技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種激光剝蝕進(jìn)樣系統(tǒng)，包括從始端至末端依次設(shè)置在主管路中的第一通斷閥、緩沖罐和第四通斷閥；還包括從始端至末端依次設(shè)置在第一支管路中的外腔室和第二通斷閥；還包括從始端至末端依次設(shè)置在第二支管路中的樣品室和第三通斷閥；樣品室位于外腔室內(nèi)；樣品室上開設(shè)有相對的進(jìn)樣口和出樣口；還包括設(shè)置在外腔室內(nèi)的送樣裝置，送樣裝置包括通過進(jìn)樣口和出樣口可滑動地貫穿樣品室的樣品托條，以及與樣品托條連接并用于帶動樣品托條在進(jìn)樣口和出樣口所處直線上滑動的驅(qū)動裝置。本實用新型實現(xiàn)了樣品的自動更換，無需頻繁開啟樣品室，從而避免了因頻繁開啟樣品室對激光剝蝕進(jìn)樣系統(tǒng)中的氣路造成影響。

技術(shù)研發(fā)人員：文明;何康昊;宋江鋒;姚勇;楊雷;鄧立;李佩龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國工程物理研究院材料研究所
文檔號碼：201620744854
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.15
技術(shù)公布日：2017.01.25