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高真空的紅外線傳感器的制作方法

文檔序號:12194097閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高真空的紅外線傳感器,其特征在于,包括:

一基座,其上具有一腔體及多個導(dǎo)電部,該多個導(dǎo)電部一端延伸于該腔體內(nèi)形成焊點(diǎn);

一紅外線感測芯片,固接于該腔體內(nèi),其上具有一紅外線的晶圓,該晶圓電性鏈接到一電路板上,該電路板上具有多個導(dǎo)電接點(diǎn);

多條金屬線,電性連結(jié)于該多個焊點(diǎn)及該多個導(dǎo)電接點(diǎn)上;

一光學(xué)透視窗,封接于該基座的腔體上,其上具有一第一表面及一第二表面;

一吸氣劑,設(shè)于該光學(xué)透視窗的第二表面上;

其中,該基座與該光學(xué)透視窗封接,該吸氣劑封接于該基體與該光學(xué)透視窗所形成的腔體中。

2.如權(quán)利要求1所述的高真空的紅外線傳感器,其特征在于,該基座的腔體內(nèi)具有一凸垣部。

3.如權(quán)利要求2所述的高真空的紅外線傳感器,其特征在于,還包含有一焊料片,該焊料片設(shè)于該凸垣部上,以焊接該光學(xué)透視窗。

4.如權(quán)利要求1所述的高真空的紅外線傳感器,其特征在于,該第二表面上設(shè)有一光罩層。

5.如權(quán)利要求1所述的高真空的紅外線傳感器,其特征在于,該光學(xué)透視窗為鍺晶圓。

6.如權(quán)利要求1所述的高真空的紅外線傳感器,其特征在于,該基座為塑料或陶瓷材料,該基座的該多個導(dǎo)電部為有引腳的接腳,該多個導(dǎo)電部設(shè)于該基座二側(cè)形成相對應(yīng)狀態(tài)的雙列式封裝結(jié)構(gòu),或多個該接腳設(shè)于該基座的四邊。

7.如權(quán)利要求1所述的高真空的紅外線傳感器,其特征在于,該基座為塑料或陶瓷材料,該基座為無引腳的基座,該多個導(dǎo)電部設(shè)于該基座的四邊。

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