，詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案。

為了能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中激光晶化裝置中的玻璃基板放置位置偏離預(yù)期放置位置的問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種感知玻璃基板位置偏離的裝置。其中，所述裝置包括至少一個(gè)偏離感知結(jié)構(gòu)。

所述偏離感知結(jié)構(gòu)，包括能夠沿垂直于用于放置玻璃基板的載臺(tái)表面的方向上下移動(dòng)的定位銷，以及位于所述定位銷兩側(cè)的光源發(fā)射器和光源感知器。

其中，所述定位銷在未受到外力作用時(shí)，所述定位銷遮擋所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光，使得所述光源感知器不能感知到所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光；所述定位銷在受到外力作用時(shí)，所述定位銷不遮擋所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光，使得所述光源感知器能夠感知到所述光源發(fā)射器向所述光源感知器發(fā)出的光。

為了更好地使讀者理解所述裝置的結(jié)構(gòu)，以圖2a、圖2b、圖2c顯示的裝置為例進(jìn)行說(shuō)明。

其中，所述圖2a為在玻璃基板放置在預(yù)期放置位置上時(shí)感知玻璃基板位置偏離的裝置與載臺(tái)、玻璃基板的相對(duì)位置關(guān)系的俯視圖，圖2b為沿著圖2a中的虛線c-c的剖面圖，圖2c為沿著圖2a中的虛線b-b的剖面圖。

需要說(shuō)明的是，所述玻璃基板15的預(yù)期放置位置為載臺(tái)1上的表面。其中，所述玻璃基板15的形狀、尺寸與所述載臺(tái)1的形狀、尺寸一樣。當(dāng)所述玻璃基板15放置在預(yù)期放置位置上時(shí)，所述玻璃基板15與所述載臺(tái)1上表面貼合在一起，且所述玻璃基板15的各邊緣剛好與所述載臺(tái)1的各邊緣分別對(duì)齊。

圖2a中的虛線框中的結(jié)構(gòu)為在玻璃基板放置在預(yù)期放置位置上時(shí)偏離感知結(jié)構(gòu)。其中，所述偏離感知結(jié)構(gòu)，用于感知所述玻璃基板15的放置位置是否偏離預(yù)期放置位置。所述感知玻璃基板位置偏離的裝置，包含八個(gè)偏離感知結(jié)構(gòu)。偏離感知結(jié)構(gòu)兩兩分布在所述載臺(tái)1上表面的四條邊的外邊緣的外側(cè)，且所述載臺(tái)1每一條邊的外邊緣外側(cè)分布的兩個(gè)偏離感知結(jié)構(gòu)均勻分布在所述載臺(tái)每一條的中心點(diǎn)的兩側(cè)。

所述偏離感知結(jié)構(gòu)包括定位銷2、光源發(fā)射器3以及光源感知器4。其中，該偏離感知結(jié)構(gòu)可參見(jiàn)圖2d、圖2e和圖2f。圖2d為偏離感知結(jié)構(gòu)沿著圖2a中的虛線a-a的剖面圖。圖2e為圖2d中的偏離感知結(jié)構(gòu)的正視圖。圖2f為圖2d中的偏離感知結(jié)構(gòu)的俯視圖。

下面分別對(duì)載臺(tái)1、定位銷2、光源發(fā)射器3以及光源感知器4進(jìn)行描述：

(1)載臺(tái)1

所述載臺(tái)1的上表面的形狀為矩形，包含上下相通的通道9。所述通道9橫截面的形狀為矩形，個(gè)數(shù)為二十個(gè)，沿著所述載臺(tái)1橫截面中的與任意一條邊平行的四條平行線上；靠近所述載臺(tái)1橫截面中心點(diǎn)的兩條平行線上分別平均分布著四個(gè)所述通道9，遠(yuǎn)離所述載臺(tái)1橫截面中心點(diǎn)的兩條平行線上分別平均分布著六個(gè)所述通道9；其中，所述四條平行線為所述載臺(tái)1橫截面的五等分線。

(2)定位銷2

所述定位銷2包括鍥形體5和可活動(dòng)部件6。

所述定位銷2位于用于放置玻璃基板的載臺(tái)1的外邊緣外側(cè)，且所述定位銷2的朝向所述外邊緣外側(cè)的一側(cè)，與所述外邊緣外側(cè)貼合；

所述定位銷2在所述外邊緣外側(cè)所處的位置，位于所述光源發(fā)射器3與所述光源感知器4的中間，且分別與所述光源發(fā)射器3與所述光源感知器4之間存在空隙；

所述定位銷2的上表面高于所述載臺(tái)1的上表面；

所述鍥形體5的斜面朝向所述載臺(tái)的上方；

所述可活動(dòng)部件6與所述鍥形體5下表面相連接。

其中，所述可活動(dòng)部件6為彈簧，所述彈簧的彈力方向所在的軸線與所述鍥形體的重力方向所在軸線重合。

需要特別說(shuō)明的是，在所述定位銷2受到向下的外力作用時(shí)，所述可活動(dòng)部件6能夠帶動(dòng)所述鍥形體5沿垂直于所述載臺(tái)表面的方向向下移動(dòng)；在所述外力消失時(shí)，所述可活動(dòng)部件6能夠帶動(dòng)所述定位銷2沿垂直于所述載臺(tái)表面的方向向上移動(dòng)。

其中，在所述玻璃基板15放置在所述預(yù)期放置位置時(shí)，所述定位銷2不受到外力作用，所述定位銷2遮擋所述光源發(fā)射器3向所述光源感知器4發(fā)出的光線14，所述光源感知器4不能感知到所述光源發(fā)射器3向所述光源感知器4發(fā)出的光線14(參見(jiàn)圖2d)；在所述玻璃基板15未放置在所述預(yù)期放置位置時(shí)，所述玻璃基板15放置在所述定位銷2上，所述定位銷2在所述玻璃基板15的作用下，不遮擋所述光源發(fā)射器3向所述光源感知器4發(fā)出的光，所述光源感知器4能夠感知到所述光源發(fā)射器3向所述光源感知器4發(fā)出的光線14(參見(jiàn)圖2g)。其中，圖2g為所述玻璃基板15放置在所述定位銷2上面時(shí)所述偏離感知結(jié)構(gòu)的右視圖。

(3)光源發(fā)射器3、光源感知器4

所述光源發(fā)射器3與光源感知器4位于所述載臺(tái)1的外邊緣的外側(cè)；

所述光源發(fā)射器3包含的光源發(fā)射口12朝向所述定位銷2；

所述光源感知器4包含的光源感知口13朝向所述定位銷2；

所述光源發(fā)射器3包含的光源發(fā)射口12發(fā)出的光線14為水平光線。

除了上述介紹的零部件外，所述感知玻璃基板位置偏離的裝置還可以包括載物銷8。

下面介紹載物銷8：

所述載物銷8能夠在所述通道9中上下移動(dòng)；

所述載物銷8的頂端為球體10，下端為長(zhǎng)方體11，且所述球體10能夠沿任意方向轉(zhuǎn)動(dòng)；

在所述玻璃基板15放置在所述預(yù)期放置位置時(shí)，所述定位銷2遮擋所述光源發(fā)射器3向所述光源感知器4發(fā)出的光線14，所述載物銷8位于所述載臺(tái)1下面，即位于所述通道9正下方，且所述載物銷8的上表面不高于所述載臺(tái)1上表面，參見(jiàn)圖2b；在所述玻璃基板15放置在所述定位銷2上時(shí)(參見(jiàn)圖2h)，所述定位銷2不遮擋所述光源發(fā)射器3向所述光源感知器4發(fā)出的光線14，所述載物銷8通過(guò)所述通道9向上移動(dòng)，直至移動(dòng)到所述載物銷8的上表面與所述玻璃基板15的下表面接觸，且所述玻璃基板15可以離開(kāi)所述定位銷2時(shí)的位置，所述球體10轉(zhuǎn)動(dòng)能夠帶動(dòng)所述玻璃基板15移動(dòng)，使得所述玻璃基板15發(fā)生水平位移(參見(jiàn)圖2i、圖2j和圖2k)。

其中，圖2h為所述玻璃基板放置在定位銷上時(shí)所述偏離感知結(jié)構(gòu)與載臺(tái)、玻璃基板的相對(duì)位置的俯視圖。

圖2i為所述載物銷移動(dòng)到載臺(tái)上表面以上時(shí)所述偏離感知結(jié)構(gòu)與載臺(tái)、玻璃基板的相對(duì)位置的俯視圖。

圖2j為沿著圖2i中的虛線c-c的剖面圖。

圖2k為沿著圖2i中的虛線b-b的剖面圖。

在所述玻璃基板15放置在所述定位銷2上面時(shí)，所述定位銷2在所述玻璃基板15的重力作用下，會(huì)向下移動(dòng)。由于所述定位銷2向下移動(dòng)，使得原先照射在在所述定位銷2上的光線14，可以照射在所述光源感知器4上面。當(dāng)光源感知器4感知到光線時(shí)，表明所述玻璃基板15的放置位置偏離了預(yù)期放置位置。

此時(shí)，向上移動(dòng)所述載物銷8，使得所述載物銷8包括的球體10與所述玻璃基板15接觸，所述球體10沿一定方向轉(zhuǎn)動(dòng)，可以帶動(dòng)所述玻璃基板15移動(dòng)，進(jìn)而使得所述玻璃基板15移動(dòng)到預(yù)期放置位置的正上方，這時(shí)向下移動(dòng)所述載物銷8，使得所述玻璃基板15與所述載臺(tái)1貼合在一起，便校正了所述玻璃基板15放置位置偏離預(yù)期放置位置的問(wèn)題。

因此，本實(shí)用新型能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中激光晶化裝置中的玻璃基板放置位置偏離預(yù)期放置位置的問(wèn)題，并且能夠校正這一偏差，使得所述玻璃基板可以放置在所述預(yù)期放置位置。

以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原理之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。