本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路芯片測試領(lǐng)域,尤其涉及一種用于半導(dǎo)體集成電路芯片測試的導(dǎo)向框。
背景技術(shù):
傳統(tǒng)導(dǎo)向框均是采用單一材料的基本構(gòu)造。在測試過程中,尤其是大批量測試時(shí),芯片側(cè)壁與導(dǎo)向框間產(chǎn)生的摩擦?xí)斐蓪?dǎo)向框磨損嚴(yán)重,從而導(dǎo)致芯片定位不準(zhǔn)確,測試失效。單純使用高級(jí)工程塑料,耐用性不好,機(jī)械強(qiáng)度也不高,易于損壞。使用純金屬材質(zhì)時(shí),強(qiáng)度滿足了,但是由于金屬自身的電磁性能,會(huì)導(dǎo)致芯片部分測試項(xiàng)失效。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為克服上述缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的在于提供一種耐磨性好,且不影響芯片測試參數(shù)及機(jī)械強(qiáng)度的用于半導(dǎo)體集成電路芯片測試的導(dǎo)向框。
為了達(dá)到以上目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于半導(dǎo)體集成電路芯片測試的導(dǎo)向框,包括金屬導(dǎo)向框基座、m個(gè)側(cè)壁塊,其中m為≥2的自然數(shù),所述金屬導(dǎo)向框基座的上端面設(shè)置有芯片定位槽以及m個(gè)側(cè)壁塊安裝槽,所述側(cè)壁塊安裝槽與芯片定位槽連通,所述m個(gè)側(cè)壁塊與m個(gè)側(cè)壁塊安裝槽一一對(duì)應(yīng),每個(gè)所述側(cè)壁塊設(shè)置在與其對(duì)應(yīng)的側(cè)壁塊安裝槽內(nèi),所述側(cè)壁塊與與其對(duì)應(yīng)的側(cè)壁塊安裝槽之間留有間隙,所述間隙內(nèi)填充有粘結(jié)兩者的樹脂膠,所述側(cè)壁塊的上端面高于所述金屬導(dǎo)向基座的上端面,所述側(cè)壁塊采用陶瓷材料。本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體集成電路芯片測試的導(dǎo)向框的有益效果是,將導(dǎo)向框分為兩個(gè)部件分別為金屬導(dǎo)向框基座、m個(gè)側(cè)壁塊,通過樹脂膠將兩者粘合在一起,達(dá)到既耐用又不影響芯片測試的目的,消除安裝誤差,以期達(dá)到高精度的定位要求,此外,充分利用金屬高機(jī)械強(qiáng)度和可加工性及陶瓷的超強(qiáng)的絕緣和高硬度耐磨性能,將兩者巧妙的結(jié)合在一起,而且無需用螺絲等傳統(tǒng)方式固定及定位,安裝貼合非常方便的同時(shí),導(dǎo)向框的精度也能保證。
優(yōu)選地,m個(gè)所述側(cè)壁塊安裝槽設(shè)置在金屬導(dǎo)向框基座上端面的同一側(cè)。
優(yōu)選地,每個(gè)所述側(cè)壁塊具有一缺口,每個(gè)所述側(cè)壁塊呈L型,m個(gè)所述側(cè)壁塊的缺口朝向芯片定位槽。缺口的設(shè)置用以更好的實(shí)現(xiàn)芯片的定位。
優(yōu)選地,m個(gè)所述側(cè)壁塊的缺口朝向方向一致。排放方向一致,較為整齊,在一定程度上提高測試效率。
優(yōu)選地,呈L型的所述側(cè)壁塊且靠近缺口的拐角處設(shè)置有圓形凹槽。
優(yōu)選地,所述側(cè)壁塊的底面與側(cè)壁塊安裝槽的底壁設(shè)置呈相互配合的階梯型卡槽結(jié)構(gòu)。階梯型卡槽結(jié)構(gòu)的設(shè)置可避免出現(xiàn)側(cè)壁塊與側(cè)壁塊安裝槽之間發(fā)生相對(duì)移動(dòng),繼而影響定位的精確性的現(xiàn)象。
附圖說明
圖1為本實(shí)施例四個(gè)側(cè)壁塊組裝好的剖視圖;
圖2為圖1中A處的局部放大圖;
圖3為本實(shí)施例的立體圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述,以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解,從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
參見附圖1所示,本實(shí)施例中的一種用于半導(dǎo)體集成電路芯片測試的導(dǎo)向框,包括金屬導(dǎo)向框基座1、四個(gè)側(cè)壁塊2,側(cè)壁塊2的具體數(shù)量可根據(jù)實(shí)際可提供的測試空間的大小及數(shù)量要求確定,金屬導(dǎo)向框基座1的上端面設(shè)置有芯片定位槽3以及四個(gè)側(cè)壁塊安裝槽4。如圖3所示,四個(gè)側(cè)壁塊安裝槽4設(shè)置在金屬導(dǎo)向框基座1上端面的同一側(cè),側(cè)壁塊安裝槽4與芯片定位槽3連通,四個(gè)側(cè)壁塊2與四個(gè)側(cè)壁塊安裝槽4一一對(duì)應(yīng),每個(gè)側(cè)壁塊2設(shè)置在與其對(duì)應(yīng)的側(cè)壁塊安裝槽4內(nèi)。如圖2所示,側(cè)壁塊2與與其對(duì)應(yīng)的側(cè)壁塊安裝槽4之間留有間隙8,間隙8內(nèi)填充有粘結(jié)兩者的樹脂膠,側(cè)壁塊2的上端面高于金屬導(dǎo)向基座1的上端面,側(cè)壁塊2采用陶瓷材料,每個(gè)側(cè)壁塊2具有一缺口5,每個(gè)側(cè)壁塊2呈L型,m個(gè)側(cè)壁塊2的缺口5朝向芯片定位槽3,m個(gè)側(cè)壁塊2的缺口5朝向方向一致,呈L型的側(cè)壁塊2且靠近缺口5的拐角處設(shè)置有圓形凹槽6。
盡管樹脂膠能固定側(cè)壁塊2與側(cè)壁塊安裝槽4,但是在工作中,兩者多少為發(fā)生相對(duì)移動(dòng),為了避免側(cè)壁塊2與側(cè)壁塊安裝槽4之間發(fā)生相對(duì)移動(dòng)繼而影響定位的精確性,則側(cè)壁塊2的底面與側(cè)壁塊安裝槽4的底壁設(shè)置呈相互配合的階梯型卡槽7結(jié)構(gòu)。
制作時(shí),首先,用高機(jī)械強(qiáng)度的金屬材料制作一個(gè)導(dǎo)向框基座,接著用陶瓷制作芯片定位用的側(cè)壁塊,安裝在導(dǎo)向框基座的對(duì)應(yīng)安裝槽內(nèi)。最后用特殊調(diào)制的樹脂將這兩類部件穩(wěn)定的粘合在一起。待樹脂穩(wěn)定后,利用金屬導(dǎo)向基座的定位特征為定位基準(zhǔn),對(duì)安裝好的側(cè)壁塊2按照芯片定位的要求進(jìn)行余量精修加工。
以上實(shí)施方式只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn),其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并加以實(shí)施,并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍,凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所做的等效變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。